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本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针（２）与各个电极焊盘（ＰＤ）接触，然后经由继电...该专利属于奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥克泰克有限公司;东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针（２）与各个电极焊盘（ＰＤ）接触，然后经由继电...