【技术实现步骤摘要】
本专利技术一般涉及用于微波元件的测试系统，特别是涉及为提高精度用于上述系统的校正方法。越来越多地采用半导体制造技术制造微波元件。这些技术允许低成本大批量地制造上述元件。这些元件也应当在低成本下测试。但是，不应当牺牲测试精度。保持低测试成本的一个重要途径是通过使用自动操作的测试设备。元件机械地插入到测试设备中并且在元件上快速进行一系列测试。现代化自动操作测试设备能够测试半导体装置上的微波电路系统。此外，也可以产生和测量数字信号。因此，微波元件可以以快速连续地彻底测试。为保证精度，需校正测试系统。传统的微波检测工具的校正是通过向测试装置的测试端口连接一系列校正基准来完成。然后测试系统测量这些校正基准，并且由于已知校正基准的实际值，可以识别出由测试系统产生的测量误差。计算一组参数，通常称作s参数，这些参数形成通向连接校正基准的点的测量电路系统的数学模型。该模型可以用来预计穿过测量装置的信号中的失真。因而，可以从数学上消除信号失真的影响或误差。在属于Wadell的美国专利No.5,572,160中描述了自动测试设备校正方面的显著进步，这里通过引用来说明。该专利公开了...
【技术保护点】
一种用于源匹配的校正自动测试设备的方法，包括步骤： ａ）连接第一校正基准到测量电路系统； ｂ）测量从第一个方向入射到测量电路系统上的第一信号； ｃ）连接第二校正基准到测量电路系统； ｄ）以保持第一信号和第二信号之间的相位关系的方式，测量从第一个方向入射到测量电路系统上的第二信号； ｅ）利用该第一信号和第二信号计算表示基于源匹配的误差。
【技术特征摘要】
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