基体真空处理设备及其方法技术

一种用于基体的真空处理设备，其包括真空处理装置（3）。输入负载锁装置（1i）朝向真空处理装置（3）引导并且引导到真空处理装置（3）中，并且输出负载锁装置（1o）从真空处理装置（3）引导出来。两个负载锁装置（1i，1o）中的一个（1i）包括串联的至少两个负载锁（10ai，10bi），所述至少两个负载锁（10ai，10bi）分别由泵（12ai，12bi）来泵送。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基体真空处理设备及其方法在真空处理基体的领域，通常例如从环境大气经由输入负载锁装置朝向真空处理装置运送未处理的基体，该真空处理装置包括真空运输室，所述真空运输室供应多个处理室。在处理室中，基体经受一种或多于一种真空处理，例如经受蚀刻，经受层积等。一经处理，基体通过真空运输室并且经由输出负载锁装置被移出到环境大气。借助于相应的输入运送器装置和输出运送器装置将基体运送通过相应的输入负载锁装置和输出负载锁装置。由此，相应的负载锁装置可以是单向的，即输入负载锁由仅朝向真空处理装置运送基体的输入运送器装置作用，且输出负载锁装置由仅从真空处理装置运送基体的输出运送器装置作用。备选地，可以提供双向负载锁装置，其由既朝向真空处理装置又从真空处理装置运送基体的运送器装置作用。相应的输入负载锁装置和输出负载锁装置通常由相应的单个负载锁实现。定义：在本说明和权利要求中，关于术语“负载锁”，我们理解为一室，在操作中，所述室被可操作地连接到泵并且具有用于基体的至少一个输入阀和用于基体的至少一个输出阀。负载锁阀中的一个可控制地将室的内部大气从处于一个压力的大气分开，负载锁阀中的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基体真空处理设备，其包括/n•用于至少一个基体的真空处理装置，所述真空处理装置包括真空运输室，所述真空运输室供应多个处理室；/n•输入负载锁装置，其具有到所述真空运输室的输入运送器装置；/n•输出负载锁装置，其具有从所述真空运输室出来的输出运送器装置；/n•其中，沿着相应的运送机装置的运送通路考虑，所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置中的至少一个包括串联的至少两个负载锁，并且所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置中的所述至少一个在环境大气和所述真空运输室之间互相连接。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180515 CH 00604/181.一种基体真空处理设备，其包括
•用于至少一个基体的真空处理装置，所述真空处理装置包括真空运输室，所述真空运输室供应多个处理室；
•输入负载锁装置，其具有到所述真空运输室的输入运送器装置；
•输出负载锁装置，其具有从所述真空运输室出来的输出运送器装置；
•其中，沿着相应的运送机装置的运送通路考虑，所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置中的至少一个包括串联的至少两个负载锁，并且所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置中的所述至少一个在环境大气和所述真空运输室之间互相连接。


2.根据权利要求1所述的设备，其中，沿着所述相应的运送机装置的所述运送通路，所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置各自包括串联的至少两个负载锁。


3.根据权利要求1或2中的一项所述的设备，其中，至少所述输入负载锁装置包括串联的所述至少两个负载锁，并且所述输入负载锁装置的所述至少两个负载锁中的至少一个不是所述输出负载锁装置的负载锁。


4.根据权利要求1至3中的一项所述的设备，其中，至少所述输出负载锁装置包括串联的所述至少两个负载锁，并且所述输出负载锁装置的所述至少两个负载锁中的至少一个不是所述输入负载锁装置的负载锁。


5.根据权利要求1至4中的一项所述的设备，所述至少两个负载锁中的至少一个共用于所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置。


6.根据权利要求5所述的设备，其中，沿着所述相应的运送器装置的所述运送通路考虑，所述至少两个负载锁中的所述共用负载锁比所述至少两个负载锁中的其它负载锁更接近于所述真空运输室。


7.根据权利要求1至6中的一项所述的设备，其中，沿着所述相应的运送机装置的所述运送通路，所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置各自包括串联的至少两个负载锁，并且至少一个负载锁共用于所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置，所述输入负载锁装置的所述至少两个负载锁中的至少一个不共用于所述输出负载锁装置，所述输出负载锁装置的所述至少两个负载锁中的至少一个不共用于所述输入负载锁装置，沿着所述输入运送器装置和所述输出运送器装置的所述通路考虑，所述至少一个共用负载锁比所述非共用负载锁更接近于所述真空运输室定位。


8.根据权利要求1至7中的一项所述的设备，其中，串联的所述负载锁中的至少一个可操作地连接到基体缓冲器台。


9.根据权利要求1至8中的一项所述的设备，其中，串联的所述负载锁中的至少一个此外还是以下中的一个：
•可操作性地连接到基体处理站的；
•可操作性地连接到基体缓冲器的；
•加热站；
•冷却站；
•除气器站。


10.根据权利要求1至9中的一项所述的设备，其中，串联的所述至少两个负载锁中的每个都可操作地连接到泵，并且其中，串联的所述至少两个负载锁中的至少一个可操作地连接到被构造成在更低压力范围内操作的泵，串联的所述至少两个负载锁中的所述至少一个比串联的所述至少两个负载锁中的其它负载锁更接近于所述真空运输室定位，所述被构造成在更低压力范围内操作的所述泵是指比可操作地连接到串联的所述至少两个负载锁中的所述其它负载锁的泵在更低压力范围内操作的泵。


11.根据权利要求1至10中的一项所述的设备，其中，串联的所述至少两个负载锁中的至少一个被专门制作用于适应单个基体或同时被运送的基体的单个集群。


12.根据权利要求1至11中的一项所述的设备，其中，所述输入负载锁装置和所述输出负载锁装置以及所述输入运送器装置和所述输出运送器装置被构造成操纵矩形基体或正方形基体。


13.根据权利要求12所述的设备，其中，所述矩形基体的较短的边或所述正方形基体的边等于或大于400mm或大于600mm。


14.根据权利要求13所述的设备，其中，所述较短的边最大为1100mm。


15.根据权利要求12至14中的一项所述的设备，其中所述矩形基体或正方形基体具有1400mm的最大边范围。


16.根据权利要求12至15中的一项所述的设备，其中，所述输入运送器装置和所述输出运送器装置被构造成仅垂直于所述基体的边运送所述基体。


17.根据权利要求1至16中的一项所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：G·范布伦，D·佐齐，C·艾格利，
申请(专利权)人：瑞士艾发科技，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH