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本申请涉及一种极紫外光产生方法和装置，该方法包括：液滴发生装置沿液滴运动路径产生液滴靶；液滴靶脱离液滴发生装置时，具备预设的初始自转角速度；激光光源装置产生辐射脉冲激光，并将辐射脉冲激光聚焦于真空环境中的预设打靶位置；辐射脉冲激光在预设打靶...
该专利属于广东省智能机器人研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东省智能机器人研究院授权不得商用。

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