具有双传动机构的机械手臂制造技术

本发明专利技术是关于一种具有双传动机构的机械手臂，主要利用化繁为简的概念，让以往一台需要复杂且精密的传动机构，分成二台传动机构，且各传动机构的齿轮箱的齿轮比相异，如此一来，一台传动机构可主要用于快速带动机械手臂本体进行垂直向移动，另一台传动机构主要用于精准调整，使机械手臂得以精准的移动至默认位置。也由于传动机构的化繁为简，使得每一台齿轮箱的体积得以缩小，进而让机械手臂整体的体积大幅缩小。积大幅缩小。积大幅缩小。

【技术实现步骤摘要】
具有双传动机构的机械手臂
[0001]
：本专利技术创作是涉及一种机械手臂，尤指一种具有双传动机构的机械手臂。

技术介绍
：
[0002]请参阅中国台湾专利证书号529058「机械手臂以及将晶圆从第一位置移至第二位置之方法」，所述专利是揭示出：一种晶圆加工系统是利用譬如反应器、装载锁及冷却站等垂直安装的模块而占用最小楼板空间，利用以旋转动作将晶圆载体移入装载锁中的一种装载站来进一步节省楼板空间。晶圆加工系统包括一机械手臂，此机械手臂具有伸长、旋转、垂直动作以取及垂直安装的模块。机械手臂在内部受到冷却且具有一个抗热性端点执行器，可使得机械手臂与高温半导体加工兼容。
[0003]所述专利虽有着上述优点，然而，所述专利仍旧存有不足的地方，其原因在于所述专利主要通过「一个Z轴(亦即垂直动作)马达是经由一个皮带机械式耦合至球螺丝并转动球螺丝」，如此带动机械手臂做垂直向移动，使得一台Z轴马达不仅要达到快速带动机械手臂做垂直向移动，同时还要具有精准定位效果，使机械手臂可以准确地达到默认高度位置，如此一来，造成所述Z轴马达需要配合多项零件(如变速箱)才能达到上述效果，这造成整体产生制作成本高、体积大等问题。

