【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术是有关于对半导体元件等电子元件所输出的输出信号的波形加以测定的测定装置、测定方法、及试验装置。 对于由参照可并入为参考文献有所指定的申请国，可参照下述专利申请案所记载的内容，将其内容并入本案参考做为本案记载的一部分。 日本专利特愿2004-029751申请日期2004年2月5日
技术介绍
在公知技术中，为加以判定半导体元件等的电子元件的良否，使用加以测定电子元件的输出信号波形的测定装置。在输出信号的波形测定中，可举例如信号的起伏变动(jitter)的测定，或输出信号的波形的变化点的测定。 公知的测定装置，例如在实行起伏变动测定的场合，在电子元件以连续加以输出复数次输出信号，而检测在所定相位的各输出信号的信号准位，并将所检测的信号准位与预先所定的信号准位加以比较。并且，使检测出信号准位的相位加以顺次变化，在每一个各自的相位藉由求得比较结果为通过(pass)(或不及格(fail))的次数，以测定输出信号的起伏变化。在此种场合，测定装置产生触发(strobe)信号，此触发信号是为了决定所检测的输出信号的信号准位的相位，并以顺次变化该触发信号的相位而实行测定。 又，在实行输出信号的波形的变化点的测定的场合，公知的测定装置是对电子元件以连续加以输出复数次输出信号的方式，在每一个各自的输出信号使触发信号的相位加以变化，并将比较结果从通过变化至不及格(或从不及格至通过)的相位，作为波形的变化点而加以检测。 又，作为对于实行起伏变动的测定的测定装置，已揭露有使用所定相位间隔的两个触发信号的测定装置(例如参照专利文献1)。该测定装置是藉由定相位间隔的两...
【技术保护点】
一种测定装置，其特征在于，是加以测定一电子元件所输出的一输出信号波形的测定装置，包括：一触发生成部，是以同步于该输出信号而生成一第一触发信号，及与该第一触发信号相位为相异的一第二触发信号；一触发位移部，每次在该电子元件使该输出信号以复数次输出时，使该第一触发信号的相位、及该第二触发信号的相位加以顺次变化；一第一时序比较部，在该第一触发信号的各相位以该些复数次取得该输出信号的信号准位；一第二时序比较部，在该第二触发信号的各相位以该些复数次取得该输出信号的信号准位；一第一计数器，将该第一时序比较部所取得的各该输出信号的信号准位为Ｈ准位的次数，在每个该第一触发信号的相位加以计数；一第二计数器，将该第二时序比较部所取得的各该输出信号的信号准位为Ｌ准位的次数，在每个第二触发信号的相位加以计数；以及一不及格记忆体，使该第一计数器所计数的次数、及该第二计数器所计数的次数加以存储。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】JP 2004-2-5 029751/2004的独立项所述的特征的组合可加以达成。又依附项是加以规定本发明的更有利的具体例。 为解决上述课题，在本发明的第一实施例是，为提供测定电子元件所输出的输出信号波形的测定装置，其包括触发生成部、触发位移(shift)部、第一时序(timing)比较部、第二时序比较部、第一计数器(counter)、第二计数器、及不及格记忆体(fail memory)。其中，触发生成部是以同步于输出信号加以产生第一触发信号，及与第一触发信号相位为相异的第二触发信号。触发位移部是每次在电子元件将输出信号加以复数次输出时，使第一触发信号的相位、及第二触发信号的相位以顺次加以变化。第一时序比较部是在第一触发信号的各相位加以复数次取得输出信号的信号准位。第二时序比较部是在第二触发信号的各相位加以复数次取得输出信号的信号准位。第一计数器是将第一时序比较器所取得的各输出信号的信号准位为H准位的次数，以在每个第一触发信号的相位加以计数。第二计数器是将第二时序比较部所取得的各输出信号的信号准位为L准位的次数，在每个第二触发信号的相位加以计测。不及格记忆体是将第一计数器所计测的次数、及第二计数器所计测的次数加以存储。 