供搬运板体或盒体的机械手臂暨板体或箱体的储存机构制造技术

本实用新型专利技术是关于一种可供搬运板体或盒体的机械手臂暨板体或箱体的储存机构，主要是跳脱长久以来搬运盒体或板体的机械手臂是以水平面方向转动为主的刻板观念，改以垂直向转动的方式来达成，如此一来可有效利用盒体或板体存放时相邻进的板体或盒体之间所存在的间距，利用所述间距作为机械手臂转动时所需转动空间，以令所述机械手臂深入所述间距将物品取出；因此，利用本实用新型专利技术的储存机构可有效利用内部空间，使得整体体积得以大幅缩小，进而提高厂房的空间利用率。

【技术实现步骤摘要】
供搬运板体或盒体的机械手臂暨板体或箱体的储存机构
本技术是关于一种机械手臂，尤指一种可供搬运板体或盒体的机械手臂。本技术更提出一种储存机构，尤指一种板体或箱体的储存机构，由于以上两项创作于一个总的专利技术构思，具备单一性，可以作为一件申请提出。
技术介绍
按，晶圆的制作、处理等过程中，会因其制程需求而需在各制程区之间或是各机台之间移动，又或者因生产线的突发状况而需暂停制作流程等，为因应这些状况，需要一储存机构(亦可称作仓储机构、stocker)来暂时存放晶圆，或是作为晶圆转运等功能。请参阅中国台湾专利申请号107109352「储存器」，所述专利是公开有：一种用于存放多个晶圆载体的储存器包含框架、多个匣挡止件、多个椼架部件和多个分隔件，所述框架包含多个存储单元，多个存储单元中的每一个包含用于承载多个晶圆载体中的一个的承载板，匣挡止件竖立在多个承载板中的每一个的边缘上，多个椼架部件跨越多个存储单元中的至少一个的至少一个侧表面而对角地设置，其中多个椼架部件中的每一个包括减震器，多个分隔件设置在多个存储单元的侧表面上且固定到框架。所述专利虽有着上述的优点，然，请参阅所述专利图5所示，标号30下半部是呈现出一机械手臂，所述机械手臂是于水平面方向进行转动，以搬运所述储存器内所存放的晶圆，也因此，所述机械手臂于转动时，所述储存器内需额外增加空间，以供所述机械手臂转动时所需的转动空间，这将造成所述储存器体积庞大而不利于厂房的空间运用。此外，此种水平面方向转动过程中，容易受离心力影响造成晶圆掉落，为此，认为此种储存器实有改善的必要。
技术实现思路
有鉴于
技术介绍
所述不足的地方，本技术提出一种可供搬运板体或盒体的机械手臂，包括：一座体：所述座体可供与一输送机构形成动力连接，且所述座体的顶面位于一假想水平面。一第一支臂：所述第一支臂具有二相反的第一端及第二端，所述第一端枢设于所述座体顶面，所述第一支臂以第一端为轴枢转时形成一第一假想平面，且所述第一假想平面垂直所述假想水平面。一第二支臂：所述第二支臂具有二相反的第三端及第四端，所述第三端枢设于所述第二端，且所述第二支臂以所述第三端为轴转动时形成一第二假想平面，所述第二假想平面平行所述第一假想平面。一承接板：所述承接板枢设于所述第四端，且所述承接板垂直所述第二假想平面，所述承接板用以承接板体或盒体。一控制单元：所述控制单元分别信号连接所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板，所述控制单元可供控制所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板进行转动，以令所述第一支臂与所述第二支臂转动至转动路径始端或末端时，所述承接板平行所述假想水平面。所述板体或箱体的储存机构，其中，所述承接板的顶面铺设一止滑单元。有鉴于一般公知的储存机构(stocker)内部的机械手臂是以水平向转动为主，来达成将晶圆取出、存放等功能，本技术跳脱此种长久以来的观念，改以垂直向转动的方式来设计机械手臂，可有效利用储存机构在存放板体或是盒体时各相邻近的板体或盒体之间所存在的间距，将所述间距作为所述机械手臂转动时所需的转动半径而将所述板体或盒体取出、存放，如此一来，本技术可有效利用储存机构内的空间，进而使得所述储存系统的体积大幅下降，从而提高厂房的空间利用率。又，通过垂直向转动方式，可避免所述板体或所述盒体受到离心力影响而发生掉落。有鉴于中国专利法对于属于一个总的专利技术构思的两项以上的专利技术专利或者技术专利，可以作为一件申请提出的相关规定。