弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置制造方法及图纸

技术编号:26348980 阅读:78 留言:0更新日期:2020-11-13 21:46
在SAW元件中,压电体层在支承基板上重叠。IDT电极具有主区域和其两侧的两个端部区域。端部区域从电极指设计进行了调整的部位起直到端部而连续。由反射器电极指的电极指设计决定的谐振频率低于由主区域的电极指的电极指设计决定的谐振频率。将在主区域中电极指的中心间间隔设为a。将构成端部区域的电极指的数量设为m。将主区域的电极指中位于最靠近端部区域一侧的位置的电极指的中心与反射器电极指中位于最靠近端部区域一侧的位置的反射器电极指的中心的距离设为x。此时,满足0.5×a×(m+1)<x<a×(m+1)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置
本公开涉及弹性波元件、弹性波滤波器、分波器以及通信装置。弹性波例如是SAW(SurfaceAcousticWave,表面声波)。
技术介绍
已知一种弹性波谐振器,其具有作为激励电极的IDT(InterdigitalTransducer,叉指式换能器)电极和在其两侧配置的反射器(例如专利文献1)。IDT电极具有多个电极指,反射器具有多个反射器电极指。多个电极指以及多个反射器电极指在与弹性波的传播方向正交的方向上延伸,并且在弹性波的传播方向上排列。在专利文献1中,提出了一种弹性波元件的谐振器特性提高的电极指设计。在该电极指设计中,使多个反射器电极指的间距比多个电极指的间距长。此外,IDT电极被分为主区域和其两侧的端部区域。关于主区域与反射器的距离,使其比多个电极指的间距遍及IDT电极整体而被设为固定(与主区域的间距相同)的情况短。例如,使主区域与端部区域之间的电极指间的间隙小于主区域内的电极指间的间隙。或者,使端部区域的多个电极指的间距小于主区域的电极指的间距。在先技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2015/080278号
技术实现思路
本公开的一方式所涉及的弹性波元件具备:支承基板;压电体层,在所述支承基板上重叠;激励电极,使弹性波发生;以及两个反射器。所述激励电极位于所述压电体层的上表面,并具有多个电极指。所述两个反射器位于所述压电体层的上表面,并具有多个反射器电极指,并在所述弹性波的传播方向上夹着所述激励电极。所述激励电极具有主区域和两个端部区域。所述主区域位于所述弹性波的传播方向的两端部间。所述主区域中的所述电极指的电极指设计是一样的。所述两个端部区域从与所述主区域相比电极指设计发生了调整的部位起直到端部连续,并夹着所述主区域位于两侧。所述反射器的由所述反射器电极指的电极指设计决定的谐振频率低于由所述主区域的所述电极指的电极指设计决定的谐振频率,若将在所述主区域中所述电极指的中心和与其相邻的所述电极指的中心的间隔设为a,将构成所述端部区域的所述电极指的数量设为m,将所述主区域的所述电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述电极指的中心、与所述反射器的所述反射器电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述反射器电极指的中心的距离设为x,则满足0.5×a×(m+1)<x<a×(m+1)。本公开的一方式所涉及的弹性波滤波器具有:连接成梯型的一个以上的串联谐振器以及一个以上的并联谐振器。至少一个所述并联谐振器包括上述的弹性波元件。本公开的一方式所涉及的分波器具备:天线端子;发送滤波器,对发送信号进行滤波而输出给所述天线端子;以及接收滤波器,对来自所述天线端子的接收信号进行滤波。所述发送滤波器或者所述接收滤波器具有上述的弹性波元件。本公开的一方式所涉及的通信装置具备:天线;将所述天线端子与该天线连接的上述的分波器;以及与该分波器电连接的RF-IC。附图说明图1是表示本公开的一实施方式所涉及的弹性波元件的结构的俯视图。图2相当于在图1的弹性波元件中利用II-II线切断的一部分的剖面。图3是在图1的弹性波元件中将IDT电极的一部分放大而得的放大俯视图。图4是在图1的弹性波元件中将反射器的一部分放大而得的放大俯视图。图5是表示图1的弹性波元件的IDT电极以及反射器的一部分的要部放大图。图6是示出了在图5中使IDT电极与反射器的距离变化的方法的一例的图。图7是示意性地示出了在图6中弹性波谐振的主区域和端部区域的重复的排列部的相位的关系的图。图8的(a)以及图8的(b)是表示实施例以及比较例所涉及的SAW元件中的频率特性的实测值的图。图9的(a)、图9的(b)、图9的(c)以及图9的(d)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地示出了压电体层的厚度的影响。图10的(a)、图10的(b)、图10的(c)以及图10的(d)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地示出了压电体层的厚度的影响。图11的(a)、图11的(b)以及图11的(c)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地示出了反射器电极指的间距的影响。图12的(a)以及图12的(b)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地示出了反射器电极指的间距的影响。图13的(a)、图13的(b)、图13的(c)以及图13的(d)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地按反射器电极指的每个间距示出了第2间隙的影响。图14的(a)、图14的(b)、图14的(c)以及图14的(d)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地按反射器电极指的每个间距示出了第2间隙的影响。