测试装置制造方法及图纸

技术编号:2633166 阅读:170 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种测试装置,用于测试电子元件,本测试装置包括:多个测试模组、基准时脉产生部、产生电路、多个时序提供部,以及控制部。多个测试模组是把用于测试电子元件的测试图案供给至电子元件。基准时脉产生部是用以产生基准时脉。产生电路是根据基准时脉,产生使测试模组动作的时序信号。多个时序提供部是对应测试模组而设置,并将时序信号供给到对应的测试模组。控制部是使各测试模组依照时序信号输出测试图案的时序约略相同,以此方式控制时序提供部供给到各测试模组的时序信号的相位。(*该技术在2024年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术关于一种对电子元件进行测试的测试装置。对认可参照文献的组入的国家,可将下述申请中所记述的内容利用参照加入本申请中,作为本申请的记述的一部分。日本专利早期公开的特愿2003-322092申请日2003年9月12日
技术介绍
在习知技术中,对半导体电路等电子元件进行测试的测试装置,藉由在电子元件上施加一定的图案而进行测试。测试装置包括向电子元件施加预先所确定的图案和测试速率等的测试模组、用于控制测试模组向电子元件施加图案等的时序的时序控制模组。测试模组依据应测试的电子元件的接脚数设置有多数个,而且时序控制模组设置有多数个象用于产生测试开始时序的模组、用于产生图案施加时序的模组等这样的模组。在习知技术中,时序控制模组依据其机能而分别构成。与本专利技术相关的专利文献等,因为现在没有认识,所以省略其说明。如前所述,在习知技术中,因为是将时序控制模组依据其机能而构成,所以需要制造多数个种类的时序控制模组,导致制造成本的上升。而且,各个时序控制模组的通用性低,使电子元件的测试效率低下。为了解决这种问题,考虑在各个模组设置能够实现全部机能的构成,并使各模组的机能可以转换。藉此,可只由同种本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试装置,测试一电子元件,该测试装置包括:多数个测试模组,把用于测试该电子元件的测试图案供给至该电子元件;一基准时脉产生部,用以产生一基准时脉;一产生电路,根据该基准时脉,产生使该些测试模组动作的时序信号;   多数个时序提供部,对应该些测试模组而设置,并将该时序信号供给到对应的该测试模组,以及一控制部,使各该测试模组依照该时序信号输出该测试图案的时序约略相同,以此方式控制该些时序提供部供给到各该测试模组的该时序信号的相位。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员:上林弘典谷塚浩一
申请(专利权)人:爱德万测试株式会社
类型:发明
国别省市:JP[日本]

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