一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体和控制箱，所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴，所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套，所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴，所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套，所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管。该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置锁紧装置和开关按钮，便于按动开关按钮使线圈带电，同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。刻机控制面板更加的便捷。刻机控制面板更加的便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构


[0001]本技术涉及光刻机维修
，具体为一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构。

技术介绍

[0002]直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术，在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位。
[0003]目前的直列式光刻机控制面板均通过螺栓固定在直列式光刻机本体上，当控制面板出现故障和维护时，需要将控制面板表面的螺栓拆除，再将控制面板整体拆开，由于控制面板的线组均设置在光刻机本体的内部，使维护很不方便。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体和控制箱，所述光刻机本体的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴，所述第一阻尼转轴的表面固定连接有第一转动套，所述控制箱的上表面固定连接有第二阻尼转轴，所述第二阻尼转轴的表面转动连接有第二转动套，所述第一转动套的表面固定连接有伸缩管，且伸缩管的另一端与第二转动套的表面固定连接，所述光刻机本体的正面分别固定连接有锁紧装置和开关按钮。
[0006]优选的，所述控制箱的下表面固定连接有把手，所述控制箱与光刻机本体正面开设的矩形凹槽相适配。
[0007]优选的，所述锁紧装置包括位于光刻机本体正面的壳体，所述壳体的侧面开设有滑槽，且滑槽内滑动连接有锁紧舌，所述锁紧舌的一端固定连接有复位弹簧，且复位弹簧的另一端与壳体的内侧壁固定连接，所述壳体的内侧壁固定连接有硅钢柱，且硅钢柱的表面套设有线圈。
[0008]优选的，所述锁紧装置的数量为两个，且两个锁紧装置对称设置在光刻机本体正面开设的矩形凹槽两侧。
[0009]优选的，所述锁紧舌远离复位弹簧的一端设置有导向槽。
[0010]优选的，所述开关按钮和线圈均与外部电源电连接。
[0011]有益效果
[0012]本技术提供了一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，具备以下有益效果：
[0013]1.该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置第一阻尼转轴、第一转动套、伸缩杆、第二阻尼转轴和第二转动套，便于拉动把手将控制箱从光刻机本体正面的矩形凹槽内拉出，且控制箱可以360度旋转，使维修和操作更加的方便。
[0014]2.该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，通过设置锁紧装置和开关按钮，便于按
动开关按钮使线圈带电，同时使硅钢柱的表面带磁并吸引锁紧舌，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。
附图说明
[0015]图1为本技术立体结构示意图；
[0016]图2为本技术左侧剖视结构示意图；
[0017]图3为锁紧装置正剖结构示意图。
[0018]图中：1光刻机本体、2控制箱、3第一阻尼转轴、4第一转动套、5第二阻尼转轴、6第二转动套、7伸缩管、8锁紧装置、801壳体、802锁紧舌、803复位弹簧、804硅钢柱、805线圈、9开关按钮、10把手。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体1和控制箱2，光刻机本体1的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴3，第一阻尼转轴3的表面固定连接有第一转动套4，控制箱2的上表面固定连接有第二阻尼转轴5，第二阻尼转轴5的表面转动连接有第二转动套6，第一转动套4的表面固定连接有伸缩管7，且伸缩管7的另一端与第二转动套6的表面固定连接，控制箱2与光刻机本体1正面开设的矩形凹槽相适配，且控制箱2的下表面固定连接有把手10。
[0021]通过设置第一阻尼转轴3、第一转动套4、伸缩杆7、第二阻尼转轴5和第二转动套6，便于拉动把手10将控制箱2从光刻机本体1正面的矩形凹槽内拉出，且控制箱2可以360度旋转，使维修和操作更加的方便。
[0022]光刻机本体1的正面分别固定连接有锁紧装置8和开关按钮9，锁紧装置8的数量为两个，且两个锁紧装置8对称设置在光刻机本体1正面开设的矩形凹槽两侧。
[0023]锁紧装置8包括位于光刻机本体1正面的壳体801，壳体801的侧面开设有滑槽，且滑槽内滑动连接有锁紧舌802，锁紧舌802的一端固定连接有复位弹簧803，且复位弹簧803的另一端与壳体801的内侧壁固定连接，锁紧舌802远离复位弹簧803的一端设置有导向槽，壳体801的内侧壁固定连接有硅钢柱804，且硅钢柱804的表面套设有线圈805，开关按钮9和线圈805均与外部电源电连接。
[0024]通过设置锁紧装置8和开关按钮9，便于按动开关按钮9使线圈805带电，同时使硅钢柱804的表面带磁并吸引锁紧舌802，使该直写式光刻机控制面板可以通过锁紧舌802的伸缩来锁紧和拉出，从而使操作者在外部维修和操作光刻机控制面板更加的便捷。
[0025]工作原理：当使用该直写式光刻机控制面板的锁紧机构时，通过按动开关按钮9，使线圈805通电，由于线圈805卷绕在硅钢柱804的表面，使硅钢柱804带磁并吸引锁紧舌802
向硅钢柱804运动，通过拉动把手10将控制箱2向外侧拉动，松开开关按钮9，线圈805断电，在复位弹簧803的作用下，锁紧舌802复位，当维修和使用完毕时，推动把手10，使第一转动套4和第二转动套6转动，同时伸缩管7伸缩，由于锁紧舌802的一端设置有导向槽，因此控制箱2接触锁紧舌802的导向槽并将锁紧舌802向外推动，当控制箱2固定在光刻机本体1正面设置的矩形凹槽时，锁紧舌802复位，将控制箱2锁紧，通过使用该直写式光刻机控制面板的锁紧机构，方便操作者在外部维修拆除控制箱2来维修控制面板，且通过将控制箱2拉出来操作的方式使操作更加的便捷。
[0026]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，包括光刻机本体(1)和控制箱(2)，其特征在于：所述光刻机本体(1)的正面开设有矩形凹槽，且该矩形凹槽的内顶壁固定连接有第一阻尼转轴(3)，所述第一阻尼转轴(3)的表面固定连接有第一转动套(4)，所述控制箱(2)的上表面固定连接有第二阻尼转轴(5)，所述第二阻尼转轴(5)的表面转动连接有第二转动套(6)，所述第一转动套(4)的表面固定连接有伸缩管(7)，且伸缩管(7)的另一端与第二转动套(6)的表面固定连接，所述光刻机本体(1)的正面分别固定连接有锁紧装置(8)和开关按钮(9)。2.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述控制箱(2)的下表面固定连接有把手(10)，所述控制箱(2)与光刻机本体(1)正面开设的矩形凹槽相适配。3.根据权利要求1所述的一种直写式光刻机控制面板的锁紧机构，其特征在于：所述锁紧装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：王群，
申请(专利权)人：江苏九迪激光装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：