用于光刻机上的真空检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有安装板，所述安装板与底座之间设有可以升降的连接板，所述连接板的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座上设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有两个压台，两个所述压台与两个支撑板之间设有传动机构，所述连接板的底部设有可以移动的真空检测装置，所述压板机构包括设置在连接板内的安装槽，所述安装槽内滑动连接有L型板，所述连接板上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓。本发明专利技术结构合理，可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。

【技术实现步骤摘要】
用于光刻机上的真空检测装置
本专利技术涉及直写光刻机吸盘
，尤其涉及用于光刻机上的真空检测装置。
技术介绍
真空检测装置在光刻机传片、传版以及各移动平台部分具有重要的作用；对掩膜版进行真空检测时，首先将掩膜版进行限位固定，由于保证对其检测时的稳定性；现有的对掩膜版固定的工具功能比较单一，实用效果差，从而对多种掩膜版进行限位时，需要多种限位装置，增加了检测成本，因此我们设计了用于光刻机上的真空检测装置来解决以上问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的用于光刻机上的真空检测装置，其可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有安装板，所述安装板与底座之间设有可以升降的连接板，所述连接板的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座上设有滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有两个压台，两个所述压台与两个支撑板之间设有传动机构，所述连接板的底部设有可以移动的真空检测装置。优选地，所述支撑板的底部固定连接有两个液压缸，两个所述液压缸的输出端均与连接板上端固定连接。优选地，所述压板机构包括设置在连接板内的安装槽，所述安装槽内滑动连接有L型板，所述连接板上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓，所述定位螺栓与L型板相抵，所述L型板的底部固定连接有橡胶板。>优选地，所述连接板的底部固定连接有两个定位块，两个所述定位块之间安装有电动滑轨，所述电动滑轨上滑动安装有与其相配套的电动滑块，所述真空检测装置安装在电动滑块的底部。优选地，两个所述支撑板与底座和安装板之间均通过焊接相连接。优选地，所述底座的底部设有四个锁止万向轮，四个所述锁止万向轮均通过螺栓与底座的底部相连接。优选地，所述传动机构包括与其中一个支撑板转动连接的第一螺杆，所述第一螺杆的另一端固定连接有第二螺杆，所述第一螺杆和第二螺杆分别贯穿同侧的压台并与其螺纹连接，所述第二螺杆贯穿另一个支撑板并与其转动连接，所述第二螺杆的另一端固定连有把手。优选地，所述第一螺杆和第二螺杆的螺纹方向相反。优选地，两个所述压台上分别延伸板和延伸槽，所述延伸板延伸至延伸槽内并与其滑动连接。本专利技术与现有技术相比，其有益效果为：本专利技术，通过压板机构、传动机构和两个工作台，可以对不同大小的掩膜版进行限位且稳定性足，便于对其进行真空检测，实用性较好且操作简单方便，通过橡胶板可以对掩膜版进行限位的同时，又可以对其进行保护。综上所述，本专利技术结构合理，可以对不同大小的掩膜版进行限位，便于对其进行真空检测，实用性较好，也可以对掩膜版进行保护，防止其受损。附图说明图1为本专利技术提出的用于光刻机上的真空检测装置的结构示意图；图2为本专利技术提出的用于光刻机上的真空检测装置中部分结构连接示意图；图3为本专利技术提出的用于光刻机上的真空检测装置中真空检测装置与电动滑块的连接示意图。图中：1底座、2支撑板、3安装板、4液压缸、5连接板、6橡胶板、7L型板、8真空检测装置、9压台、10锁止万向轮、11定位块、12电动滑轨、13电动滑块、14滑动槽、15延伸板、16延伸槽、17第一螺杆、18第二螺杆、19把手、20安装槽、21定位螺栓。具体实施方式下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语中若有“第一”、“第二”，其仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。参照图1-3，用于光刻机上的真空检测装置，包括底座1，底座1上固定连接有两个支撑板2，两个支撑板2之间固定连接有安装板3，两个支撑板2与底座1和安装板3之间均通过焊接相连接，可以增加其之间连接的稳固性和支撑力；安装板3与底座1之间设有可以升降的连接板5，支撑板2的底部固定连接有两个液压缸4，两个液压缸4的输出端均与连接板5上端固定连接。连接板5的两端均设有可以调节的压板机构，压板机构包括设置在连接板5内的安装槽20，安装槽20内滑动连接有L型板7，连接板5上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓21，定位螺栓21与L型板7相抵，L型板7的底部固定连接有橡胶板6，通过调节两个L型板7之间距离，可以实现两个橡胶板6之间距离的调节，进而可以对不同大小的PCB板进行压边处理。底座1上设有滑动槽14，滑动槽14内滑动连接有两个压台9，两个压台9与两个支撑板2之间设有传动机构，传动机构包括与其中一个支撑板2转动连接的第一螺杆17，第一螺杆17的另一端固定连接有第二螺杆18，第一螺杆17和第二螺杆18分别贯穿同侧的压台9并与其螺纹连接，第二螺杆18贯穿另一个支撑板2并与其转动连接，第二螺杆18的另一端固定连有把手19，第一螺杆17和第二螺杆18的螺纹方向相反，由于压台9在滑动槽14的限位下无法转动，因此转动第一螺杆17和第二螺杆18可以实现两个压台9相对或者相背移动。连接板5的底部设有可以移动的真空检测装置8，真空检测装置8为现有技术(可参照申请号为CN201621492895.6)，真空检测装置8的最底部高于橡胶板6的最底部。具体的，连接板5的底部固定连接有两个定位块11，两个定位块11之间安装有电动滑轨12，电动滑轨12上滑动安装有与其相配套的电动滑块13，真空检测装置8安装在电动滑块13的底部，此为现有技术，通过电动滑轨12和电动滑块13的配合，可以实现真空检测装置8的移动，可以进行真空检测。两个压台9上分别延伸板15和延伸槽16，延伸板15延伸至延伸槽16内并与其滑动连接，延伸板15固定在压台9的一侧且与压台9的上端面齐平，如图1所示；底座1的底部设有四个锁止万向轮10，四个锁止万向轮10均通过螺栓与底座1的底部相连接。本专利技术中，当需要对掩膜版进行震动检测时，工作人员可以手动转动把手19，把手19转动带动第二螺杆18和第一螺杆17转动，由于第二螺杆18和第一螺杆17螺纹方向相反且压台9在滑动槽14的限位下无法转动，因此第一螺杆17和第二螺杆18转动时，可以实现两个压台9相对或者相反移动，相对应的延伸板15在延伸槽16内滑动，如此可以控制两个压台9上表面的大小，可以放置不同大小的掩膜版，实用性较好；调节完成后，工作人员将掩膜版放置在压台9上，然后工作人员可以移动两个L型板7，使得两个L型板7相对面之间的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.用于光刻机上的真空检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上固定连接有两个支撑板(2)，两个所述支撑板(2)之间固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)与底座(1)之间设有可以升降的连接板(5)，所述连接板(5)的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座(1)上设有滑动槽(14)，所述滑动槽(14)内滑动连接有两个压台(9)，两个所述压台(9)与两个支撑板(2)之间设有传动机构，所述连接板(5)的底部设有可以移动的真空检测装置(8)。/n

