激光打标折射/谐衍射混合f-theta镜系统技术方案

本发明专利技术涉及一种激光打标镜系统，特别是应用于半导体激光器发射波长范围打标用的ｆ－ｔｈｅｔａ镜，同时包括Ｎｄ：ＹＡＧ激光器的发射波长，属于激光光学打标镜系统。本发明专利技术包括光栏、折射透镜、折射／谐衍射混合透镜等，其特点是根据半导体激光器发射波长范围特性及Ｎｄ：ＹＡＧ激光器发射波长特性，以及谐衍射浮雕面型的特点，在同光轴系统中三片折射透镜的后面设置一折射／谐衍射混合透镜。将谐衍射浮雕面型成功地引入到半导体激光器及Ｎｄ：ＹＡＧ激光器打标镜的设计中，使用普通的材料ＳＦ１８和ＢＫ７，使系统在０．８－１．５μｍ波段内很好的校正了各种单色像差和色差，光学传递函数接近或达到衍射极限。结构紧凑，片数少，兼容性好，具有良好的像差特性。适用于半导体激光器及Ｎｄ：ＹＡＧ激光器打标系统中，为ｆ－ｔｈｅｔａ镜的设计提供了一种全新的器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光学打标镜系统，特别是应用于半导体激光器波长范围及Nd:YAG激光器波长的打标用f-theta镜，属于激光光学扫描镜系统。
技术介绍
半导体激光器的功率在发射波长范围0.80～1.50μm波段中是比较强的。但现在用于半导体激光器打标用的f-theta镜绝大多数设计其工作在波长0.8μm上。单波长的f-theta镜技术已经非常完善，有很多公司已经设计并且生产了许多不同型号的用于半导体激光打标的f-theta镜，用户可根据自己的要求选择不同的f-theta镜，如德国Rodenstock公司，新加坡波长科技公司，国内的武汉焦点光学技术有限公司等。但是半导体激光器在激光打标应用中，由于不同的基底对于不同波长灵敏度不同，通常要选择灵敏度最高的波长来进行打标，则可选用不同的激光器，但是需要更换f-theta镜，因为绝大多数f-theta镜都是设计在其中某个波长上。因此设计波长在0.80～1.50μm普适的f-theta镜具有重要的应用价值。如果要使f-theta镜在0.80～1.50μm波段范围内都能工作，则应该在此波段范围内每个波长上很好消除各种单色像差，并且消除色差，对本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光打标折射／谐衍射混合ｆ－ｔｈｅｔａ镜系统，包括光栏、折射透镜、折射／谐衍射混合透镜、打标平面，其特征是：在折射透镜１－１３的后面放置折射／谐衍射混合透镜１－１４，同光轴上依次安置有光栏１－１、折射透镜１－１１、折射透镜１－１２、折射透镜１－１３、折射／谐衍射混合透镜１－１４、打标平面１－１０，折射／谐衍射混合透镜的前表面制备谐衍射浮雕面型１－８，放在靠近折射透镜的一侧，其反面是折射面１－９。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王肇圻，吴环宝，
申请(专利权)人：南开大学，
类型：发明
国别省市：12[中国|天津]