具有容易修改的软件的自动测试系统技术方案

一种自动测试系统例如可作为制造过程的一部分用来测试半导体器件。该测试系统使用仪器来产生和测量测试信号。该自动测试系统具有使得在其被制造之后将仪器添加到测试系统上的硬件和软件体系结构。该软件分成仪器专用软件和独立于仪器的软件。软件组件的预定义接口使得能够容易地将仪器集成到测试系统中，并且在测试系统的实际实现时或仪器随产品系列中的测试机改变时能够容易地重用该软件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术一般涉及软件体系结构，具体涉及自动测试系统的软件。
技术介绍
在半导体器件的制造中使用自动测试系统(一般称为“测试机”)。通常，在半导体器件制造期间，在多于一个的阶段对其进行测试，并且根据测试结果来确定该器件的进一步处理。在某些情况下，废弃未通过测试的器件。在有些情况中，可以修复器件。例如，器件可构造有冗余电路。如果经测试找到了器件的故障部分，那么可以断开故障电路并在它的位置连接冗余电路元件。在另外一些情况下，通过测试对部件进行分级。例如，一些器件只能在特定速度范围内运行，或之能在一定温度范围内运行，这可能低于该器件预期的运行范围。可以把这些器件与其他完全满足设计要求的器件分开，然后作为较低等级的部件进行特定包装或销售。无论响应该测试进行何种特定活动，测试都是制造过程中的一个重要部分。非常希望自动测试系统尽可能易于使用。提供软件是实现易于使用的一种方法。Proskauer等的名称为“Low Cost，Easy To Use Automatic TestSystem Software”的美国专利5,910,895描述了一种用于自动测试系统的软件系统，其基于使用商品化的spread sheet程序，来定义测试程序所需的数据和程序流。Blitz的名称为“System For Storing AndSearching Named Device For Parameter Data In A Test System ForTesting An Integrated Circuit”的美国专利6,047,293描述了一种便于测试系统编程的软件。名称为“Production Interface For An IntegratedCircuit Test System”美国专利5,828,674描述了一种软件系统，也用于自动测试设备，它使得可方便地向自动测试系统提供用户接口。Kittross等于1999年10月12日提交的名称为“Easy to ProgramAutomatic Test Equipment”的美国专利申请09/417034描述了一种自动测试系统，其使用编程技术的组合来支持测试的便捷编程，同时允许编写非常复杂的程序。前面所述的这些都通过引用结合于此作为参考。上述各专利都转让给了美国马萨诸塞州波士顿的Teradyne公司。Teradyne为它的测试系统提供一种称为IG-XL的非常成功的编程环境，其采用了上述专利中所述的技术。尽管该编程环境是成功的，但还是希望提供一种改进的软件环境。我们已经认识到需要改进的一个原因，由于传统的自动测试环境的软件包含用于运行测试机硬件的驱动程序。传统上，测试机包括特别适于特定测试功能的硬件仪器。例如，一些仪器产生或测量RF信号。其他有些仪器产生数字信号，而有些只执行测试半导体存储器的功能。用于测试系统的仪器常常在该测试系统发布之后开发，这是由于认识到需要新仪器，或是由于在开发测试系统时不可能同时得到所有的仪器。随着新的仪器被开发出来，软件环境必须修改，以便加入对新仪器的控制。传统上，通过发布软件的新版本来修改软件。对于测试机，发布新软件有时可能是不利的。半导体制造商常常要“验证”他们编写的用来测试所制造的半导体的程序。验证步骤对于半导体制造商而言是重要的，这可以使他们在很高的程度上相信通过了测试的器件实际上是好的器件，而没有通过测试的器件实际上是有缺陷的器件。如果发布了软件的新版本，半导体制造商可能必须重新验证其全部测试程序。由于在半导体工业中技术进展的快速步伐，我们还认识到需要改进的另一个原因。被开发的新一代器件通常比其前一代更大更快，需要新的测试机。非常希望能够对新一代的器件快速开发测试程序，即使它们是在新测试机上测试。
