微小结构体的探针卡、微小结构体的检查装置以及检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针（２）与各个电极焊盘（ＰＤ）接触，然后经由继电器（３０）连接一对探针（２）和烧穿用电源（５０）。然后，从烧穿用电源（５０）向一对探针（２）中的一个探针（２）施加电压。当逐渐升压时，通过烧穿现象弄破一对探针（２）之间的氧化膜，从而在一对探针（２）之间会有电流流过，探针（２）与电极焊盘（ＰＤ）之间电导通。然后，经由继电器（３０）将一对探针（２）从烧穿用电源（５）切换到测定部（４０）一侧而使其与测定部（４０）电结合。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及用于检查诸如MEMS (Micro Electro Mechanical Systems,微机电系统)等微小结构体的探针卡、检查装置、检查方法、以及检査程
技术介绍
近年来，作为使用半导体微细加工技术等来集成机械、电子、光、化 学等多种功能的器件的MEMS受到了特别的关注。截至目前，作为实用化 的MEMS技术，例如将MEMS器件安装在作为微型传感器的加速度传感 器、压力传感器、或空气流量传感器等汽车、医疗用的各种传感器上。此 外，通过在喷墨打印头上采用该MEMS技术，能够增加喷出墨水的喷嘴数 量并准确地进行喷墨，从而可以提高图像质量并实现高速印刷。另外，作 为普通的MEMS器件，还公知有在反射型投影仪中使用的微镜阵列等。此外，今后期待着通过开发出利用MEMS技术的各种传感器或致动器 而扩展应用到光通信和移动器件、计算机外围设备、生物分析和移动用电 源上。在技术调査报告第3号(经济产业省产业技术环境局技术调查室 制造产业局产业机械科发行平成15年3月28日)中，以与MEMS相关 的技术的现状和课题为议题，介绍了各种MEMS技术。另一方面，随着MEMS器件的发展，由于是微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微小结构体的探针卡，用于检查具有在基板上形成的可动部分的至少一个微小结构体的特性，其特征在于，为了利用烧穿现象使设置在所述微小结构体上的检查用电极与设置在所述探针卡上的探针导通，针对一个所述检查用电极设置两个探针。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥村胜弥，八壁正巳，池内直树，
申请(专利权)人：奥克泰克有限公司，东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]