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可分开式调制器制造技术

技术编号:2670701 阅读:170 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术揭示一种可分开式调制器架构。所述调制器具有一在一空腔上方悬挂于一挠性层上的反射镜。所述挠性层还形成所述反射镜的支撑件及支撑柱。一替代的可分开式调制器架构具有一悬挂于一空腔上方的反射镜。所述调制器由支撑件及支撑柱来支撑。所述支撑柱包括一位于支撑柱插塞上方的挠性层。一总线结构可形成于设置在所述支撑柱上方的所述挠性层上。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
用于成像应用的空间光调制器具有许多种不同的形式。透射式液晶装置(LCD)调制器通过控制晶体材料的扭转及/或配向以阻断或通过光来对光进行调制。反射式空间光调制器则利用不同的物理效应来控制反射至成像表面的光量。这种反射式调制器的实例包括反射式LCD及数字微反射镜器件(DMDTM)。空间光调制器的另一实例是一通过干涉对光进行调制的干涉式调制器,例如iMoDTM。iMoD采用一具有至少一个可移动或可偏转的壁的空腔。当该壁(其通常至少部分地由金属构成)朝该空腔的正面移动时会发生干涉,此种干涉会影响在该正面处观看到的光的色彩。由于iMOD是直视式装置,因而该正面通常是显现由观察者所看到的图像的表面。目前,iMoD是由形成于支撑件上的薄膜构造而成,这些支撑件界定构成图像像素(pixel)的各个机械元件。在单色显示器(例如一在黑色与白色之间转换的显示器)中,一个iMoD元件可对应于一个像素。在彩色显示器中,三个iMoD元件可构成每一像素—红色、绿色及蓝色各一个。分别控制各个iMoD元件来产生所需的像素反射率。通常,对空腔的可移动壁施加一电压,使其被静电吸引至正面,此又会影响观察者所看到的像素的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光调制器,其包括:    一具有第一和第二表面的反射镜,其悬挂在一设置在所述第一表面下面的空腔上方;    固定至所述反射镜的所述第二表面的支撑件;    通过所述支撑件将所述反射镜悬挂于所述空腔上方的支撑柱,所述支撑柱及支撑件由一相同的材料层形成;及    一电极及一光学堆叠,其从所述反射镜跨过所述空腔与所述第一表面相对地定位,以使所述电极的启动使所述反射镜朝所述电极移动,从而改变所述空腔的尺寸和干涉性质。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:杰弗里B桑普塞尔马克W迈尔斯克拉伦斯徐马尼什科塔里
申请(专利权)人:IDC公司
类型:发明
国别省市:US[美国]

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