本技术更同时提出一种板体或箱体的储存机构，包括：一内部具有一空间的储存箱体：所述储存箱体之前侧设有一开口及一平台，且所述平台的顶面连接所述开口的底缘；于所述空间内设有一输送单元，且所述输送单元与所述储存箱体之前侧壁或后侧壁其中之一具有一间距以供界定出一前空间或一后空间，于所述前空间或所述后空间设置一第一列隔板组，所述第一列隔板组包括由上而下相间隔设置多个第一水平向隔板，以供区隔出多个可供放置板体或盒体的第一储放空间。所述输送单元包括一机械手臂及一动力连接所述机械手臂的输送机构，所述输送机构可供带动所述机械手臂做垂直向移动，所述机械手臂包括一与所述输送机构形成动力连接的座体、一第一支臂、一第二支臂及一承接板，所述座体的顶面位于一假想水平面；所述第一支臂具有二相反的第一端及第二端，所述第一端枢设于所述座体顶面，所述第一支臂以所述第一端为轴枢转时形成一垂直所述假想水平面的第一假想平面；所述第二支臂具有二相反的第三端及第四端，所述第三端枢设于所述第二端，且所述第二支臂以所述第三端为轴转动时形成一平行所述第一假想平面的第二假想平面；所述承接板枢设于所述第四端，且所述承接板垂直所述第二假想平面，所述承接板用以承接板体或盒体；一控制单元分别信号连接所述第一支臂、所述第二支臂、所述承接板及所述输送机构，所述控制单元可供控制所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板进行转动，以令所述第一支臂与所述第二支臂转动至转动路径始端或末端时，所述承接板平行所述假想水平面，且所述控制单元可供控制所述输送机构的作动，以供控制所述承接板承接所述板体或所述盒体与否的状态。所述板体或箱体的储存机构，其中，所述输送单元分别与所述储存箱体的前侧壁或后侧壁具有一间距以供界定出所述一前空间及所述后空间；所述第一列隔板组设于所述前空间内，于所述后空间内设置一第二列隔板组，所述第二列隔板组包括由上而下相间隔设置复数多个第二水平向隔板，以供区隔出复数多个可供放置板体或盒体的第二储放空间。所述板体或箱体的储存机构，其中，于所述前空间或所述后空间其中之一相间隔列设所述第一列隔板组及一第三列隔板组，所述第三列隔板组包括由上而下相间隔设置复数多个第三水平向隔板，以供区隔出复数多个可供放置板体或盒体的第三储放空间；于所述空间内朝向所述开口的方向界定为前方，而顺时钟方向界定出右方、后方、左方，所述输送机构可供带动所述机械手臂沿左右方向移动。所述板体或箱体的储存机构，其中，于所述前空间内相间隔列设所述第一列隔板组及一第三列隔板组，所述第三列隔板组包括由上而下相间隔设置复数多个第三水平向隔板，以供区隔出复数多个可供放置板体或盒体的第三储放空间；于所述后空间内相间隔列设一第二列隔板组及一第四列隔板组，所述第二列隔板组包括由上而下相间隔设置复数多个第二水平向隔板，以供区隔出复数多个可供放置板体或盒体的第二储放空间，所述第四列隔板组包括由上而下相间隔设置复数多个第四水平向隔板，以供区隔出复数多个可供放置板体或盒体的第四储放空间；于所述空间内朝向所述开口的方向界定为前方，而顺时钟方向界定出右方、后方、左方，所述输送机构可供带动所述机械手臂沿左右方向移动。如前所述板体或箱体的储存机构，其中，所述承接板用以承接盒体的条件下，于所述储存箱体的一侧更设一惰性气体供应单元，所述惰性气体供应单元可供连通所述盒体，以供将惰性气体输送至所述盒体内。所述板体或箱体的储存机构，其中，更设一位置侦测器，所述位置侦本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种供搬运板体或盒体的机械手臂，其特征在于，包括：/n一座体：可供与一输送机构形成动力连接，且所述座体的顶面位于一假想水平面；/n一第一支臂：具有二相反的第一端及第二端，所述第一端枢设于所述座体顶面，所述第一支臂以第一端为轴枢转时形成一第一假想平面，且所述第一假想平面垂直所述假想水平面；/n一第二支臂：具有二相反的第三端及第四端，所述第三端枢设于所述第二端，且所述第二支臂以所述第三端为轴转动时形成一第二假想平面，所述第二假想平面平行所述第一假想平面；/n一承接板：枢设于所述第四端，且所述承接板垂直所述第二假想平面，所述承接板用以承接板体或盒体；/n一控制单元：分别信号连接所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板，所述控制单元可供控制所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板进行转动，以令所述第一支臂与所述第二支臂转动至转动路径始端或末端时，所述承接板平行所述假想水平面。/n