技术实现思路
：
[0004]有鉴于
技术介绍
所述不足的地方，本专利技术创作者提供一种解决手段，所述手段是关于一种具有双传动机构的机械手臂，包括：
[0005]一第一传动机构：
[0006]所述第一传动机构内部设有一第一变速箱，所述第一传动机构的输出端连接一第一承载件，所述第一传动机构可供带动所述第一承载件作垂直向移动。
[0007]一第二传动机构：
[0008]所述第二传动机构设于所述第一承载件，所述第二传动机构内部设有一第二变速箱，且所述第二传动机构输出端连接一第二承载件，所述第二传动机构可供带动所述第二承载件作垂直向移动；所述第一变速箱的变速比异于所述第二变速箱的变速比。
[0009]一机械手臂本体：
[0010]所述机械手臂本体设于所述第二承载件。
[0011]一控制单元：
[0012]所述控制单元分别信息连接所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体，以供分别控制所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体作动。
[0013]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述第一传动机构包括垂直向设置的一第一滑轨，及一第一驱动单元；所述第一承载件为一N型板，包括一第一横板、一第二横板，及一纵板，所述纵板相反二缘边分别连接所述第一横板的一缘边及所述第二横板的一缘
边；所述第一驱动单元连接所述第一横板以供所述第一承载件沿所述第一滑轨移动，且所述第二横板及所述纵板位于所述第一滑轨左右其中一侧方；所述第二传动机构包括垂直向设置的一第二滑轨，及一第二驱动单元，所述第二滑轨设于所述第二横板或所述纵板其中之一，所述第二承载件设于所述第二滑轨，所述第二驱动单元连接所述第二承载件，以供带动所述第二承载件沿所述第二滑轨移动。
[0014]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述机械手臂本体设有一高度侦测单元，所述控制单元信息连接所述高度侦测单元，所述控制单元根据所述高度侦测单元的侦测结果，判断是否满足高度默认值，当未满足时则分别控制所述第一传动机构及所述第二传动机构作动直到满足所述高度默认值，并记录控制参数得到一控制数据。
[0015]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，当超过一默认时间且所述控制单元判断所述高度侦测单元的侦测结果均无法满足所述高度默认值时，则发出一第一警示讯息。
[0016]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述控制单元可供信息连接一地震通报系统，当所述地震通报系统发出地震通知时，则所述控制单元控制所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体停止作动。
[0017]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述控制单元信息连接一水平仪，当所述控制单元收到所述地震通知一预设时间后，根据所述水平仪侦测结果，决定所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体是否重启。
[0018]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述控制单元信息连接一声音分析单元，所述声音分析单元用以分析所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体作动时所发出的声音，当判断所述声音属于噪音时，则所述控制单元发出一第二警示讯息。
[0019]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述控制单元信息连接一温度侦测单元，当所述温度侦测单元所测得温度高于一温度默认值时，则所述控制单元控制所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体停止作动。
[0020]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，待承接物设有一RFID；所述机械手臂本体设有一RFID读取单元及一承接件，所述RFID读取单元信息连接所述控制单元，用以供读取所述RFID得到一识别数据，当所述识别数据满足默认数据时，则所述控制单元驱动所述承接件承接所述待承接物，并将所述识别数据制作成一输送数据。
[0021]所述具有双传动机构的机械手臂，其中，所述控制单元信息连接一震动分析单元，所述震动分析单元用以分析所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体作动时所发出的震动，当判断所述震动属于异常时，则所述控制单元发出一第三警示讯息。
[0022]本专利技术创作主要特色是化繁为简，让一台传动机构需要通过繁杂的控制组件(如变速箱)，简化成所述第一传动机构与所述第二传动机构，并利用所述第一变速箱与所述第二变速箱的齿轮比相异的优点，使得其中一台传动机构可以专注在快速让所述机械手臂上升至预设高度附近，再通过另一台传动机构作微调，使所述机械手臂得以精准的上升到预设高度。如此一来，本专利技术创作的传动机构无须通过复杂且精密的控制组件(如变速箱)，便可达到精准定位的效果，同时，也由于控制组件的简化，使得控制组件整体的体积得以下降，进而使整台机械手臂所占体积大幅下降。
附图说明：
[0023]图1是本专利技术创作的立体外观图一
[0024]图2是本专利技术创作的立体外观图二
[0025]图3是本专利技术创作的侧视示意图
[0026]图4是本专利技术创作的第一传动机构作动示意图
[0027]图5是本专利技术创作的第二传动机构作动示意图
[0028]图6是本专利技术创作的各组件链接示意图
[0029]附图标记：
[0030]1ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一传动机构
[0031]11
ꢀꢀꢀꢀ
第一滑轨
[0032]12
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第一驱动单元
[0033]2ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一承载件
[0034]21
ꢀꢀꢀꢀ
第一横板
[0035]22
ꢀꢀꢀꢀ
第二横板
[0036]23
ꢀꢀꢀꢀ
纵板
[0037]23A
ꢀꢀꢀ
纵板
[0038]23B
ꢀꢀꢀ
纵板...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有双传动机构的机械手臂，其特征在于，包括：一第一传动机构：内部设有一第一变速箱，所述第一传动机构的输出端连接一第一承载件，所述第一传动机构可供带动所述第一承载件作垂直向移动；一第二传动机构：设于所述第一承载件，所述第二传动机构内部设有一第二变速箱，且所述第二传动机构输出端连接一第二承载件，所述第二传动机构可供带动所述第二承载件作垂直向移动；所述第一变速箱的变速比异于所述第二变速箱的变速比；一机械手臂本体：设于所述第二承载件；一控制单元：分别信息连接所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体，以供分别控制所述第一传动机构、所述第二传动机构，及所述机械手臂本体作动。2.根据权利要求1所述具有双传动机构的机械手臂，其特征在于，所述第一传动机构包括垂直向设置的一第一滑轨，及一第一驱动单元；所述第一承载件为一N型板，包括一第一横板、一第二横板，及一纵板，所述纵板相反二缘边分别连接所述第一横板的一缘边及所述第二横板的一缘边；所述第一驱动单元连接所述第一横板以供所述第一承载件沿所述第一滑轨移动，且所述第二横板及所述纵板位于所述第一滑轨左右其中一侧方；所述第二传动机构包括垂直向设置的一第二滑轨，及一第二驱动单元，所述第二滑轨设于所述第二横板或所述纵板其中之一，所述第二承载件设于所述第二滑轨，所述第二驱动单元连接所述第二承载件，以供带动所述第二承载件沿所述第二滑轨移动。3.根据权利要求2所述具有双传动机构的机械手臂，其特征在于，所述机械手臂本体设有一高度侦测单元，所述控制单元信息连接所述高度侦测单元，所述控制单元根据所述高度侦测单元的侦测结果，判断是否满足高度默认值，当未满足时则分别控制所述第一传动机构及所述第二传动机构作动直到满足所述高度默认值，并记录控制参数得到一控制数据。4.根据权利要求3所述具有双传动机构的机械手臂，其特征在于，当超过一默认时间且所述控制单元判断所...

【专利技术属性】
技术研发人员：张立平，
申请(专利权)人：三和技研股份有限公司，
类型：发明
国别省市：