半导体测试装置的测试程序生成方法制造方法及图纸

本发明专利技术是关于一种半导体测试装置的测试程序生成方法，通过本发明专利技术，即使是缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序，且可以容易地进行测试程序的更改、校正。本发明专利技术中，利用通常习惯使用的应用软件之一的表格计算软件的微程序，创建测试程序，由此，即使是缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以易于生成测试程序。而且，当进行测试程序的更改、校正时，仅对各表格的设定条件进行更改、校正即可，因此，可以容易地进行测试程序的更改、校正。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种测试程序生成方法，使用所述方法可以生成使半导体测试装置运作的测试程序(test program),本专利技术尤其涉及一种半导体测 试装置的测试程序生成方法，使用所述方法，即使缺乏半导体测试装置知 识的用户，也可以容易地生成测试程序。
技术介绍
为了将性能及品质得到保证的半导体器件制成成品上市，而必须在制 造部门、检查部门的各工序中抽取半导体器件的全部或一部分，检查其电 特性。半导体测试装置如下述般检查电特性，对被测定半导体器件赋予规 定的测试用图形数据，读取由此而获得的被测定半导体器件的输出数据，根 据被测定半导体器件的输出数据，针对被测定半导体器件的基本运作及功 能是否存在问题，解析不良信息，检查电特性。为了进行所述检查，必须在每一种半导体器件中生成在半导体测试装 置中需要执行的测试程序，而且，当半导体测试装置不同时，必须对每一 种所述机型生成测试程序。通常，测试程序包含作为测试对象的半导体器 件的引脚分组信息、及测试项目的处理顺序等。作为如上所述用以生成测试程序的装置，众所周知的是如日本专利特 开平10 - 48300号公《|艮所示的测试程序创建方式。所述测试程序创建方式 是通过输入半导体器件的个别数据，而将测试对象引脚的分组或其他半导 体器件个别信息放入测试程序的表格(form)中，创建半导体器件的个别测 试程序。而且，如日本专利特开2000 - 187064号公报所示的测试组创建装置及 其创建系统也为众所周知。所述测试组创建装置及其创建系统涉及半导体 器件的测试对象引脚的分组方法，预先定义好引脚的分组条件，使之与更 复杂的条件、即半导体器件复杂化且引脚数增加之类条件相对应，准确无 误地短时间内创建测试组。所述
技术介绍
的情况存在如下问题，测试项目也与半导体器件同样变 得复杂化，所述测试项目在每一个半导体器件中都不相同时，则必须在每 一个半导体器件中创建测试程序，因此需要花费劳力和时间进行创建。而且，已生成的测试程序需要通过人力进行调整、更改，因此，用户必须具 有关于各半导体装置的高度专业知识。进而，先前由于可以通过人力进行调整、更改，因此，在进行程序更改、修订时，可能会混入人为错误，而且， 由于通过人力进行更改、修订，测试规格与测试程序的关系变得无法以1 对1进行对应。为了在所述状态下^f吏测试规格与测试程序的关系相对应，则 必须从测试程序向测试规格进行反向变换，当没有反向变换的构造时，更改 已生成的程序后，则将无法返回测试规格。进而，存在如下问题，即，在创 建测试程序时存在个人情况差别，因此，在对他人所创建的测试程序进行 实施或解析等时，则需要耗费很多时间。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种测试程序生成方法，使用所述方法，即使 缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序，且可以容 易地进^f亍测试程序的更改、；f交正。本专利技术的测试程序生成方法的第1特征是，所述方法是生成使半导体 测试装置运作的测试程序的测试程序生成方法，在每个测试项目中具备多个包含用以输入测试条件的格式(format)的表格计算软件(spreadsheet) 的表格，在生成所述测试程序时，从所述多个表格中选择规定的表格，将 规定的设定条件输入到所选择的表格的格式中，执行所述表格计算软件的 宏程序(macro program),由此，生成所述身见定的测试程序。所述方法中，利用通常习惯使用的应用软件(application software) 之一的表格计算软件的微程序(microprogram),创建测试程序，由此，即 使缺乏半导体测试装置知识的用户，也可以容易地生成测试程序。