下载紫外固化照射装置的技术资料

文档序号:2669096

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本发明涉及光学、光电子和微电子器件胶合和其它处理用的紫外固化照射装置;它包括依次设置的高压放电光源、椭球面集光反射镜、导光管和投影透镜组,所述高压放电光源的发光点位于椭球面集光反射镜的第一焦点处,所述椭球面集光反射镜与导光管入射端面同光轴,...
该专利属于秦文红;郑晓东;浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过秦文红;郑晓东;浙江大学授权不得商用。

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