测定装置也可更包括运算部，依据第一计数器在每个相位所计数的次数、及第二计数器在每个相位所计数的次数，加以算出输出信号波形的变化点的相位、起伏变动量、及起伏变动分布。 触发位移部也可以第一触发信号与第二触发信号的相对相位加以变化的方式，使第一触发信号的相位及第二触发信号的相位加以顺次变化。 触发位移部也可使第一触发信号的相位，从包含输出信号波形的变化点的相位的相位范围的一端，向相位范围的他端加以顺次变化，且使第二触发信号的相位从相位范围的他端，向相位范围的一端加以顺次变化。 触发位移部也可使第一触发信号的相位与第二触发信号的相位，以大略同一变化量加以顺次变化。 触发位移部在第一触发信号的各相位顺次所计测的输出信号的信号准位为H准位的次数，成为复数次中的全部，并且在第二触发信号的各相位顺次所计数的输出信号的信号准位为L准位的次数，成为复数次中的全部的场合，也可加以停止第一触发信号及第二触发信号的相位的变化。 测定装置也可更包括测定装置控制部，在每次电子元件使输出信号复数次输出时，使第一计数器及第二计数器的计数值，以与第一触发的相位及第二触发的相位对应而存储于不及格记忆体，并且使第一计数器及第二计数器的计数值加以重置(reset)。 在本发明的第二实施例是提供对电子元件所输出的输出信号的波形加以测定的测定方法，其包括触发生成阶段、触发位移阶段、第一时序比较阶段、第二时序比较阶段、第一计数阶段、第二计数阶段、及存储阶段。其中，触发生成阶段是以同步于输出信号加以生成第一触发信号，及与第一触发信号相位为相异的第二触发信号。触发位移阶段是每次在电子元件将输出信号加以复数次输出时，使第一触发信号的相位，及第二触发信号的相位以顺次加以变化。第一时序比较阶段是在第一触发信号的各相位加以复数次取得输出信号的信号准位。第二时序比较阶段是在第二触发信号的各相位加以复数次取得输出信号的信号准位。第一计数阶段将第一时序比较阶段所取得的各输出信号的信号准位为H准位的次数，在每个第一触发信号的相位加以计数。第二计数阶段将第二时序比较阶段所取得的各输出信号的信号准位为L准位的次数，在每个第二触发信号的相位加以计数。存储阶段是将在第一计数阶段所计数的次数、及将在第二计数阶段所计数的次数加以存储。 测定方法也可更包括运算阶段，是依据在第一计数阶段每个相位所计测的次数，及在第二计数阶段每个相位所计数的次数，加以算出输出信号波形的变化点的相位、起伏变动量、及起伏变动分布。 触发位移阶段可以第一触发信号与第二触发信号的相对相位加以变化的方式，将第一触发信号的相位及第二触发信号的相位加以顺次变化。 触发位移阶段也可使第一触发信号的相位，从包含输出信号波形的变化点的相位的相位范围的一端，向相位范围的他端加以顺次变化，且使第二触发信号的相位，从相位范围的他端向相位范围的一端加以顺次变化。触发位移阶段也可使第一触发信号的相位与第二触发信号的相位，以大略同一变化量加以顺次变化。 在本发明的第三实施例，是提供一种加以试验电子元件的试验装置，其包括控制部与测定装置。其中，控制部是生成试验电子元件的试验信号，以供给于电子元件。测定装置是测定电子元件的输出信号的波形，加以判定电子元件的良否，测定装置包括触发生成部、触发位移部、第一时序比较部、第二时序比较部、第一计数器、第二计数器、不及格记忆体、及运算部。其中，触发生成部是以同步于输出信号加以生成第一触发信号，及与第一触发信号相位为相异的第二触发信号。每次在电子元件使输出信号以复数次输出时，触发位移部是使第一触发信号的相位，及第二触发信号的相位加以顺次变化。第一时序比较部在第一触发信号的各相位加以复数次取得输出信号的信号准位。第二时序比较部在第二触发信号的各相位加以复数次取得输出信号的信号准位。第一计数器是使第一时序比较部所取得的各输出信号的信号准位为H准位的次数，在每个第一触发信号的相位加以计数。第二计数器是使第二时序比较部所取得的各输出信号的信号准位为L准位的次数，在每个第二触发信号的相位加以计数。不及格记忆体是将第一计数器所计数的次数，及第二计数器所计数的次数加以存储。运算部是依据第一计数器在每个相位所计数的次数、及第二计数器在每个相位所计数的次数，加以算出输出信号波形的变化点的相位、起伏变动量、及起伏变动分布，并判定电子元件良否。 