而且，当 进行测试程序的更改、校正时，仅对各表格的设定条件进行更改、校正即 可，因此，可以容易地进行测试程序的更改、校正。本专利技术的测试程序生成方法的第2特征如所述第1特征所述的测试程 序生成方法，其中，根据预先已准备的基本表格来创建所述多个表格。所 述方法中，根据基本表格来生成与各测试项目对应的各表格的构成，因此， 仅对所述基本表格力。以理解，即可容易地对其他测试项目的构成加深理解。本专利技术的测试程序生成方法的第3特征如所述第1特征所述的测试程 序生成方法，其中，使用MICR0S0FTEXCE1^作为所述表格计算软件。所述方 法中，使用利用最多的MICROSOFT EXCEI^f乍为表格计算软件。本专利技术的测试程序生成方法的第4特征如所述第1特征所述的测试程 序生成方法，其中，通过执行所述宏程序而生成的测试程序显示在所述表 格计算软件中的另外的表格中。所述方法中，将通过执行表格计算软件的宏程序而生成的测试程序显示在相同的表格计算软件的表格中，由此，使所 述操作变得简单。附图说明图1是本专利技术的一个实施形态相关的测试程序生成方法的概略构成的 示意图。图2是图1的第1电源设定部及第2电源设定部的详细示意图。 图3是图1的测试速率设定部及类别设定部的详细示意图。 图4是图1的继电器设定部的详细示意图。图5是图1的输入引脚电压设定部(第1处理部，第1 Care部)的详 细示意图。图6是图1的输入引脚时序设定部(第1处理部)的详细示意图。 图7是图1的LCD (liquid crystal display,液晶显示器)设定部及 lodstrb设定部的详细示意图。图8是图1的输出引脚设定部的详细示意图。图9是图1的IOVCC (输入输出供电电压)倍率设定部、VCC (供电电 压)倍率设定部、以及VDD (工作电压)设定部的详细示意图。图IO是图1的图形设定部(第1处理部)的详细示意图。图ll是图1的输入引脚电压设定部(第2处理部，第2Care部)、以 及输入引脚时序设定部(第2处理部)的详细示意图。图12是图1的电源序列设定部的详细示意图。图13是使用图1的基本表格而创建的开路(open)测试的1例示意图。 图14是使用图1的基本表格而创建的短路(short )测试的1例示意图。.图15是图13的开路(open)测试的程序创建表中程序表的一例示意 图，所述程序表表示操作执行按钮时所创建的测试程序的一例。 10:第1电源设定部 11:第2电源设定部 12:测试速率设定部 13:类别设定部 14:继电器设定部15:输入引脚电压设定部(第1处理部)16:输入引脚时序设定部(第1处理部)17: LCD设定部18: lodstrbi殳定部19:输出引脚设定部20: IOVCC倍率设定部21: VCC倍率设定部22: VDD设定部23:图形设定部(第1处理部)24:输入引脚电压设定部(第2处理部)25:输入引脚时序设定部(第2处理部)26:图形设定部(第2处理部)27:电源序列设定部28:测试图形条件表29:来历表30: LCD-DC (Direct Current,直流)i殳定部 31:执行按钮具体实施方式以下，使用图式说明本专利技术的优选具体例。图1是本专利技术的一实施形 态的测试程序生成方法的概略构成的示意图，表示在作为应用^:件的 MICROSOFT EXCEI^中构筑测试程序创建系统的情况。图1表示已预先准备 的基本(表格，form)表的一例。图1的基本表格包括第1电源设定部10、第2电源设定部11、测试速 率设定部12、类别设定部13、继电本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种测试程序生成方法，生成用以使半导体测试装置运作的测试程序，且所述测试程序生成方法包括如下步骤：启动表格计算软件的步骤，其启动具备多个表格的表格计算软件，该表格是由用以输入测试条件的规定格式所构成，每一测试项目具备有表格； 从已通过所述步骤启动的所述表格计算软件的所述多个表格中，选择生成所述测试程序时所必须的表格的步骤；将规定的设定条件输入到已通过所述步骤选择的表格的格式中的步骤；执行所述表格计算软件的宏程序的步骤；以及对应于所述宏程序 的执行，生成用以使所述半导体测试装置运作的测试程序的步骤。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：菅原洋，
申请(专利权)人：株式会社日立高科技工程服务，
类型：发明
国别省市：JP[日本]