图15的(a)、图15的(b)、图15的(c)以及图15的(d)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地按反射器电极指的每个间距示出了第2间距的影响。图16的(a)、图16的(b)、图16的(c)以及图16的(d)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地按反射器电极指的每个间距示出了第2间距的影响。图17的(a)、图17的(b)以及图17的(c)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地按端部区域的电极指的每个根数示出了第2间隙的影响。图18的(a)、图18的(b)以及图18的(c)是表示关于实施例以及比较例所涉及的SAW元件的仿真结果的图,特别地按端部区域的电极指的每个根数示出了第2间距的影响。图19是说明本公开的一实施方式所涉及的通信装置的概略图。图20是说明本公开的一实施方式所涉及的分波器的电路图。具体实施方式以下,关于本专利技术的一实施方式所涉及的弹性波元件、分波器以及通信装置,参照附图来进行说明。另外,以下的说明中使用的图是示意性的图,附图上的尺寸比率等不一定与实际相一致。弹性波元件可以将任意的方向设为上方或者下方,但以下为了方便,定义正交坐标系D1-D2-D3,并且将D3方向的正侧设为上方来使用上表面、下表面等的用语。此外,D1轴被定义成与沿着后述的压电体层而传播的SAW的传播方向平行,D2轴被定义成与压电体层平行并且与D1轴正交,D3轴被定义成与压电体层正交。<弹性波元件的结构的概要>图1是表示本专利技术的一实施方式所涉及的弹性波元件1的结构的俯视图。图2是图1的Ic-Ic切断线处的一部分的剖视图。如图1所示,SAW元件1具有复合基板2、设置于复合基板2的上表面2A的激励电极3以及反射器4。SAW元件1通过将复合基板2的结构、IDT电极3中位于反射器4侧的两个端部区域3b的电极指设计、和反射器4的电极指设计进行组合,能够使信号的通频带的特性提高。以下,对各结构要件进行本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种弹性波元件,具备:/n支承基板;/n压电体层,在所述支承基板上重叠;/n激励电极,位于该压电体层的上表面,具有多个电极指,并使弹性波发生;以及/n两个反射器,位于所述压电体层的上表面,具有多个反射器电极指,并在所述弹性波的传播方向上夹着所述激励电极,/n所述激励电极具有:/n主区域,位于所述弹性波的传播方向的两端部间,所述电极指的电极指设计是一样的;以及/n两个端部区域,从与该主区域相比电极指设计发生了调整的部位到端部连续,夹着所述主区域而位于两侧,/n所述反射器的由所述反射器电极指的电极指设计决定的谐振频率低于由所述主区域的所述电极指的电极指设计决定的谐振频率,/n若将所述主区域中所述电极指的中心和与其相邻的所述电极指的中心的间隔设为a,将构成所述端部区域的所述电极指的数量设为m,将所述主区域的所述电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述电极指的中心、与所述反射器的所述反射器电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述反射器电极指的中心的距离设为x,则满足0.5×a×(m+1)<x<a×(m+1)。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180411 JP 2018-0759761.一种弹性波元件,具备:
支承基板;
压电体层,在所述支承基板上重叠;
激励电极,位于该压电体层的上表面,具有多个电极指,并使弹性波发生;以及
两个反射器,位于所述压电体层的上表面,具有多个反射器电极指,并在所述弹性波的传播方向上夹着所述激励电极,
所述激励电极具有:
主区域,位于所述弹性波的传播方向的两端部间,所述电极指的电极指设计是一样的;以及
两个端部区域,从与该主区域相比电极指设计发生了调整的部位到端部连续,夹着所述主区域而位于两侧,
所述反射器的由所述反射器电极指的电极指设计决定的谐振频率低于由所述主区域的所述电极指的电极指设计决定的谐振频率,
若将所述主区域中所述电极指的中心和与其相邻的所述电极指的中心的间隔设为a,将构成所述端部区域的所述电极指的数量设为m,将所述主区域的所述电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述电极指的中心、与所述反射器的所述反射器电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述反射器电极指的中心的距离设为x,则满足0.5×a×(m+1)<x<a×(m+1)。


2.根据权利要求1所述的弹性波元件,其中,
多个所述电极指具有多个第1电极指和多个第2电极指,
所述激励电极具有:
第1梳齿电极,具有所述多个第1电极指;以及
第2梳齿电极,具有与所述多个第1电极指啮合的所述多个第2电极指。


3.根据权利要求1或2所述的弹性波元件,其中,
相比于在所述主区域中相邻的两个所述电极指的间隙即第1间隙,所述主区域的所述电极指中位于最靠近所述端部区域一侧的位置的所述电极指和与其相邻的所述端部区域的所述电极指中位于最靠近所述主区域一侧的位置的所述电极指的间隙即第2间隙窄。


4.根据权利要求3所述的弹性波元件,其中,
相对于所述主区域中的所述电极指的中心和与其相邻的所述电极指的中心的间隔,所述反射器的所述反射器电极指的中心和与其相邻的所述反射器电极指的中心的间隔大于1倍并且是1.04倍以下。
相对于所述第1间隙,所述第2间隙大于0.75倍并且小于1倍。


5.根据权利要求1或2所述的弹性波元件,其中,
所述端部区域的由所述电极指的电极指设...

【专利技术属性】
技术研发人员:岸野哲也
申请(专利权)人:京瓷株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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