【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一个用于测量物理量的基于低相干的干涉测量法(LCI)的光学传感器，特别地，涉及一个基于包含一个偏振读出干涉仪的串行排列的干涉仪装置的、基于LCI的光学传感器。
技术介绍
干涉仪作为用于利用待测物理量所引起的干涉仪路径长度差的改变来测量物理量的非常精确的光学测量工具是公知的。由于干涉图样的干涉条纹的周期特性，在采用一个窄带光源时，该光源的相干长度通常大于干涉仪的路径长度差，由于干涉图样的条纹的周期性，因而使得测量存在2π的相位模糊，这可能严重地限制测量的应用。通过使用短的相干长度的光源可以避免2π相位模糊的问题，在这种情形下，干涉图样的条纹被很狭窄地限制于路径长度差的区域之内，使得可以通过定位干涉图样的条纹峰值或包络峰值来判定无2π相位模糊的路径长度差的变化量。这种类型的干涉测量法被称为白光或低干涉的干涉测量法(LCI)。基于低干涉的干涉测量法的光学系统已被广泛研究，并且已被成功地开发应用于商业应用中，例如已成为标准测量工具的光学相干断层扫描仪(OCT)和低干涉拉模孔光洁度检查仪(LCP)。通过在测试和参考表面之间形成一个干涉仪，并在一定数值范围内...
【技术保护点】
一种基于低相干的干涉测量法用于测量物理量的串行排列的干涉仪光学传感器系统，该系统包括：一个光系统，用于生成以相干长度为特征的光强度；一个感应干涉仪，其具有比所述相干长度更长的传感器路径长度差，用于接收光强度并生成作为所述传感 器路径长度差的函数的传感器光信号，其中所述传感器路径长度差可以根据物理量的变化而改变；以及一个偏振读出干涉仪，其具有一个读出路径长度差，并基于双束干涉仪配置，接收所述传感器光信号，并在输出位置生成作为所述读出路径长度差的函数的读出光 信号，所述偏振读出干涉仪包括一个用于将所述传感器光信号分解为两个线性正交偏振...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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