【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及用于对试样进行电气测试，特别是用于对晶片进行电气测试的测试装置及其制作方法。它具有分配给试样用的、触针布局构造的、装有针状触点构件的接触头，具有带接触面的电气连接构件，接触面与转换接受试样的测试平面的接触件端部一起，处于接触之中。
技术介绍
电气测试装置用作与试样发生电气接触，以便试验其性能。电气测试装置构成了与试样的电气连接，即它一方面与试样电路接触，另一方面提供与测量系统连接的电气触点。测量系统经测试装置将电气信号引入试样，以便进行性能测试，例如，测量电阻、测量电流和电压等。由于与电气试样打交道时经常会遇到尺寸很小的电子元件，例如晶片上的电子开关，电子元件制作在晶片上，测试头的针状接触构件只能有极为细小的尺寸。为了实现与测量系统的连接，测试头的接触件与连接构件发生接触，它完成向较大接触间距的转换，如果能够连接电缆，便将线路连接到测量系统中。测试时，试样处于测试平面上，测试装置以轴向，优先以垂直方向下降到试样上。这样，针状接触构件的一端与试样接触，针状接触构件的另一端抵住连接构件的接触面。由于制造公差，以及外部条件并非总是能够确保触针结构的触针...
【技术保护点】
一种用于对试样进行电气测试，特别是用于对晶片进行电气测试的测试装置，它具有分配给试样用的、触针布局构造的、装有针状触点构件的接触头，具有带接触面的电气连接构件，接触面与转换接受试样的测试平面的接触件端部一起，处于接触之中，其特征在于，轴向伸展的轴向触点构件（２２）上的接触面是由机械加工接触面（１２ｃ）构成的。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：贡特尔伯姆，米夏埃尔霍洛谢尔，
申请(专利权)人：精炼金属股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]
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