基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台制造技术

基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台属于超精密测量与超精密加工装备，该装置采用3个或3个以上静压气磁结构的隔振器支撑气磁隔振平台台体及其负载，采用分光棱镜和光电检测器实现平台六自由度姿态监测，并在隔振器与台体之间水平位移执行器，实现台体三自由度姿态调整；该装置中由磁浮式减振器支撑的零位基准装置有效隔离地面的振动对参考光束检测的影响，提高了激光束零位基准的稳定性；采用光电检测器检测参考光束的平漂和角漂，并用一对可调整相对位置间距和角度的楔角棱镜实时调整参考光束的平漂和角漂，实现参考光束校准，可显著提高平台隔振性能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于超精密测量与超精密加工装备，主要涉及一种基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台。
技术介绍
在超精密计量测试和超精密加工领域中，具有高质量水平姿态的平台是进行精密测量和大规模集成电路制造的基本保证。高质量水平姿态气磁隔振平台的应用十分广泛。在生物科学、电子光学、精密机械加工、理化试验及其研究相关的工厂中，平台的水平姿态控制会影响到机器设备的测量实验结果和仪表器械的使用性能，并且会直接影响气磁隔振平台对振动的抑制性能。随着超精密测量仪器和超精密加工制造设备的精度等级的提高，环境振动对仪器设备的影响越来越大。气磁隔振平台作为新兴的隔振设备也随着精密仪器制造业的发展而发展。而气磁隔振平台的水平姿态则直接影响到其上面所放仪器和装备的精度，因此气磁隔振平台姿态的稳定在精密仪器制造和科研中显得格外重要。特别是对于我国科研单位和企业，随着超大规模集成电路制造业的高速发展以及对测量精度和测量稳定性要求的不断提高，作为基础的隔振平台的稳定性也受到了更加严峻的考验。随着超精密仪器及系统对工作环境要求的提高，传统的被动隔振方式受隔振器材料特性、结构刚度等因素制约，已无法满足对低频信本文档来自技高网...

【技术保护点】
基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台，其特征在于气磁隔振平台台体(6)配置在3个或3个以上均匀分布的隔振器(4)上，隔振器(4)配置在基座(5)上，所述隔振器(4)由隔振器基座(4a)、隔振器支架(4b)和隔振器工作台(4c)构成，隔振器工作台(4c)安装在隔振器基座(4a)内，隔振器支架(4b)配置在隔振器基座(4a)外侧部上，在各个隔振器(4)与气磁隔振平台台体(6)之间配置水平位移执行器(8)，所述的水平位移执行器(8)采用水平放置的直线型音圈电机，水平位移执行器(8)的直线型音圈电机动子(8a)与气磁隔振平台台体(6)固连，水平位移执行器(8)的直线型音圈电机定子(8b)配置...

【技术特征摘要】
1.基于磁浮零位基准和激光自准直测量的气磁隔振平台，其特征在于气磁隔振平台台体(6)配置在3个或3个以上均匀分布的隔振器(4)上，隔振器(4)配置在基座(5)上，所述隔振器⑷由隔振器基座(4a)、隔振器支架(4b)和隔振器工作台(4c)构成，隔振器工作台(4c)安装在隔振器基座(4a)内，隔振器支架(4b)配置在隔振器基座(4a)外侧部上，在各个隔振器(4)与气磁隔振平台台体(6)之间配置水平位移执行器(8)，所述的水平位移执行器(8)采用水平放置的直线型音圈电机，水平位移执行器(8)的直线型音圈电机动子 (Sa)与气磁隔振平台台体(6)固连，水平位移执行器(8)的直线型音圈电机定子(Sb)配置在隔振器支座(4b)上；测量气磁隔振平台台体(6)六自由度姿态的激光位置测量光路由 He-Ne激光器(I)、激光自准直系统(2)、零位基准装置(3)、台体姿态光电检测器(7)、台体姿态分光棱镜(10)构成，其中台体姿态光电检测器(7)、台体姿态分光棱镜(10)固装在气磁隔振平台台体(6)下侧部上，所述的台体姿态分光棱镜(10)包括第一分光棱镜(IOa)、第二分光棱镜(10b)、第三分光棱镜(IOc)和第四分光棱镜(IOd),且第一分光棱镜(IOa)位于激光自准直系统(2)的后侧透射激光光路上，第二分光棱镜(IOb)和第三分光棱镜(IOc) 分别位于第一分光棱镜(IOa)的透射和反射光路上,第四分光棱镜(IOd)位于第三分光棱镜(IOc)的反射光路上；所述的台体姿态光电检测器(7)包括第一光电检测器(7a)、第二光电检测器(7b)、第三光电检测器(7c)和第四光电检测器(7d)，其中第一光电检测器(7a) 和第二光电检测器(7b)分别位于第二分光棱镜(IOb)的透射和反射光路上,第三光电检测器(7c)和第四光电检测器(7d)分别位于第四分光棱镜(IOd)的透射和反射光路上...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭久彬，闻荣伟，王雷，赵勃，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：