针状部件、导电性接触件以及导电性接触件单元制造技术

第一针状部件（１３）由金属材料等导电性材料形成，其具有以下结构：上下方向成为长度方向的柱状部（１３ａ）、和相对柱状部（１３ａ）形成于半导体集成电路（１）（被接触体）侧的接触部（１３ｂ）一体式形成。在柱状部（１３ａ），在第一针状部件（１３）的长度方向形成有贯通孔（１３ｄ），贯通孔（１３ｄ）在接触部（１３ｂ）侧也具有开口端，由于具有这样的结构，因此在制作针状部件（１３）时，能够使对作为原料的杆状体形成接触部（１３ｂ）时的加工方向、和形成贯通孔（１３ｄ）时的钻头插入方向成为相同的方向，能够容易地制作针状部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及电连接被接触体、和具有生成供给该被接触体的电信号的电路的电路基板的技术。
技术介绍
目前，在与半导体集成电路的电特性检查相关的
中，公知有与对应于半导体集成电路的外部连接用电极而布置了多个导电性接触件的导电性接触件单元相关的技术。所述导电性接触件单元具有如下的结构，具有多个导电性接触件、形成了收容导电接触件的开口部的导电性接触件保持架、和电连接于导电性接触件的检查电路。为了消除在半导体集成电路具有的多个外部连接用电极之间存在的凹凸等，并且电连接外部连接用电极和检查电路，导电性接触件需要具有能够伸缩的结构。图8是表示构成导电性接触件单元的现有的导电性接触件的结构的模式图。如图8所示，现有的导电性接触件由如下构成通过导电性部件而形成的柱塞(plunger)101以及筒体(barrel)102、配置于柱塞101和筒体102之间的弹簧103。柱塞101具有如下的结构与半导体集成电路所具有的外部连接用电极和检查电路的一方电连接的接触部105、设置于接触部105下部的柱状部106、以及设置于柱状部106的下部支承部107一体式形成。另外，筒体102具有如下的结构与外部连接用电极和检查电路的另一方电连接的接触部108、和设置于接触部108的上部的柱状部109一体式形成，并且形成了用于收容柱塞101所具有的下部支承部107的空洞部110。图8所示的导电性接触件形成为，支承部107的外径和空洞部110的内径是大致相等的值，柱塞101具有如下结构支承部107被空洞部110的内壁引导，并且在上下方向上可以相对于筒体102移动。另外，图8所示的导电性接触件具有在柱塞101和筒体102之间配置了弹簧103的结构。柱塞101以及筒体102通过弹簧103而被弹性地施加弹力，维持弹性接触于半导体集成电路所具有的外部连接用电极以及检查电路的状态，从而电连接半导体集成电路和检查电路(例如，参考专利文献1)。专利文献1日本特开2000-241447号公报(第二图)但是，图8所示的现有结构的导电性接触件，尤其是筒体102的制造并不容易，有难以降低制造成本的问题。以下，对于所述问题点进行详细说明。筒体102，在与柱塞101组合时，必须具有的结构是空洞部110的开口端形成于柱塞101侧的端部，并且接触部108形成于柱塞101的相反侧的端部。即，空洞部因为是通过收容柱塞101所具有的支承部107来引导柱塞101的动作的部件，所以空洞部101必须形成为能够收容支承部107，还需要将空洞部110的开口端设置于柱塞101侧。另一方面，接触部108因为是为了与半导体集成电路或检查电路接触而设置的部件，所以接触部108需要形成于导电性接触件整体上的端部，需要在柱塞101的相反侧、即空洞部110的开口端的相反侧设置接触部108。对此，一般来说，车床等加工装置所具有的结构是对金属部件只可以在一个方向上进行加工。因此，在制作筒体102时，首先，对于例如通过金属材料形成的杆状的被加工部件，将预定形成接触部108的部分在与加工部件相对的状态下进行固定来形成接触部108。然后，在完成了接触部108的形成之后，暂时能够杆状体的固定状态，将预定形成开口端部分(即，预定形成接触部108的部分的相反侧)在与加工部件相对的状态下再次固定上述被加工部件，从而形成空洞部110。这样，在通过一般的加工装置制作筒体102的情况下，必须在制作过程中改变被加工部件的方向并重新固定，制作工序变得繁杂。并且，为了改变方向，需要暂时能够被加工部件的固定状态，因此，产生制作的筒体102的轴偏的问题。