用于减少的横向模式的表面声波电声器件制造技术

本公开的各方面涉及一种电声器件，该电声器件包括压电材料(602)和电极结构(604)，该电极结构包括第一母线(622)和第二母线(624)以及电极指状物(626)，该电极指状物以叉指方式布置并且包括连接到第一母线的第一多个指状物(626a)和连接到第二母线的第二多个指状物(626b)。电极结构还包括第一导电结构(629a)，该第一导电结构设置在第一多个指状物中的每个指状物之间并且设置在第一母线和第二多个指状物之间。该电极结构还包括第二导电结构(629b)，该第二导电结构设置在第二多个指状物中的每个指状物之间并且设置在第二母线和第一多个指状物之间。第一导电结构和第二导电结构各自具有小于第二多个指状物的高度的高度。构各自具有小于第二多个指状物的高度的高度。构各自具有小于第二多个指状物的高度的高度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于减少的横向模式的表面声波电声器件
[0001]其他申请的交叉引用
[0002]本专利申请主张于2021年4月27日提交的、专利技术名称为“SURFACE ACOUSTIC WAVE ELECTROACOUSTIC DEVICE FOR REDUCED TRANSVERSAL MODES”的美国专利申请序列No.17/302224的权益，并且主张于2020年4月30日提交的、被转让给其受让人的、专利技术名称为“SURFACE ACOUSTIC WAVE ELECTROACOUSTIC DEVICE FOR REDUCED TRANSVERSAL MODES”的美国临时专利申请No.63/017955的权益，并且通过引用其整体明确地并入本文。


[0003]本公开总体上涉及诸如SAW谐振器的表面声波(SAW)电声器件，并且具体地涉及减少横向声波模式的电声器件的叉指换能器(IDT)电极结构。

技术介绍

[0004]电子设备包括传统的计算设备，诸如台式计算机、笔记本电脑、平板电脑、智能电话、如智能手表的可穿戴设备、因特网服务器，等等。这些各种电子设备向人类用户提供信息、娱乐、社交互动、保密性、安全性、生产力、运输、制造和其他服务。这些各种电子设备的许多功能依赖于无线通信。无线通信系统和设备被广泛部署以提供各种类型的通信内容，诸如语音、视频、分组数据、消息传送、广播等。这些系统能够通过共享可用系统资源(例如，时间、频率和功率)来支持与多个用户的通信。这种系统的示例包括码分多址(CDMA)系统、时分多址(TDMA)系统、频分多址(FDMA)系统、和正交频分多址(OFDMA)系统(例如，长期演进(LTE)系统或新无线电(NR)系统)。
[0005]在这些电子设备中使用的无线通信收发机通常包括多个射频(RF)滤波器，多个RF滤波器用于对特定频率或频率范围的信号进行滤波。在许多应用中，电声器件(例如，“声滤波器”)用于对高频(例如，一般大于100MHz)信号进行过滤。使用压电材料作为振动介质，声谐振器通过将沿着电导体传播的电信号波转换为经由压电材料传播的声波来操作。声波以幅度显著小于电磁波传播速率的速率传播。一般地，波的传播速率的幅度与波的波长的大小成比例。因此，在电信号转换为声信号之后，声信号波的波长显著小于电信号波的波长。所得到的声音信号的较小波长使得能够使用较小的滤波器装置来执行滤波。这允许声谐振器被用在具有尺寸限制的电子设备中，诸如上面列举的电子设备(例如，特别包括诸如蜂窝电话的便携式电子设备)。
[0006]随着无线通信中使用的频带数量的增加并且随着滤波器的期望频带的加宽，声滤波器的性能对于减少损耗和提高电子设备的整体性能的重要性增加。因此随后寻求具有改进性能的声滤波器。

