光束扫描装置制造方法及图纸

一种光束扫描装置，包括用于沿主扫描方向上扫描来自偏转前光学系统的光束的旋转多角镜以及两个用于将由旋转多角镜（５）扫描的光束在像平面上成像的反射镜（２３）、（２５）。该装置被设置为使得位于旋转多角镜（５）侧的第一反射镜（２３）在主扫描方向上有负放大倍数，位于像平面侧的第二反射镜（２５）在主扫描方向上有正放大倍数。因此，可以提高处理单元等的形状和排列自由度，并且可以通过保证最后成像部件和像平面之间的距离，同时抑制旋转多角镜（５）中反射面（５Ａ）和像平面之间光程长度的增加，来降低装置尺寸。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种包括两个用于将通过旋转多角镜扫描的光束成像在像平面上的反射镜的光束扫描装置。
技术介绍
在将透镜用于曝光装置的偏转后光学系统的扫描光学系统中，在防止光束位置和成像位置随波长的变化而偏移的色差消除方面存在着设计缺陷。这是因为透镜材料的折射率随波长而变。相反，反射镜的优点在于其对波长的依赖性不强，因此已做出的很多专利技术都在扫描光学系统中使用了反射镜。例如，日本专利申请公开(JP-A)第2001-56445号中描述的激光扫描装置。在该激光扫描装置中，如图1和图2所示，偏转后光学系统中使用了两个反射镜，并且这两个反射镜在主扫描方向上的放大倍数分别都为正。因此，这两个反射镜的主点位于第一反射镜和第二反射镜之间，因此从最后成像元件到像平面的距离无法取得大于fθ反射镜的f值。此外，JP-A第2001-13441号和第2001-13442号公开了一种采用一个反射镜的装置，这种情况下，主点位于反射镜表面上。因此，从最后反射镜表面到像平面的距离近似等于fθ反射镜的f值。此外，有一种采用一对塑料透镜的装置，它使用了采用便宜模制部件的光学元件，其缺陷是不能提供大的放大倍数给透镜本身来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种光束扫描装置，包括：旋转多角镜，用于沿主扫描方向扫描来自偏转前光学系统的光束；以及两个反射镜，用于将通过所述旋转多角镜扫描的光束在像平面上成像，其中，位于所述旋转多角镜侧的第一反射镜在主扫描方向上具有负放大倍数，并且，位于所述像平面侧的第二反射镜在主扫描方向上具有正放大倍数。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：白石贵志，
申请(专利权)人：株式会社东芝，东芝泰格有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]