即，如图8也表示的那样，筒体102理论上以长度方向为轴，具有相对于所述轴的旋转对称的形状，以所述形状的为前提，设置有收容柱塞101、弹簧103以及导电性接触件的保持架等。因此，假如在空洞部110以及接触部108的中心轴是在设计上就出现了偏差的状态下而被制作的情况下，除了会对作为导电性接触件整体的伸展·收缩动作产生阻碍，还会产生在与检查电路等之间不能够实现充分的电接触等问题。因此，在利用一般的加工装置来制作筒体102的情况下，在重新固定被加工部件时需要精密的对轴，从这一点看制作工序不得不繁杂。另外，上述的问题点，通过利用对于杆状的被加工部件不仅在一个方向上、而且从双方向可以进行加工动作的加工装置是可以解决的。但是，这样的加工装置一般在市场上是没有出售的，为了制作筒体102需要准备特殊的加工装置，从制造成本的观点看也不是优选的。
技术实现思路
本专利技术就是鉴于上述情况而提出的专利技术，其目的在于实现一种实现关于筒体等针状部件制作容易的结构，并组装了所述针状部件的导电性接触件以及导电性接触件单元。为了解决上述课题，达到目的，技术方案1所述的针状部件是，形成导电性接触件，所述导电性接触件电连接被接触体、和生成向该被接触体供给的电信号并传递该电信号的电路或者具备该电路的电路基板，所述针状部件的特征在于，具备接触部，其使用时与所述被接触体接触的部分被加工成规定形状；和柱状部，其与所述接触部一体式形成，并形成有贯通孔，所述贯通孔的内径在离开所述接触部的方向上保持不变，或者在该方向上平缓变小。根据该技术方案1的专利技术，通过将形成于针状部件的孔结构形成为贯通孔，能够使在制作针状部件时加工接触部的方向、和形成贯通孔的方向一致，能够实现制作容易的针状部件。另外，技术方案2所述的针状部件，其特征在于，在上述专利技术中，所述接触部形成于所述柱状部的长度方向周缘部附近，以便在使用时使所述接触部与所述被接触体所具有的连接用电极的周缘部接触。另外，技术方案3所述的导电性接触件，其电连接被接触体、和生成向该被接触体供给的电信号并传递该电信号的电路或者具备该电路的电路基板，其特征在于，具备第一针状部件，其具有接触部和柱状部，所述接触部在使用时与所述被接触体、和所述电路或所述电路基板中的一方接触，其与所述被接触体接触的部分被加工成规定形状，所述柱状部与所述接触部一体式形成，且所述柱状部形成有贯通孔，所述贯通孔的内径在离开所述接触部的方向上保持不变，或者在该方向上平缓变小；第二针状部件，其在与所述第一针状部件电连接的状态下被配置，在长度方向上相对于所述第一针状部件滑动；和弹簧部件，其与所述第一针状部件及所述第二针状部件结合，施加与所述第一针状部件和所述第二针状部件之间的距离相对应的弹力。另外，技术方案4所述的导电性接触件，其特征在于，在上述专利技术中，所述第二针状部件具备支承部，其维持与所述第一针状部件中形成的贯通孔的内周面接触的状态，且可在长度方向上滑动；和接触部，其与所述支承部一体式形成，在使用时与所述被接触体、和所述电路或所述电路基板中的另一方电接触。另外，技术方案5所述的导电性接触件单元，其特征在于，其具备生成向被接触体供给的电信号并传递该电信号的电路或具有该电路的电路基板；导电性接触件，其具有针状部件和弹簧部件，所述针状部件具有接触部和柱状部，所述接触部在使用时与所述被接触体、和所述电路或具备所述电路的电路基板中的一方接触，其与所述被接触体接触的部分被加工成规定形状，所述柱状部与所述接触部一体式形成，且所述柱状部形成有贯通孔，所述贯通孔的内径在离开所述接触部的方向上保持不变，或者在该方向上平缓变小，所述弹簧部件对该针状本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种针状部件，其形成导电性接触件，所述导电性接触件电连接被接触体、和生成向该被接触体供给的电信号并传递该电信号的电路或者具备该电路的电路基板，所述针状部件的特征在于，具备：接触部，其使用时与所述被接触体接触的部分被加工成规定形状；和 柱状部，其与所述接触部一体式形成，并形成有贯通孔，所述贯通孔的内径在离开所述接触部的方向上保持不变，或者在该方向上平缓变小。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：风间俊男，广中浩平，
申请(专利权)人：日本发条株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]