【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学、光电子和微电子器件胶合和其它处理用的紫外固化照射装置。
技术介绍
在现有技术中，利用紫外光进行表面处理和光敏胶固化的技术具有加工效率高，定位精确，无挥发性溶剂等一系列优点，而被广泛应用于光学、光电子、微电子器件的科研、开发和生产领域。在这些工作过程中，当将两部件胶合固定在一起时，通常是在胶合面处涂布紫外光敏胶后，利用显微镜、定中心仪等仪器来观察并调整所胶合器件的相对位置，使零部件的相对位置与工艺要求相一致后，迅速用紫外光照射胶合面使光敏粘结剂固化，将两个或多个零件准确地固定在一起。为了能够观察到胶合表面的情况，一种方法是在正对胶合表面的方向设置观察用光学系统，固化用的紫外光通过石英或液芯光导管传送到照射面的斜上方，从斜上方照射工件面。日本专利特开2006-176653所公开的装置就采用了这种方法。光从光导管射出后会发散，一般石英光纤的光束发散角约为22度，液芯光纤的发散角达40度或更大。对于较小的工件，发散后的光只有一小部分被工件所接收利用，光能利用效率很低，在被照射面上产生的辐照度分布也很不均匀。为了提高光能利用率和改善被照射面上的辐照度均...
【技术保护点】
紫外固化照射装置，包括依次设置的高压放电光源、椭球面集光反射镜、导光管和投影透镜组，所述高压放电光源的发光点位于椭球面集光反射镜的第一焦点处，所述椭球面集光反射镜与导光管入射端面同光轴，其特征在于所述投影透镜装置和被照射工件表面之间设有合光镜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑晓东，秦文红，
申请(专利权)人：秦文红，郑晓东，浙江大学，
类型：发明
国别省市：86[中国|杭州]
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