电子部件试验装置制造方法及图纸

一种电子部件试验装置，将ＩＣ芯片（ＩＣ）的输入输出端子（ＨＢ）推压到测试头（１５０）的接触部（１５１）进行试验；其中：具有测试板（１１０），该测试板（１１０）在测试板主体部（１１１）可摇动地对保持部（１１３）进行保持，该保持部（１１３）将ＩＣ芯片（ＩＣ）的未导出输入输出端子（ＨＢ）的背面保持在比该背面大、实质上平滑的保持面（１１４），测试时，保持部（１１３）的侧面（１１３ｂ）由设于接触部（１５１）周围的导向面（１５３）引导，同时，由保持部（１１３）保持着的状态的ＩＣ芯片（ＩＣ）被推压到接触部的接触销。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于测试半导体集成电路元件等各种电子部件(以下也代表性地称为IC芯片)的电子部件试验装置，特别是涉及可容易地应对多品种的被试验电子部件的电子部件试验装置。
技术介绍
在被称为处理设备(Handler)的IC试验装置(电子部件试验装置)中，将收容于托盘的多个IC芯片输送到处理设备内，将各IC芯片与测试头进行电接触，用电子部件试验装置主体(以下也称测试器)进行试验。当结束试验时，从测试头搬出各IC芯片，换载到与试验结果相应的托盘，从而分成合格品和不合格品这样的类别。一般情况下，在以需要较长的测试时间的存储用IC芯片(以下也称存储IC)为试验对象的电子部件试验装置(以下也称存储IC用试验装置)中，试验前后，在用于收容试验前/试验完毕的IC芯片的托盘(以下也称用户托盘)与在电子部件试验装置内循环输送的托盘(以下称测试托盘)之间进行多个IC芯片的换载，在该IC芯片搭载于测试托盘的状态下，使其通过高温或低温环境下的腔室内，一边施加-55～150℃左右的高温或低温，一边同时推压到测试头进行测试。已知有这样的构成(例如参照专利文献1)，作为用于这样的存储IC用试验装置的测试托盘，设置用于保持各IC芯片的多个插件，当将IC芯片推压到测试头时，将设于测试头的接触部的导向销插入到形成于各插件的导向孔，进行IC芯片的输入输出端子与接触部的接触销的正确定位，从而防止测试时的错误接触。然而，设于这样的测试托盘的各插件以IC芯片的外形作为基准约束该IC芯片的移动地设计，成为依存于各品种的IC芯片的外形形状的所谓专用品。为此，需要预先准备具有与IC芯片的各品种对应的插件的测试托盘，每次切换作为试验对象的IC芯片的品种，都需要更换成与该品种对应的测试托盘。因此，在使用这样的测试托盘的存储IC用试验装置中，不能缩短IC芯片的品种切换时的更换时间，特别是不能在多品种少量试验中提高效率。针对这一点，作为以测试时间可比存储IC短的逻辑用的IC芯片为对象的电子部件试验装置(以下也称逻辑IC用试验装置)，已知有这样的装置(例如参照专利文献2)，该装置不使用上述那样的测试托盘，而是使用CCD摄像机(カメラ)和图像处理装置，运算各IC芯片相对接触部的相对位置，根据该运算结果，由移动单元以高精度对该IC芯片的相对位置进行定位，从而可不依存于IC芯片的外形形状地防止测试时的错误接触。作为1个对策，可考虑在存储IC用试验装置中采用通过不依存于这样的IC芯片的外形形状的图像处理进行定位的方法，使得不需要测试托盘，从而使品种应对容易化。然而，在存储IC用试验装置中，与逻辑IC用试验装置不同，为了提高该装置整体的处理量，需要同时地对多个IC芯片进行试验，即，需要确保较多的能够同时试验的数量(以下也称同时测定数量)，所以，在存储IC用试验装置采用上述方法的场合，必须相对各接触部分别设置CCD摄像机和移动单元等，即，需要与接触部的数量对应的数量的CCD摄像机和移动单元等，导致该装置的巨大化，同时，设备成本也增大，不现实。另外，在采用上述方法的场合，将CCD摄像机设置于高温或低温的环境下的腔室内，不能获得在这样的环境下的CCD摄像机的正常的动作，不能充分地防止错误接触。因此，不能单纯地在存储IC用试验装置中采用上述那样的由图像处理进行高精度定位的方法。专利文献1日本特开2001-33519号公报专利文献2国际公开第03/075023号小册子专利技术的公开本专利技术的目的在于提供一种用于测试电子部件的电子部件试验装置，特别是可容易地应对多品种的被试验电子部件的电子部件试验装置。