本发明提供了一种高精度且低成本的布图图案形成装置。该装置以（１００）晶向的单晶硅为母材，通过光刻工序形成具有斜面部和布图材料导引槽的梳齿部。以与形成导引槽相同的工序形成该梳齿部的各个梳齿共用的储存布图材料的储液部。在形成斜面部时，可以通...

由于随着高速化，布线结构的细微化和薄膜化发展迅速，布线层已变得非常薄，所以，如果像以往那样对探针施加接触载荷来进行检查的话，则探针不仅会戳破氧化膜，还会穿透布线层，并且还会由于来自探针的集中应力而损伤布线层或绝缘层。相反，如果降低接触载...

本发明提供一种具有可动部的微小结构体的检查方法，该检查方法不会损伤探针或检查用电极，并通过在探针与检查用电极接触的过程中抑制针压的影响来进行高精度的检查。当对微小结构体进行检查时，首先使一对探针（２）与各个电极焊盘（ＰＤ）接触，然后经由...

本发明提供了一种以简易方式高精度地检验具有微小可动部分的结构体的检验装置、检验方法及检验程序。在本发明中，从扬声器（２）输出测试声波。随着从扬声器（２）输出的作为压缩波的测试声波的到达、即空气振动，检测芯片（ＴＰ）的微型结构体、即三轴加...