托盘传送臂、换载装置和处理方法及集成电路试验装置制造方法及图纸

本发明专利技术目的在于减少托盘交换时的动作行程，提高生产率。在用于交换标准托盘的托盘传送臂２０５上沿着上下方向设置一对托盘收容单元２０５ａ、２０５ｂ，还设置着使这些托盘收容单元相互独立地沿上下方向移动的液压缸３６、３７。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用于把半导体集成电路器件(以下，简称为IC)进行试验的IC试验装置，特别是涉及托盘传送臂以及使用了托盘传送臂的托盘的换载装置、IC试验装置以及托盘的处理方法。在被称为信息处理机(handler)的IC试验装置中，把被收容到托盘中的多片IC搬运到试验装置内，使得IC电接触试验头，在IC试验装置本体中进行试验。而且，如果结束试验则从试验头搬出各IC，通过换载到对应于试验结果的托盘中，进行合格品和不合格品种类的分类。在以往的IC试验装置，由于用于收容试验前的IC或试验完毕的IC的托盘(以下，也称为标准托盘)与在IC试验装置内传送的托盘(以下，也称为试验托盘)不同，因此在进行试验之前以及结束了试验时要进行IC的换载。另外，在把结束了试验的IC从试验托盘换载到标准托盘的情况下，要按照称为合格品，不合格品的类型准备空的标准托盘，从试验托盘把IC换载到空托盘中，而如果标准托盘满载，则需要将其搬出，准备新的空托盘。因此，在IC试验装置中安装了被称为托盘传送臂的装置。然而，在以往的IC试验装置中，需要进行多次搬出满载的标准托盘至设置空托盘的动作行程，特别是由于设置下一个空托盘成为最终的行程，因此IC的换载动作在该期间停止，存在着生产率(信息处理机单位时间的处理个数)降低的问题。本专利技术是鉴于这样以往技术的问题点而产生的，目的在于提供减少托盘交换时的动作行程，能够提高生产率的托盘传送臂以及使用了托盘传送臂的托盘的换载装置，IC试验装置以及托盘的处理方法。托盘传送臂(1-1)为达到上述目的，依据本专利技术的第1个观点，提供托盘传送臂，该托盘传送臂的特征在于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元。本专利技术的托盘传送臂中，由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在交换托盘时，能够在固定位置进行托盘的搬出动作和托盘的搬入动作，在托盘的搬出动作与托盘的搬入动作期间能够省略使托盘传送臂自身沿着横方向移动的动作。从而，在节省托盘交换时的动作行程的同时，由于能够在搬出托盘以后立即搬入别的托盘，因此能够格外地提高IC等向托盘的换载作业的生产率。另外，本专利技术的托盘传送臂中，由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在IC试验装置中使用的情况特别扩大了水平方向的可移动范围。(1-2)在上述专利技术中，可以构成为上述一对托盘收容单元同时移动，然而最好是具有使上述一对托盘收容单元相互独立地基本上沿着上下方向移动的驱动装置。这样，能够同时进行托盘的搬出动作和下一个托盘的搬入动作，能够进一步减少托盘交换时的动作行程，同时进一步提高IC等的换载作业的生产率。(1-3)另外，在上述专利技术中，虽然上述一对托盘收容单元的构造没有特别的限定，然而可以构成为使得面向相同的方向收容托盘，更理想的是相互背对地设置上述一对托盘收容单元。这里所谓的「托盘收容单元的背对」意味着构成该托盘收容单元使得收容托盘时托盘对于托盘收容单元的移动方向相对，在把一对托盘收容单元设置为上下方向的情况下，对于上侧的托盘收容单元从上向下收容托盘，对于下侧的托盘收容单元从下向上收容托盘。这样，能够与其它动作无关地同时进行把要搬出的托盘收容到下侧的托盘收容单元的动作以及把要搬入的托盘从上侧的托盘收容单元搬入到搬入位置的动作，能够进一步减少托盘交换时的动作行程，同时能够进一步提高IC等的交换作业的生产率。托盘的换载装置(2-1)另外，为达到上述目的，依据本专利技术的第2个观点，提供托盘的换载装置，在把被设置到第1位置的第1托盘换载到第2位置，把被设置到第3位置的第2托盘换载到上述第1位置的托盘的换载装置中，特征在于具有基本上沿着上下方向设置着能够收容上述第1以及第2托盘的至少一对托盘收容单元，并且设置成上述一对托盘收容单元能够基本上沿着上下方向移动的托盘传送装置。