【技术特征摘要】
1.用于光刻机上的真空检测装置，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)上固定连接有两个支撑板(2)，两个所述支撑板(2)之间固定连接有安装板(3)，所述安装板(3)与底座(1)之间设有可以升降的连接板(5)，所述连接板(5)的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座(1)上设有滑动槽(14)，所述滑动槽(14)内滑动连接有两个压台(9)，两个所述压台(9)与两个支撑板(2)之间设有传动机构，所述连接板(5)的底部设有可以移动的真空检测装置(8)。


2.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述支撑板(2)的底部固定连接有两个液压缸(4)，两个所述液压缸(4)的输出端均与连接板(5)上端固定连接。


3.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述压板机构包括设置在连接板(5)内的安装槽(20)，所述安装槽(20)内滑动连接有L型板(7)，所述连接板(5)上贯穿设有与其螺纹连接的定位螺栓(21)，所述定位螺栓(21)与L型板(7)相抵，所述L型板(7)的底部固定连接有橡胶板(6)。


4.根据权利要求1所述的用于光刻机上的真空检测装置，其特征在于，所述连接板(5)的底部固定连接有两个定位块(11)，两个所述定位块(11)之间安装有电动滑轨(12)，所述电动滑轨(12...

【专利技术属性】
技术研发人员：王群，
申请(专利权)人：江苏九迪激光装备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32