制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法。所述晶圆键合装置包括晶圆对准装置及承重砝码，所述晶圆对准装置上设有晶圆放置槽，所述承载晶圆贴于玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧，晶圆槽的边缘设有夹取晶圆的镊子槽。使用方法为：首先，在玻璃窗晶圆及承载晶圆上旋涂粘合物；然后，将承载晶圆、玻璃窗晶圆先后放入晶圆槽，晶圆切边与镊子槽对齐放置；第三，将承重砝码放置在玻璃窗晶圆上，并配合加热来赶走两片晶圆之间的气泡，从而实现晶圆键合。本发明专利技术在玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧键合一片承载晶圆，利用承载晶圆来承受玻璃窗制备时的背部氦气气压，以此来解决玻璃窗破裂的难题。

【技术实现步骤摘要】
制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及使用方法
本专利技术涉及一种制备宇宙微波背景辐射探测的超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置及其使用方法，属于超导电子

技术介绍
超导电子学是超导物理与电子技术相结合的一门交叉学科，以超导微观理论和多种量子效应为基础，以约瑟夫森结、超导平面微纳结构为主要结构单元，可形成无源器件、微波有源器件、传感器/探测器等多种超导电子学器件和电路，在噪声、速度、功耗、带宽等方面具有传统半导体器件和电路无可比拟的优势，在极高限灵敏度探测、量子信息处理、量子计量、高性能计算和前沿基础研究等领域可发挥不可替代的作用。特别地，超导探测器，如超导转变边探测器及微波动态电感传感器，具备超高灵敏度，是目前国际上正在研发的用于宇宙微波背景辐射探测的一类探测器。该类探测器的研制过程非常复杂，包含十几道工艺，如超导铌导线、超导微带线、超导转变边探测器、微波动态电感传感器、过孔、高指数介质层(如SiNx、SiO2等)、超薄玻璃窗(0.5～20μm)的制备等。为保证制备出的探测器具备超高灵敏度，制备工艺的每一步都必须保证100％的成本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，包括晶圆对准装置及用于压实晶圆的承重砝码，所述晶圆对准装置上设有与承载晶圆相配合的晶圆放置槽(3)，所述承载晶圆贴于玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧，晶圆槽(3)的边缘设有用于夹取晶圆的镊子槽(2)。/n

【技术特征摘要】
1.一种制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，包括晶圆对准装置及用于压实晶圆的承重砝码，所述晶圆对准装置上设有与承载晶圆相配合的晶圆放置槽(3)，所述承载晶圆贴于玻璃窗晶圆的玻璃窗一侧，晶圆槽(3)的边缘设有用于夹取晶圆的镊子槽(2)。


2.如权利要求1所述的制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，所述承载晶圆的材料为蓝宝石、硅、玻璃；所述承载晶圆与所述玻璃窗晶圆之间通过光刻胶、油脂或石蜡粘接。


3.如权利要求1所述的制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，所述晶圆对准装置的两侧分别设有把手(1)；所述把手(1)与晶圆对准装置为一体结构或通过螺丝与晶圆对准装置连接固定。


4.如权利要求3所述的制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，所述把手(1)的截面为正方形、多边形或圆形。


5.如权利要求1所述的制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，所述承重砝码包括砝码(4)，砝码(4)上设有砝码抓手(5)。


6.如权利要求5所述的制备超导探测器玻璃窗时所需的晶圆键合装置，其特征在于，所述砝码抓手(5)的横截面为正方形、多边形、圆形或长方形；所述砝码(4)的底面不超过晶圆的外缘。


7.如权利要求1所述的制...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋艳汝，杨瑾屏，刘志，
申请(专利权)人：上海科技大学，
类型：发明
国别省市：上海;31