带有基准单元的磁传感器装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种磁传感器装置，其包括用于在样本室（１）内生成磁场（Ｂ）的激励线路（１１，１３）和用于感测所述样本室内的磁性颗粒（２）所生成的磁场的诸如ＧＭＲ元件等的磁传感器元件（１２）。所述装置还包括由其间设置了磁传感器元件（１２）的线状导体（１４）和平面导体（１５）构成的基准场发生器。由所述导体（１４，１５）生成的磁基准场（Ｂ↓［ｒｅｆ］）不渗透到所述样本室（１）内，而是仅抵达所述磁传感器元件（１２）。因此，能够分离出由磁基准场（Ｂ↓［ｒｅｆ］）导致的传感器信号分量，并采用所述传感器信号分量来计算传感器增益。例如，可以在测量过程中将这一值用于装置的自动校准。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种磁传感器装置，包括至少一个磁传感器元件和用于提 供样本的样本室。此外，本专利技术还涉及这样的磁传感器装置的应用和采用 这样的磁传感器装置测量磁场的方法。
技术介绍
WO 2005/010543 Al和WO 2005/010542 A2公开了一种磁传感器装置， 例如，可以在微流体生物传感器中用其检测带有磁珠标记的(生物学)分 子。所述微传感器装置设有传感器单元的阵列，其包括用于生成磁场的线 路和用于检测受到磁化的磁珠所产生的杂散场的巨磁阻装置(GMR)。从而 GMR的电阻表示传感器单元附近的磁珠数量。上述类型的磁性生物传感器的问题在于，磁阻元件的灵敏度对诸如传 感器中的磁不稳定性、外部磁场、老化、温度等的不可控参数非常敏感， 并由此导致整个测量的有效增益对此也非常敏感。
技术实现思路
基于这种情况，本专利技术的目的在于提供一种措施，使得磁传感器装置 的测量对传感器增益中的变化表现出更高的鲁棒性。这一目的是通过根据权利要求1所述的磁传感器装置、根据权利要求 15所述的方法和根据权利要求24所述的应用实现的。在从属权利要求中公 开了优选实施例。根据本专利技术的磁传感器装置包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁传感器装置，包括：　ａ）至少一个磁传感器元件（１２），其用于提供传感器信号（ｕ↓［ＧＭＲ］），该传感器信号（ｕ↓［ＧＭＲ］）指示所述传感器元件暴露于其中的磁场；　ｂ）样本室（１），可以在其内提供生成抵达所述磁传感器元件（１２）的磁场的样本；　ｃ）基准场发生器（１４，１５），其用于在所述磁传感器元件（１２）内生成磁基准场（Ｂ↓［ｒｅｆ］），所述磁基准场在所述样本室（１）内具有可以忽视的强度。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：H杜里克，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]