尚且，上述的发明概要是并非列举本发明的必要特征的全部，此等特征群的次组合(subcombination)也可成为发明。 依据本发明时，由一次试验可测定输出信号波形的变化点，起伏变动量、及起伏变动分布。 为让本发明的上述和其他目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附图式，作详细说明如下。附图说明图1是表示关于本发明的实施例的试验装置300的构成的一例图。 图2是表示电子元件200所输出的输出信号的一例图。 图3(A)、(B)是表示在记忆部60的计数结果的一例图。 图3(A)是在第一触发信号的各相位，表示输出信号的信号准位为非H准位(不及格)的次数，图3(B)是在第二触发信号的各相位，表示输出信号的信号准位为非L准位(不及格)的次数。 图4是表示电压准位比较器10、时序比较器20、及时序产生器80的构成的一例图。 图5是表示逻辑比较器40、记忆部60、及控制部70的构成的一例图。 10电压准位比较器 12比较器14比较器 20时序比较器21触发生成部 22、24、26、28可变延迟电路30、32、34、36时序比较器 40逻辑比较器42、44、55互斥逻辑或电路 46、48逻辑及电路54、56逻辑或电路 57逻辑及电路60记忆部 62第一计数器64第二计数器 68选择部70控制部 72不及格记忆体73运算部 80时序产生器82触发位移部 83逻辑及电路 84、86触发器 90加算器92测定装置控制部 94波形成形器96图案产生器 100测定装置200电子元件 300试验装置具体实施方式以下虽以发明的实施例加以说明本发明，以下的实施例并非加以限定本发明，又在实施例中说明特征的组合的全部，也并非限定为本发明的解决手段所必须。 图1是表示关于本发明的实施例的试验装置300的结构的一例图。试验装置300是判定半导体元件等的电子元件200的良否的装置，试验装置300包括控制部70及测定装置100。控制部70是将试验信号供给于电子元件200，又实行测定装置100的控制。试验信号使电子元件200加以动作，并是使电子元件200输出了输出信号的信号。测定装置100是加以测定半导体元件等的电子元件200所输出的输出信号的波形的测定装置，测定装置100包括电压准位比较器10、时序比较器20、逻辑比较器40、记忆部60及时序产生器80。电压准位比较器10、时序比较器20、逻辑比较器40、及记忆部60是对应于电子元件200的复数插栓(pin)各自加以设复数个。 电压准位比校器10接受电子元件200所输出的输出信号，并且其输出将所接受的输出信号的电压准位与预先所给定的电压准位加以比较的比较结果。例如，电压准位比较器10在输出信号的电压准位比所给定的电压准位高的场合是输出成为H逻辑的数字(digital)信号，而输出信号的电压准位比所给定的电压准位小的场合是输出成为L逻辑的数字(digital)信号。 时序比较器20是以时序产生器80所给与的触发信号(strobe signal)的时序加以取得从电压准位比较器10所给与的数字信号。时序产生器80是按照控制部70所给与的信号而产生触发信号以供给到时序比较器20。电压准位比较器10、时序比较器20、及时序产生器80的详细构成是在图4加以后述。 逻辑比较器40是将时序比较器20所取得的值与从控制部70所给与的期待值信号加以比较，并将比较结果供给到记忆(memory)部60。并且，记忆部60是在从控制部70接受将比较结果加以存储的指示的场合，将在逻辑比较器40的比较结果加以存储。控制部70更具有以产生试验图案(testpattern)的图案产生器、及作为依据试验图案产生试验信号而供给到电子元件200的波形成形器的机能。逻辑比较器40、记忆部60、及控制部70的详细构成是在图5加以后述。 图2是表示电子元件200所输出的输出信号的一例图。在图2中，纵轴是表示电压准位，横轴是表示时间。首先，时序产生器80是以同步于输出信号的方式产生第一触发信号(STRB1)及与第一触发信号的相位为相异的第二触发信号(STRB2)。