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本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部（２１１）的固定基板（２）；与具备具有开口部分（３１１）的可动部（３１）的固定基板（２）接合的可...该专利属于精工爱普生株式会社;思泰克株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社;思泰克株式会社授权不得商用。
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本发明提供一种可防止从可变波长滤光器发射出的光衰减且相对于各种波长的光可进行波长分离的可变波长滤光器及其制造方法。其特征在于，具备：具有第一凹部（２１１）的固定基板（２）；与具备具有开口部分（３１１）的可动部（３１）的固定基板（２）接合的可...