可变波长滤光器以及可变波长滤光器的制造方法技术

本发明专利技术提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部（２１１）的固定基板（２）；与具备具有开口部分（３１１）的可动部（３１）的固定基板（２）接合的可动基板（３）；用于覆盖开口部分（３１１）并接合到可动部（３１）的透光基板（４）；在固定基板（２）上设置的固定反射膜（２００）；在透光基板（４）上设置的隔开干涉用间隙（２１）与固定反射膜（２００）相对配置的可动反射膜（２１０）；通过相对于固定基板（２）改变可动部（３１）的位置，来改变干涉用间隙（２１）的间隔的驱动部，构成为：在固定反射膜（２００）和可动反射膜（２１０）之间重复进行反射、且可向外部发射出与干涉用间隙２１的间隔相对应的波长的干涉光。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种。
技术介绍
公知有一种调节各个波长中的强度分布的可变波长滤光器(OpticalTunable Filter)。本专利技术涉及的可变波长滤光器相关的申请是以下所述的可变波长滤光器。<表面微机械加工的滤光器> 现有的可变波长滤光器的可变间隙厚度只利用牺牲层厚度来进行控制。当采用这种方法时，会产生由于牺牲层的制膜条件所引起的厚度偏差，并存在薄膜和驱动电极之间的库仑力不固定且不能获得稳定的驱动那样的问题。此外，由于具有使可动部在基板上突出的结构，因此就会增加可变波长滤光器的厚度(例如，参照专利文献1)。<采用SOI晶片(wafe)的滤色镜> 另一方面，在US6341039中，采用SOI(Silicon on Insulator，绝缘体上硅结构)晶片的SiO2层作为牺牲层，形成可变间隙。由此，就能够更高精度地形成可变间隙。但是，由于在驱动电极和可动部之间未形成绝缘结构，当产生大的静电引力时，就会引起可动部与驱动电极粘附在一起这样的问题(例如，参照专利文献2)。<两种方式下的共同问题>本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可变波长滤光器，具备：第一基板，其具有第一凹部；第二基板，其具备可动部和支撑部，且与所述第一基板接合，其中所述可动部在与所述第一凹部相对的位置上具有开口部分，所述支撑部可变位地支撑该可动部；第三基板，其具有透光性 ，按照位于与所述开口部分对应的部位的方式与所述可动部接合；固定反射膜，其设置在所述第一凹部的底部；可动反射膜，其设置在所述第三基板的所述第一凹部侧，且隔开干涉用间隙与所述固定反射膜相对配置；以及驱动部，其通过使所述可 动部相对于所述第一基板变位，来变更所述干涉用间隙的间隔，在所述固定反射膜...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：中村亮介，郑昌镐，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，思泰克株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]