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本发明公开了用于光刻机上的真空检测装置，包括底座，所述底座上固定连接有两个支撑板，两个所述支撑板之间固定连接有安装板，所述安装板与底座之间设有可以升降的连接板，所述连接板的两端均设有可以调节的压板机构，所述底座上设有滑动槽，所述滑动槽内滑动...
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