具有改进的功率耐久性和耐热性的BAW谐振器以及包括BAW谐振器的RF滤波器制造技术

一种具有改进的功率耐久性和改进的耐热性的BAW谐振器(BAWR)被提供。谐振器包括层堆叠和分流路径(PCPP)，层堆叠具有在底部电极(EL1)与顶部电极(EL2)之间的压电材料(PM)，分流路径(PCPP)与层堆叠并联且被提供以使得RF信号能够绕过层堆叠，例如通向地(GND)。分流路径(PCPP)具有依赖于温度的电导，该电导具有电阻的负温度系数NTC。当设备的温度由于高功率操作而上升时，电流通过依赖于温度的分流路径被分流到地或另一专用端子，否则这些电流将永久地损坏设备。一经冷却，正常操作重新开始。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有改进的功率耐久性和耐热性的BAW谐振器以及包括BAW谐振器的RF滤波器
本专利技术涉及一种具有改进的功率耐久性和改进的耐热性的BAW谐振器，例如用于移动通信设备中的RF滤波器。此外，本专利技术涉及RF滤波器。
技术介绍
在移动通信设备中，RF滤波器被用来在想要的RF信号和不想要的RF信号之间进行区分。例如，在功率放大器与天线端口之间的传输滤波器被用来使仅发射信号传播到天线端口。在接收信号路径中，接收信号被用来传递接收信号，并且特别是用来针对发射信号隔离接收端口。RF滤波器包括可以与声波(诸如体声波)一起工作的谐振器。BAW谐振器(BAW＝体声波)包括具有底部电极和顶部电极的夹层构造。在底部电极与顶部电极之间，压电层中的压电材料被布置。如果压电层的厚度被选取为匹配RF信号的工作频率，则谐振器在RF信号与声波之间进行转换。因此，RF滤波器的谐振器被暴露于RF功率。电极中的欧姆损耗或其他能量耗散效应导致从RF能量到热量的能量转换。对应地，加热的谐振器遭受特性频率(诸如，谐振频率或反谐振频率)的移位，这归因于压电层的膨胀和材本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种BAW谐振器，包括：/n-层堆叠，具有底部电极、顶部电极、以及在所述底部电极与所述顶部电极之间的压电材料，/n-分流路径，与所述层堆叠并联，被提供以使得RF信号能够绕过所述层堆叠，/n其中：/n-所述分流路径具有依赖于温度的电导。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180411 DE 102018108608.31.一种BAW谐振器，包括：
-层堆叠，具有底部电极、顶部电极、以及在所述底部电极与所述顶部电极之间的压电材料，
-分流路径，与所述层堆叠并联，被提供以使得RF信号能够绕过所述层堆叠，
其中：
-所述分流路径具有依赖于温度的电导。


2.根据前一权利要求所述的BAW谐振器，包括在所述底部电极下方的声镜，其中所述声镜具有依赖于温度的电导并且建立所述分流路径的元件。


3.根据前述权利要求中的一项所述的BAW谐振器，被布置在载体衬底上，其中所述载体衬底具有依赖于温度的电导并且建立所述分流路径的元件。


4.根据前述权利要求中的一项所述的BAW谐振器，包括保护元件，其中所述保护元件具有依赖于温度的电导并且建立所述分流路径的元件。


5.根据前述权利要求中的一项所述的BAW...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·希克，R·罗塞齐恩，W·艾格纳，T·米特迈尔，E·施米德哈默，S·沙玛利，X·佩鲁瓦，C·许克，A·A·希拉卡瓦，
申请(专利权)人：RF三六零欧洲有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE