极紫外光产生方法和装置制造方法及图纸

本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：液滴发生装置沿液滴运动路径产生液滴靶；液滴靶脱离液滴发生装置时，具备预设的初始自转角速度；激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置；辐射脉冲激光在预设打靶位置，沿垂直于液滴靶的转动平面的方向击打液滴靶，以使液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。上述极紫外光产生方法，液滴靶在沿液滴运动路径运动的同时自转，转变为饼状，辐射脉冲激光的传输路径垂直于饼状所在平面，有利于增大辐射脉冲激光的作用面积，使该辐射脉冲激光的能量被液滴靶充分吸收，进而提高打靶激光的能量利用率。光的能量利用率。光的能量利用率。

【技术实现步骤摘要】
极紫外光产生方法和装置


[0001]本申请涉及极紫外光源(Extreme Ultra
‑
violet，EUV)
，特别是涉及一种极紫外光产生方法和装置。

技术介绍

[0002]随着微电子领域对于加工工艺的要求越来越高，传统的准分子激光的深紫外光源(Deep Ultra
‑
Violet，DUV)光刻无法满足在摩尔定律推动下的芯片产业发展，极紫外光源应运而生。目前用于大规模工业生产的方案多以LPP(Laser Produced Plasma，激光等离子体)为主，即采用打靶激光击打靶材，使之等离子体化，进而产生波长为13.5nm的EUV光。
[0003]传统的极紫外光产生方法，打靶激光从侧面击打球形的液滴靶，受打靶激光作用面积的限制，打靶激光的能量无法被液滴靶充分吸收，存在激光能量利用率低的问题，不利于提高极紫外光的辐射效率。
[0004]因此，传统的极紫外光产生方法具有打靶激光能量利用率低的缺点。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述问题，提供一种打靶激光能量利用本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种极紫外光产生方法，其特征在于，包括：液滴发生装置沿液滴运动路径产生液滴靶；所述液滴靶脱离所述液滴发生装置时，具备预设的初始自转角速度；激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将所述辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置；所述辐射脉冲激光在所述预设打靶位置，沿垂直于所述液滴靶的转动平面的方向击打所述液滴靶，以使所述液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。2.根据权利要求1所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将所述辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置之前，包括：获取所述液滴靶在所述转动平面上的投影半径，并将所述投影半径等于预设极限半径时所述液滴靶的位置，确定为预设打靶位置。3.根据权利要求2所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述获取所述液滴靶沿在所述转动平面上的投影半径，并将所述投影半径等于预设极限半径时所述液滴靶的位置，确定为预设打靶位置之前，包括：获取所述液滴靶的参数和所述初始自转角速度，并根据所述液滴靶的参数和所述初始角速度，计算所述液滴靶在所述转动平面上的最大投影半径，并基于所述最大投影半径确定预设极限半径。4.根据权利要求1所述的极紫外光产生方法，其特征在于，所述转动平面与所述液滴运动路径垂直，所述辐射脉冲激光在所述预设打靶位置，沿垂直于所述液滴靶的转动平面的方向击打所述液滴靶，以使所述液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光，包括：所述辐射脉冲激光在预设打靶位置，沿所述液滴靶的运动方向的反方向击打所述液滴靶，以使所述液滴靶受到激光作用并被等离子体化，产生极紫外光。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：马修泉，王奕淳，吴寒，刘怀亮，闻锦程，王力波，
申请(专利权)人：广东省智能机器人研究院，
类型：发明
国别省市：