技术实现思路
鉴于前面
技术介绍
中的问题，本专利技术的一个目的是提供一种测试系统，可被容易地重新编程以控制新仪器而无需重新加载基本软件。在另一方面，本专利技术提供一种用于制造半导体器件的方法，通过提供自包含的仪器专用软件简化了该方法。通过把软件划分成通用功能和仪器专用功能的自动测试系统软件实现了上述及其他目的。该测试系统包括用于确定安装了哪些仪器的机制，以及执行通用功能的软件能够访问仪器专用软件并且仪器专用软件能够访问通用功能的机制。在优选实施例中，执行通用功能的软件被实现成定义“核心”功能的软件和执行特定平台功能的软件。此外，执行仪器专用功能的软件包含与仪器相关的功能信息以及描述该仪器在印刷电路板上的物理布局的信息。在使用中，仪器的“实例”通过将其功能和物理信息组合起来而构成。按这种方式，可以使用与该仪器有关的相同功能信息，即使其物理布局改变了。在优选实施例中，软件组件被定义成具有规定接口的COM对象。这些接口提供已知的格式，用于存取与该对象相关联的方法。对软件做划分，使仪器专用方法只包含在仪器专用软件中，但仪器专用软件能够访问通用的功能，以作为ATE系统的集成部分来运行。附图说明通过参考下面更详细的说明和附图，将更好地理解本专利技术，其中图1是例如可在现有技术中找到的自动测试系统的框图；图2是现有技术中软件体系结构的功能框图；图3是示出在特定电路板上放置仪器的简图；图4是使用本专利技术的软件的功能框图；以及图5是示出图4的仪器软件的更详细情况的示意表示。具体实施例方式图1示出现有技术中一般的自动测试系统。为了提供全面和快速的测试，该自动测试系统通常包括测试机的机体112、计算机化工作站110和输送(handling)装置114。计算机工作站110控制输送装置114和测试机机体112。它控制输送装置114来定位半导体器件(未示出)使其与测试机机体上的多个测试探针118相接触。通常，测试机包括分离的测试头，该测试头包含测试探针118。然而，这种区别对于本专利技术来说是不重要的。然后，工作站110控制测试机机体112对待测器件进行一系列测试。每次测试通常包括启动部分，其中把控制信号从工作站110发送到测试机机体112。控制信号通常是通过总线116发送的数值。这些控制信号对测试机机体112内的硬件进行配置，以便进行测试所需的测量。测试机机体112内的硬件根据控制信号提供激励并测量来自待测器件的响应。在优选实施例中，工作站110是运行Windows操作系统的常规个人计算机。优选地，操作系统为Windows NT操作系统、Windows2000操作系统、Windows XP操作系统或更新的版本。图1示出了测试机机体112内的硬件包括多个电路，它们被标识为仪器INS 126A...126N。这些仪器可以具有多种形式。为了测试产生或接收数字信号的半导体元件，仪器INS 126A...126N中的一些包含“引脚”或“数字通道”。能够对每个引脚编程，以产生信号或对测试探针118中的一个进行测量。每个引脚可提供或测量静态或DC信号。作为替换，每个引脚可提供或测量有时被称作“脉冲(burst)”的信号中的变化数据。在脉冲期间，测试机机体120由定时和排序电路120控制。定时和排序电路120使引脚124中的每一个从相关的存储器128读取数据值序列。每个数据值指示该引脚在特定时间点在其相关的测试探针118处应该施加或期望测量的信号类型。如果该引脚将测量结果与期望值进行了本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种制造半导体器件的方法，其包括根据包含如下步骤的方法运行自动测试系统：ａ）使用包含独立于仪器的软件的自动测试系统；ｂ）在较后的时间接收具有仪器专用软件组件的仪器；和ｃ）在所述自动测试系统中安装所述仪器和仪器专用软件 组件；ｄ）通过在所述独立于仪器的软件和所述仪器专用软件之间的接口，使用包括所述仪器的所述自动测试系统。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯蒂芬J霍特亚克，阿兰L布利茨，兰德尔B斯廷森，
申请(专利权)人：泰拉丁公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]