【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】双装载锁定腔室
本揭露案的实施方式大致关于基板处理系统，且更特定而言关于用于多腔室处理系统的方法及设备。
技术介绍
处理系统，例如诸如具有耦接至共享的传送腔室的多个处理腔室的群集工具，被使用以减少系统及制造成本，且提高处理产量。一个或更多个装载锁定腔室促进基板进出工厂界面及共享的传送腔室的通道。然而，传统的装载锁定腔室在群集工具多腔室系统(例如，双或四个腔室)中于各个站处可能降低产量。在此系统中，装载锁可能作为瓶颈，因为在共享的传送腔室中的传送机械手可能需要在装载锁定腔室与每个多腔室系统之间进行很多次行程(trip)，以促进将基板传送进出多腔室系统。因此，专利技术人提供与多腔室处理系统一起使用的改良的装载锁定腔室。
技术实现思路
本文揭露在多腔室处理系统中使用的双装载锁定腔室。在一些实施方式中，双装载锁定腔室包括：第一装载锁定腔室，具有第一内部空间及布置于第一内部空间中的第一基板支撑件，其中第一基板支撑件包括垂直间隔开的第一多个支撑表面，以支撑相对应的第一多个基板，且其中第一多个支撑表面的...
【技术保护点】
1.一种双装载锁定腔室，包含：/n第一装载锁定腔室，具有第一内部空间及布置于所述第一内部空间中的第一基板支撑件，其中所述第一基板支撑件包括垂直间隔开的第一多个支撑表面，以支撑相对应的第一多个基板，且其中所述第一多个支撑表面的相邻支撑表面以第一预定距离间隔开；/n至少一个传热装置，布置于所述第一基板支撑件中，以加热或冷却所述第一多个基板；及/n第二装载锁定腔室，布置成与所述第一装载锁定腔室相邻，且具有第二内部空间及布置于所述第二内部空间中的第二基板支撑件，其中所述第二基板支撑件包括垂直间隔开的第二多个支撑表面，以支撑相对应的第二多个基板，且其中所述第二多个支撑表面的相邻支撑表...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180518 US 15/983,6831.一种双装载锁定腔室，包含：
第一装载锁定腔室，具有第一内部空间及布置于所述第一内部空间中的第一基板支撑件，其中所述第一基板支撑件包括垂直间隔开的第一多个支撑表面，以支撑相对应的第一多个基板，且其中所述第一多个支撑表面的相邻支撑表面以第一预定距离间隔开；
至少一个传热装置，布置于所述第一基板支撑件中，以加热或冷却所述第一多个基板；及
第二装载锁定腔室，布置成与所述第一装载锁定腔室相邻，且具有第二内部空间及布置于所述第二内部空间中的第二基板支撑件，其中所述第二基板支撑件包括垂直间隔开的第二多个支撑表面，以支撑相对应的第二多个基板，且其中所述第二多个支撑表面的相邻支撑表面以第二预定距离间隔开，所述第二预定距离小于所述第一预定距离。
2.如权利要求1所述的双装载锁定腔室，其中所述第二预定距离为所述第一预定距离的一半。
3.如权利要求1所述的双装载锁定腔室，其中所述第一多个支撑表面为两个第一支撑表面，且其中所述第二多个支撑表面为两个第二支撑表面。
4.如权利要求3所述的双装载锁定腔室，其中所述至少一个传热装置布置成与所述第一多个支撑表面中最下面的支撑表面相邻。
5.如权利要求4所述的双装载锁定腔室，进一步包含：
第二传热装置，布置成与所述第一多个支撑表面中最上面的支撑表面相邻。
6.如权利要求1至5中任一项所述的双装载锁定腔室，其中所述第一装载锁定腔室进一步包含升降组件，所述升降组件配置成将所述第一多个基板抬升离开所述第一多个支撑表面及将所述第一多个...
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