本专利技术的托盘传送装置，由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此在交换托盘时，首先使被设置在第3位置的第2托盘收容在上下一方的托盘收容单元中移动到交换位置，在这里把被设置到第1位置的第1托盘收容在上下另一方的托盘收容单元以后，把设置在上下一方的托盘收容单元中的第2托盘设置到第1位置。这样，由于在第1托盘的搬出动作与第2托盘的搬入动作期间不需要托盘传送装置沿横方向移动的动作，因此减少了托盘交换时的动作行程，由于能够在从第1位置搬出了第1托盘以后立即把第2托盘搬入到第1位置，因此能够格外地提高IC等向托盘换载作业的生产率。另外，本专利技术的托盘传送装置由于基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元，因此把本专利技术的托盘换载装置应用到IC试验装置的情况下，能够特别地扩大水平方向的可移动范围。(2-2)在上述专利技术中，虽然没有特别的限定，然而最好还具有装载被设置到上述第1位置的第1托盘使其基本上沿着上下方向移动的托盘升降装置。即，使用托盘升降装置使被设置到第1位置的第1托盘沿着上下方向移动，在该期间把被收容到托盘传送臂的某一方的托盘收容单元中的第2托盘设置到第1位置。由此，进一步缩短第1位置中的托盘交换时间，格外地提高IC等向托盘的换载作业的生产率。(2-3)在上述专利技术中，虽然第1～第3位置的位置关系没有特别的限定，然而也可以使所有的位置都位于相同的水平面上，例如，上述第2位置以及上述第3位置分别对于上述第1位置至少基本上位于其上方，下方或者水平方向的某一个位置。(2-4)在上述专利技术中，虽然第1～第3位置的具体结构没有特别的限定，然而作为其一个例子，上述第1位置是托盘的卸载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是搭载结束了试验的被试验IC的托盘，上述第2托盘是空托盘。(2-5)另外，作为其它的例子，上述第1位置是托盘的装载机，上述第2以及第3位置是托盘的储料器，上述第1托盘是结束了被试验IC的换载的空托盘，上述第2托盘是搭载了试验前的被试验IC的托盘。(2-6)本专利技术中，虽然没有特别的限定，然而最好还具有把上述第2托盘装载在上述托盘传送装置的一方的托盘收容单元中的托盘设置装置。通过设置这样的托盘设置装置，由于减少托盘传送臂自身的动作行程，所以将加快托盘的交换速度，提高生产率。IC试验装置(3-1)为达到上述目的，依据本专利技术的第3个观点，提供IC试验装置，在把搭载了被试验IC的第1种托盘投入到装载机中，把上述被试验IC换载到被搬运到试验工艺中的第2种托盘中，把上述第2种托盘投入到上述工程试验工艺中把上述被试验IC进行试验的同时在上述每个被试验IC中存储其试验结果，把结束了上述试验的第2种托盘取出到卸载机中，根据上述试验结果把上述被试验IC从上述第2种托盘换载到上述第1种托盘的同时，在上述卸载机中，把结束了被试验IC从上述第2种托盘的换载的第1种托盘从该卸载机中取出的同时，把其它的第1种托盘投入到该卸载机中的IC试验装置中，特征在于具有基本上沿着上下方向设置了能够收容上述第1种托盘的一对托盘收容单元的托盘传送装置。本专利技术的托盘传送装置由于基本上沿着上下方向设置了一对托盘收容单元，因此在卸载机中交换第1种托盘时，首先把其它第1种托盘收容在上下一方的托盘收容单元中移动到卸载机，在这里把被设置到卸载机中的第1种托盘收容在其它上下另一方的托盘收容单元的同时，把该收容到上下一方的托盘收容单元中的另一第1种托盘设置本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种托盘传送臂，其特征在于：基本上沿着上下方向设置着一对托盘收容单元。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：中村浩人，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]