此时，时序产生器80在包含输出信号波形的变化点的相位范围终点的相位加以产生第一触发信号，其并在相位范围起点的相位加以产生第二触发信号。包含输出信号波形的变化点的相位范围是依据电子元件200的特性等，而可容易加以决定。 又，在电子元件200使输出信号以所定复数次输出的间，时序产生器80对于输出信号以不变化相对相位，并以同步于输出信号的方式加以输出第一触发信号及第二触发信号。并且，时序比较器20是各自加以取得复数次输出的输出信号在第一触发信号及第二触发信号的时序的值。 又，时序产生器80是每当电子元件200加以输出复数次输出信号时，使第一触发信号的相位、及第二触发信号的相位加以顺次变化。在本例中，时序产生器80是将第一触发信号的相位从相位范围的终点向相位范围的起点加以顺次变化，并将第二触发信号的相位从相位范围的起点向相位范围的终点加以顺次变化。在此，时序产生器80是以使第一触发信号的相位与第二触发信号的相位以同一变化量加以顺次变化为宜。并且，时序比较器20是在各触发信号的各相位中，复数次取得输出信号的值。 逻辑比较器40是加以判定在第一触发信号的各相位以复数次取得的输出信号的值，其是否为相较于比较电压VOH而言是较高的H准位。又，逻辑比较器40是加以判定在第二触发信号的各相位以复数次取得的输出信号值，其是否为相较于比较电压VOL而言是较小的L准位。 并且，记忆部60是，在第一触发信号的各相位中加以计数输出信号的信号准位为H准位的次数，并在第二触发信号的各相位中加以计数输出信号的信号准位为L准位的次数，且将各以对应于触发信号的相位加以存储。又，在其他例，记忆部60也可以是在第一触发信号的各相位中加以计数输出信号的信号准位为非H准位的次数，并在第二触发信号的各相位中加以计数输出信号的信号准位为非L准位的次数，且将各以对应于触发信号的相位加以存储。 图3(A)、(B)是表示在记忆部60的计数结果的一例。图3(A)是在第一触发信号的各相位，表示输出信号的信号准位为非H准位(不及格)的次数，图3(B)是在第二触发信号的各相位，表示输出信号的信号准位为非L准位(不及格)的次数。 于图2所示在测定上升边缘的波形时，使第一触发信号从相位范围终点至相位范围起点顺次相位位移而加以测定的场合，如图3(A)所示，在第一触发信号的某相位T2开始计数不及格。也就是，相位T2是输出信号由起伏变动在落后最大的场合，表示H变化点的相位。并且，伴随于第一触发信号的相位接近相位范围起点，依照起伏变动分布的不及格次数加以增加。并且，由起伏变动相位超前为最大的场合，即在输出信号值不通过的相位T1，以复数次取得的输出信号值的全部成为不及格。 又，以同样使第二触发信号从相位范围起点至相位范围终点以顺次相位位移加以测定的场合，如图3(B)所示，在第二触发信号的某相位T3开始计数不及格，伴随于第二触发信号的相位接近于相位范围终点不及格次数加以增加，在某相位T3，以复数次取得的输出信号值的全部为不及格。 在本例的测定装置100是依据如图3(A)及图3(B)所示的测定结果，加以算出输出信号的变化点的相位、起伏变动量、及起伏变动分布。例如，输出信号的起伏变动量是，由起伏变动表示相位落后最大的相位T2与由起伏变动表示相位的超前最大的相位T3的差分加以算出。又，起伏变动分布是，可从图3(A)及图3(B)所示的次数分布加以求之。又，测定装置100是可使开始计数不及格的第一触发信号的相位T2，作为输出信号的H准位的变化点而加以检测，也可以使开始计数不及格的第二触发信号的相位T3，作为输出信号的L准位的变化点而加以检测。又，也可使相位T2与相位T3的中间点作为输出信号的变化点而加以检测。利用本例的测定装置100时，由一次测定可加以测定输出信号的起伏变动量、起伏变动分布、及变化点的相位。又，藉由两个触发信号，可加以同时测定对于比较电压VOH的通过不及格(pass fail)，与对于比较电压VOL的通过不及格，因此，可以更好的效率加以实行测定。 又在本例是，虽对输出信号的上升边缘加以测定的场合加以说明，对于输出信号的下降边缘，也可由同样的动作加以测定。