为了达到上述目的，按照本专利技术，提供一种电子部件试验装置，该电子部件试验装置将被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的接触部进行试验；其中至少具有测试板和移动单元；该测试板具有实质上平滑的保持面，该保持面用于保持上述被试验电子部件；该移动单元使上述被试验电子部件移动到上述测试板的保持面，相对地对应于上述接触部的排列载置上述被试验电子部件；在与上述接触部的排列对应的状态下，上述测试板的保持面保持上述被试验电子部件，进行上述被试验电子部件的试验。在本专利技术中，采用具有实质上平滑的保持面的试验板代替过去的测试托盘，由该平坦的保持面保持被试验电子部件，从而可不依存于被试验电子部件的外形形状地保持被试验电子部件，不需要对被试验电子部件的各品种准备该测试板，不需要品种切换时的更换，所以，可显著地应对多品种的被试验电子部件。另外，通过由该测试板的保持面在与接触部的排列对应的状态下把持被试验电子部件，从而在需要确保较多的同时测定数量的存储IC用试验装置中，可显著地使得多品种的被试验电子部件的应对变得容易。上述测试板的保持面最好具有吸附上述被试验电子部件的吸附单元。通过在测试板的保持面设置吸附单元，由该吸附单元吸附被试验电子部件对其进行保持，从而可确实地保持被试验电子部件，同时，可简化容易应对多品种的被试验电子部件的电子部件试验装置的构造。另外，上述测试板的保持面最好在上述被试验电子部件的输入输出端子铅直向上的状态下保持上述被试验电子部件。通过在被试验电子部件的输入输出端子铅直向上的状态下由测试板的保持面保持被试验电子部件，从而可利用重力的作用稳定地保持被试验电子部件。上述测试板最好具有可摇动地设置的保持部，上述测试板保持面最好形成于上述保持部。通过可摇动地在测试板设置保持部，在该保持部形成对被试验电子部件进行保持的保持面，从而可吸收测试头和测试板的机械挠曲和倾斜或施加于被试验电子部件的热应力产生的热膨胀/收缩等导致的接触时的误差。另外，最好在上述接触部的周围设置导向部，上述测试板的保持部由上述导向部引导。通过在接触部的周围设置导向部，当接触时由该导向部引导保持部，从而可相对接触部对被试验电子部件正确地进行定位。上述导向部最好具有朝相互不平行的方向扩展的至少2个导向面。通过使导向部具有朝相互不平行的至少2个方向扩展的导向面，当被试验电子部件与接触部接触时，使测试板的保持部接触于该2个导向面，从而可相对接触部稳定地对被试验电子部件进行定位。在上述电子部件试验装置中，最好上述移动单元将上述被试验电子部件载置于上述测试板的保持部，并使得从接触于上述导向面的上述保持部的侧面到上述被试验电子部件的距离与从上述接触部的周围的导向面到上述接触部的距离实质上相同。移动单元将上述被试验电子部件载置于保持部，使得从保持部的侧面到被试验电子部件的距离与从接触部的周围的导向面到接触部的距离实质上相同，在接触时使该测试板的保持部的侧面与接触部的周围的导向面接触，从而可相对接触部正确地对被试验电子部件进行定位。最好还具有推压单元，该推压单元推压上述测试板的保持部，使得上述保持部的侧面接触于上述导向面。通过在电子部件试验装置还设置推压单元，由该推压单元相对接触部的导向部推压上述测试板的保持部，从而可使该保持部与导向部紧密接触，可相对接触部更正确地对被试验电子部件进行定位。特别是最好上述推压单元具有弹性构件，设于上述测试板。例如，通过在测试板设置具有例如弹簧等弹性构件的推压单元，从而可简化容易应对多品种的被试验电子部件的电子部件试验装置的构造。最好上述电子部件试验装置还具有对上述测试板的保持部进行定位的定位板，在上述定位板已本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，将被试验电子部件的输入输出端子推压到测试头的接触部进行试验；其特征在于：至少具有测试板和移动单元；该测试板具有实质上平滑的保持面，该保持面用于保持上述被试验电子部件；该移动单元使上述被试验电子部件移动到 上述测试板的保持面，相对地对应于上述接触部的排列载置上述被试验电子部件；在与上述接触部的排列对应的状态下，上述测试板的保持面保持上述被试验电子部件，进行上述被试验电子部件的试验。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：山下和之，伊藤明彦，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]