技术实现思路

[0007]在本公开的一个方面，提供了一种电声器件。电声器件包括压电材料。电声器件还包括电极结构。电极结构包括第一母线和第二母线。电极结构还包括电极指状物，该电极指
状物以叉指方式布置，并且包括连接到第一母线的第一多个指状物和连接到第二母线的第二多个指状物。电极结构还包括第一导电结构，该第一导电结构设置在第一多个指状物中的每个指状物之间，并且设置在第一母线和第二多个指状物之间。第一导电结构具有小于第一多个指状物的高度的高度。电极结构还包括第二导电结构，该第二导电结构设置在第二多个指状物中的每个指状物之间，并且设置在第二母线和第一多个指状物之间。第二导电结构具有小于第二多个指状物的高度的高度。
[0008]在本公开的另一个方面，提供了一种用于经由电声器件来对电信号进行过滤的方法，该电声器件包括压电材料和叉指换能器。该方法包括向叉指换能器的端子提供电信号。该方法还包括经由分别连接在叉指换能器的相应母线和电极指状物之间的导电结构，来减少横向声波模式。导电结构的高度小于电极指状物的高度。
[0009]在本公开的又一个方面，提供了一种用于形成电声器件的方法。该方法包括形成压电材料层。该方法还包括在压电材料上或上方形成电极结构。形成电极结构包括形成第一母线和第二母线。形成电极结构还包括形成以叉指方式布置的电极指状物。形成电极指状物包括形成连接到第一母线的第一多个指状物，和形成连接到第二母线的第二多个指状物。形成电极结构还包括形成设置在第一多个指状物中的每个指状物之间的第一导电结构。第一导电结构形成有小于第一多个指状物的高度的高度。形成电极结构还包括形成设置在第二多个指状物中的每个指状物之间的第二导电结构。第二导电结构形成有小于第二多个指状物的高度的高度。
[0010]在本公开的再一个方面，提供了一种电声器件。电声器件包括压电材料。该电声器件还包括电极结构，该电极结构包括第一母线和第二母线。电极结构还包括电极指状物，该电极指状物以叉指方式布置，并且连接到第一母线或第二母线。电极结构还包括用于控制在第一区域中以及第二区域中的声速(acoustic velocity)的装置，第一区域在第一母线和电极指状物之间，第二区域在第二母线和电极指状物之间。用于控制声速的装置具有小于电极指状物的高度的高度。
[0011]在本公开的又一个方面，提供了一种电声器件。电声器件包括压电材料。电声器件还包括电极结构，该电极结构包括电极指状物，该电极指状物以叉指方式布置，并且包括第一多个指状物和第二多个指状物。电极结构还包括第一导电结构，该第一导电结构连接到第一多个指状物中的每个指状物，并且在第一多个指状物中的每个指状物之间。第一导电结构具有小于第一多个指状物的高度的高度。电极结构还包括第二导电结构，该第二导电结构连接到第二多个指状物中的每个指状物，并且在第二多个指状物中的每个指状物之间。第二导电结构具有小于第二多个指状物的高度的高度。
[0012]在本公开的再一个方面，提供了一种电极结构。电极结构包括第一母线和第二母线。电极结构还包括电极指状物，该电极指状物以叉指方式布置，并且包括连接到第一母线的第一多个指状物和连接到第二母线的第二多个指状物。电极结构还包括设置在第二多个指状物的端部和第一母线之间的第一导电结构。第一导电结构具有小于第一多个指状物的高度的高度。电极结构还包括设置在第一多个指状物的端部和第二母线之间的第二导电结构。第二导电结构具有小于第二多个指状物的高度的高度。
附图说明
[0013]图1A是电声器件的示例的透视图。
[0014]图1B是图1A的电声器件的侧视图。
[0015]图2A是电声器件的电极结构的示例的顶视图。
[0016]图2B是电声器件的电极结构的另一示例的顶视图。
[0017]图3A是电声器件的另一示例的透视图。
[0018]图3B是图3A的电声器件的侧视图。
[0019]图4是电声器件的电极结构的一部分的示图，其与示出电声器件的不同区域中的声速分布的曲线图对齐。
[0020]图5A和图5B是示出电极结构的示例的示图，其示出了参考图4限定的陷阱区域的不同实施方式的示例。
[0021]图6A是根据本公开的各方面的减少横向本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电声器件，包括：压电材料；以及电极结构，包括：第一母线和第二母线；电极指状物，以叉指方式布置，并且包括连接到所述第一母线的第一多个指状物以及连接到所述第二母线的第二多个指状物；第一导电结构，设置在所述第一多个指状物中的每个指状物之间，并且设置在所述第一母线和所述第二多个指状物之间，所述第一导电结构具有小于所述第一多个指状物的高度的高度；以及第二导电结构，设置在所述第二多个指状物中的每个指状物之间，并且设置在所述第二母线和所述第一多个指状物之间，所述第二导电结构具有小于所述第二多个指状物的高度的高度。2.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述第一导电结构的高度小于所述第一多个指状物的高度的一半，其中所述第二导电结构的高度小于所述第二多个指状物的高度的一半。3.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述第一导电结构的高度在5纳米和20纳米之间，其中所述第二导电结构的高度在5纳米和20纳米之间。4.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述第一导电结构连接到所述第一母线，其中所述第二导电结构连接到所述第二母线。5.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述电极指状物具有中央区域，所述中央区域具有分别定位在所述中央区域的边界上的第一陷阱区域和第二陷阱区域，其中在所述第一陷阱区域和所述第二陷阱区域中所述电声器件的结构特性相对于所述中央区域是不同的。6.根据权利要求5所述的电声器件，其中所述结构特性与所述电极指状物中的每个指状物的一部分相对应，在所述第一陷阱区域和所述第二陷阱区域内所述一部分相对于在所述中央区域内具有增大的宽度或增大的高度。7.根据权利要求5所述的电声器件，其中所述结构特性对应于以下项中的至少一者：位于所述陷阱区域之上的电介质材料、所述陷阱区域内的质量负载、或微调操作的结构效应。8.根据权利要求5所述的电声器件，其中在由所述第一导电结构和所述第二导电结构限定的所述电声器件的区域中的声速比在由所述第一陷阱区域、所述第二陷阱区域和所述中央区域限定的所述电声器件的区域中更高。9.根据权利要求8所述的电声器件，其中在所述第一陷阱区域和所述第二陷阱区域中的声速低于在所述中央区域中的声速。10.根据权利要求5所述的电声器件，其中所述陷阱区域在所述电极指状物延伸的方向上的尺寸在所述电极指状物的节距的一半和所述电极指状物的所述节距的两倍之间。11.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述电极指状物具有中央区域，所述中央区域具有分别定位在所述中央区域的边界上的第一陷阱区域和第二陷阱区域，其中在由所述第一陷阱区域和所述第二陷阱区域限定的所述电声器件的区域中的声速比在由所述中央区域限定的所述电声器件的区域中更低。12.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述第一导电结构在所述电极指状物延伸的
方向上的尺寸介于针对所述电声器件的操作频率的波长的1.25倍和4倍之间。13.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述电极指状物在与所述第一母线和所述第二母线的方向正交的方向上延伸。14.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述电极指状物在与所述第一导电结构和所述第二导电结构的方向正交的方向上延伸。15.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述压电材料包括钽酸锂(LiTaO3)。16.根据权利要求1所述的电声器件，还包括：基板；富陷阱层，形成所述基板的一部分或设置在所述基板上；以及电介质材料层，设置在所述基板上，所述压电材料设置在所述电介质...

【专利技术属性】
技术研发人员：M，
申请(专利权)人：RF三六零欧洲有限责任公司，
类型：发明
国别省市：