例如，在使输出信号的下降边缘加以测定的场合，时序产生器80是使第一触发信号的相位从相位范围的起点向相位范围的终点加以顺次变化，并使第二触发信号的相位从相位范围的终点向相位范围的起点以顺次变化，而加以测定。又，时序产生器80虽然使第一触发信号的相位从相位范围的终点向相位的起点顺次变化，并使第二触发信号的相位从相位范围的起点向相位范围的终点顺次变化而加以测定的场合，在逻辑比较器40中，藉由在第一触发信号的各相位以复数次取得的输出信号值，加以判定是否为相较于比较电压VOL而言为较小的L准位，藉由在第二触发信号的各相位以复数次取得的输出信号值，加以判定是否为相较于比较电压VOH而言为较大的H准位，可以同样加以测定。 图4是表示电压准位比较器10、时序比较器20、及时序产生器80的构成结构的一例图。电压准位比较器10具有比较器(comparator)12及比较器14。 比较器12是接受电子元件200的输出信号与预先所定的比较电压VOH，并将输出信号变换于数字信号而加以输出。在本例中，比较器12是在输出信号的电压准位大于等于比较电压VOH的场合输出成为通过(L逻辑)的数字信号，在输出信号的电压准位小于比较电压VOH的场合输出成为不及格(H逻辑)的数字信号。又，比较器14是接受电子元件200的输出信号与预先所定的比较电压VOL，并使输出信号变换于数字信号而加以输出。在本例中，比较器12是输出信号的电压准位小于等于比较电压VOL的场合输出成为通过(L逻辑)的数字信号，在输出信号的电压准位大于比较电压VOL的场合输出成为不及格(H逻辑)的数字信号。 时序产生器80是具有使第一触发信号的相位加以位移的第一触发位移部82-1、及使第二触发信号的相位加以位移的第二触发位移部82-2。第一触发位移部82-1包括逻辑及电路83(Logic And circuit)、触发器84(flip-flop)、触发器86、加算器88、及加算器90。在本例，第一触发位移部82-1及第二触发位移部82-2生成用以控制触发信号的相位的相位信号。 逻辑及电路83是按照从控制部70所给与的负载信号，加以控制是否使SCAN资料供给于触发器84。在此，给与于逻辑及电路83的SCAN资料是表示第一触发信号的相位位移的解析能力的资料。在触发器84中，经由逻辑及电路83而施加SCAN资料，按照从控制部70所给与的控制时标(clock)加以输入负载信号的场合，将SCAN资料供给于加算器88。在此，控制时标是同步于电子元件200所输出的输出信号的时标。 在触发器86是供给加算器88所输出的资料，按照从控制部70所给与的控制时标，将所接受的资料供给于加算器88。加算器88是将从触发器84所接受的SCAN资料与从触发器86所接受的资料进行加算，并将加算后的资料输出于加算器90。又，在触发器84及触发器86中，从控制部70加以给与为了使存储值加以初期化的清除信号(clear signal)。在此，负载信号及清除信号是以图案程式(pattern program)上所述的时序，与控制时标以同步方式加以给与。 并且，在加算器90是，给与表示第一触发信号的初期相位的第一初期值，加以输出在该第一初期值加算从加算器88所接受资料的资料。也就是，第一触发位移部82-1是，每在控制部70使负载信号加以输入时，使从所给与的第一初期值以顺次增加SCAN资料值的相位信号加以输出。又，第一触发位移部82-1也可具有替代加算器90的减算器。此种场合，第一触发位移部82-1是，每在控制部使负载信号加以输入时，使从所给与的第一初期值以顺次减少SCAN资料值的相位信号加以输出。 又，第二触发位移部82-2具有与上述第一触发位移部82-1的构成同一的构成，并且，施加同一SCAN资料时，而给予与第一初期值为相异的第二初期值。又...
【专利技术属性】
技术研发人员：山根知之，新岛启克，
申请(专利权)人：爱德万测试株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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