【技术特征摘要】
1.一种供搬运板体或盒体的机械手臂，其特征在于，包括：
一座体：可供与一输送机构形成动力连接，且所述座体的顶面位于一假想水平面；
一第一支臂：具有二相反的第一端及第二端，所述第一端枢设于所述座体顶面，所述第一支臂以第一端为轴枢转时形成一第一假想平面，且所述第一假想平面垂直所述假想水平面；
一第二支臂：具有二相反的第三端及第四端，所述第三端枢设于所述第二端，且所述第二支臂以所述第三端为轴转动时形成一第二假想平面，所述第二假想平面平行所述第一假想平面；
一承接板：枢设于所述第四端，且所述承接板垂直所述第二假想平面，所述承接板用以承接板体或盒体；
一控制单元：分别信号连接所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板，所述控制单元可供控制所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板进行转动，以令所述第一支臂与所述第二支臂转动至转动路径始端或末端时，所述承接板平行所述假想水平面。


2.一种板体或箱体的储存机构，其特征在于，包括：
一内部具有一空间的储存箱体，且所述储存箱体的前侧设有一开口及一平台，且所述平台的顶面连接所述开口的底缘；于所述空间内设有一输送单元，且所述输送单元与所述储存箱体的前侧壁或后侧壁其中之一具有一间距以供界定出一前空间或一后空间，于所述前空间或所述后空间设置一第一列隔板组，所述第一列隔板组包括由上而下相间隔设置多个第一水平向隔板，以供区隔出多个可供放置板体或盒体的第一储放空间；所述输送单元包括一机械手臂及一动力连接所述机械手臂的输送机构，所述输送机构可供带动所述机械手臂做垂直向移动，所述机械手臂包括一与所述输送机构形成动力连接的座体、一第一支臂、一第二支臂及一承接板，所述座体的顶面位于一假想水平面；所述第一支臂具有二相反的第一端及第二端，所述第一端枢设于所述座体顶面，所述第一支臂以所述第一端为轴枢转时形成一垂直所述假想水平面的第一假想平面；所述第二支臂具有二相反的第三端及第四端，所述第三端枢设于所述第二端，且所述第二支臂以所述第三端为轴转动时形成一平行所述第一假想平面的第二假想平面；所述承接板枢设于所述第四端，且所述承接板垂直所述第二假想平面，所述承接板用以承接板体或盒体；一控制单元分别信号连接所述第一支臂、所述第二支臂、所述承接板及所述输送机构，所述控制单元可供控制所述第一支臂、所述第二支臂及所述承接板进行转动，以令所述第一支臂与所述第二支臂转动至转动路径始端或末端时，所述承接板平行所述假想水平面，且所述控制单元可供控制所述输送机构的作动，以供控制所述承接板承接所述板体或所述盒体与否的状态。


3.根据权利要求2所述板体或箱体的储存机构，其特征在于，所述输送单元分别与所述储存箱体的前侧壁或后侧壁具有一间距以供界定出所述一前空间及所述后空间；所述第一列隔板组设于所述前空间内，于所述后空间内设置一第二...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立平，
申请(专利权)人：三和技研股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71