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本发明涉及一种微机电系统（ＭＥＭＳ）反射镜装置，其包括一反射镜、结合衬垫、弹簧和连接到所述反射镜的横梁。所述反射镜具有大于１０００且小于１２００微米的宽度、大于４０００且小于５５００微米的长度和大于２４０微米的厚度。每个横梁包括复数个可旋转...
该专利属于先进奈米系统公司所有，仅供学习研究参考，未经过先进奈米系统公司授权不得商用。

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