具有肋条和锥形梳齿的微机电系统（MEMS）扫描镜的尺寸技术方案

本发明专利技术涉及一种微机电系统（ＭＥＭＳ）反射镜装置，其包括一反射镜、结合衬垫、弹簧和连接到所述反射镜的横梁。所述反射镜具有大于１０００且小于１２００微米的宽度、大于４０００且小于５５００微米的长度和大于２４０微米的厚度。每个横梁包括复数个可旋转梳齿且通过复数个弹簧连接到所述结合衬垫。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机电系统(MEMS)装置，且更特定而言涉及MEMS扫描镜。
技术介绍
已提议了用于MEMS扫描镜的多种静电梳致动器设计。此等装置的广泛应用包括条码读取器、激光印刷机、共焦显微镜、投影显示器、背投TV和可穿戴显示器。MEMS扫描镜通常以其主谐振来驱动以达成大的扫描角度。为了确保稳定操作，确保反射镜和其相关联的活动结构将以最低且主谐振频率以所要的振形振动是极重要的。在多种应用中，反射镜尺寸必须较大且镜面必须平坦以确保高的光学分辨率。对于多种应用反射镜振动/扫描速度亦必须为快速的。已知当反射镜尺寸和扫描速度增加时，反射镜动态平整度劣化。若没有平坦镜面，则扫描镜对多种应用几乎没有用途。另外，此主频率必须远离其它结构振动频率以避免所要振形与不当振形之间的潜在耦合。不当的结构振动将增强反射镜动态变形且导致下降的光学分辨率。此外，某些结构振动模式可导致可旋转活动的梳齿与固定的梳齿接触并同时中断致动器。具有接近谐振频率的两个或两个以上结构振动模式可耦合而产生导致铰链故障的高振幅。因此，在MEMS扫描镜的设计中需要有效改进谐振的振动稳定性并确保此等装置的光学分辨率的一种设备和一种方本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电系统（ＭＥＭＳ）反射镜装置，其包含：一反射镜，其包含一大于１０００且小于１２００微米的宽度、一大于４０００且一小于５５００微米的长度和一大于２４０微米的厚度；连接到所述反射镜的横梁，每个横梁包含复数个可旋转梳齿；　 　结合衬垫；和弹簧，其中每个横梁通过多个弹簧连接到所述结合衬垫。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：傅冶中，
申请(专利权)人：先进奈米系统公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]