电子部件试验装置制造方法及图纸

一种为了试验被试验电子部件的电气特性，把被试验电子部件向接触部的插座（３０１ａ）传送，使上述被试验电子部件电气性连接该插座的电子部件试验装置，具备：拍摄插座的摄像单元（３１４）；存储单元（３１９），存储由摄像单元拍摄取得的、没有安装被试验电子部件状态下的插座的基准图像数据；残留判定单元（３１８），由摄像单元取得插座的检查图像数据的同时，从存储单元读出基准图像数据，把这些检查图像数据与基准图像数据进行比较，判定在插座中是否残留着被试验电子部件。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及能够检测在插座上是否残留被试验电子部件(以下也称为IC器件。)的电子部件试验装置。
技术介绍
在IC器件等电子部件的制造过程中，为了试验所制造的电子部件的性能或者功能，使用电子部件试验装置。作为一个现有例子的电子部件试验装置，具备进行IC器件试验 的测试部、把试验前的IC器件送入到测试部的装栽部、从测试部取 出并分类试验完毕的IC器件的卸载部。而且，在装载部中，设置能 够在装载部与测试部之间往复运动的緩沖台；具备可以吸附保持IC 器件的吸附部，能够在从定制托盘到加热板，从加热板到緩沖台的区 域中移动的装载部传送装置。另外，在测试部中，设置具备吸附保持 IC器件，能够压向测试头的插座的接触臂，能够在测试部的区域中移 动的测试部传送装置。装载部传送装置在由吸附部把收容在定制托盘中的IC器件吸附保持，放置到加热板上以后，再次由吸附部吸附保持被加热到预定温度的加热板上的IC器件，放置到緩沖台上。而且，放置IC器件的緩冲台从装载部移动到测试部一侧。接着，测试部传送装置通过接触臂吸附保持緩沖台上的IC器件，并压向测试头的插座，使IC器件的外部端子(器件端子)与插座的连接端子(插座端子)接触。在其状态下，向ic器件施加从试验机本体通过电缆供给到测试 头上的测试信号，通过经由测试头以及电缆把从IC器件读出的应答 信号传送到测试机本体，测定IC器件的电气特性。然而，在上述的测试部传送装置的一系列动作中，在IC器件向插座的按压动作失败，或者插座上的IC器件吸附动作失败的情况下， IC器件依旧残留在插座上继续以后的动作。如果在这种状态下为了进 行下一个IC器件的试验，把IC器件压向插座，则由于在该插座上残 留前一个IC器件，因此不能够把下一个IC器件压向插座，无法进行正常的试验。这种"IC器件重叠"的不理想状况不仅是不能正常进行IC器件 试验的问题，还有可能把前一个IC器件的试验结果错误地识别成下 一个IC器件的试验结果，错误分类IC器件。另外，由于重叠按压IC 器件，还有可能损伤插座或者IC器件。以往，为了应对这样的问题，在IC器件的吸附错误等发生时鸣 响警报，提醒操作人员，操作人去除IC器件，但仅由人的目视检查并不能完全解决重叠放置的不理想状况。另外，有时为了进行电子部件试验装置的维修，把IC器件放置在插座上进行保养作业，而在保养作业结束后，也有忘记取下所使用的IC器件的情况，这样的情况下也将产生同样的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供能够检测在插座上是否残留被试验电子 部件的电子部件试验装置。为了达到上述目的，本专利技术的电子部件试验装置，为了试验被试 验电子部件的电气特性，把被试验电子部件传送到接触部的插座上，使上述被试验电子部件与该插座电气性连接，其特征是具备拍摄上 述插座的摄像单元；存储单元，存储由上述摄像单元拍摄取得的、没 有安装上述被试验电子部件状态下的上述插座的基准图像数据；残留 判定单元，在由上述摄像单元取得上述插座的检查图像数据的同时， 从上述存储单元读出上述基准图像数据，把这些检查图像数据与基准 图像数据进行比较，判定在上述插座中是否残留被试验电子部件。在本专利技术中，把由摄像单元拍摄的实际插座的图像数据(检查图 像数据)与预先拍摄并存储到存储单元中的、没有被试验电子部件的插座的图像数据(基准图像数据)进行比较，判定在插座上是否残留 着被试验电子部件。由此，即使操作人员没有通过目视确认插座，也 能够自动判定在插座上是否残留着被试验电子部件。特别是，由于根 据图像数据能够容易地识别被试验电子部件的有无，因此判定处理时 间短，另外还没有进行误判定的可能性。本专利技术的电子部件试验装置，优选为具备当由上述残留判定单元 判定为在上述插座上残留着被试验电子部件时，提醒其含义的报警单元o依据本专利技术，能够在插座上残留着被试验电子部件时，使操作人 员确实地知晓，由此能够预先防止不正确试验的实施、插座或者被试 验电子部件的损伤。本专利技术的电子部件试验装置，优选为具备传送单元，其保持上述 被试验电子部件，并将其压向上述插座，上述电子单元安装在上述传 送单元上。通过把摄像单元安装在传送单元上，不需要另外设置把摄像单元 传送到插座位置的装置。在本专利技术的电子部件试验装置中，没有特别限定判定在插座上是 否残留着被试验电子部件的定时。例如，由于在将上述被试验电子部件压向插座的动作中发生异常 的情况下，或者上述插座上的被试验电子部件的吸附动作中发生了异 常的情况下，在插座上残留着被试验电子部件的可能性高，因此优选 在该定时内进行判定。另外，由于在开闭设置在电子部件试验装置上的保养检查用门的 情况下，忘记在插座上放置在保养作业中使用的电子部件的可能性 高，因此优选在该定时内进行判定。另外，由于在使电子部件试验装置的主电源接通(ON)的情况 下或者在执行电子部件试验装置的初始化的情况下，丟失以前的控制 状态的存储，由此在插座上残留着被试验电子部件的可能性高，因此 优选在该定时内进行判定。另外，由于在把被试验电子部件批次起始的被试验电子部件传送 到插座之前，有批次之间的安排时间，能够有效地灵活运用该时间， 因此优选在该定时内进行判定。另外，由于在把保持在电子部件试验装置上设置的传送单元上的 被试验电子部件全部排出到卸载部的托盘上的情况下，虽然不是批次 的结束，然而至下一个被试验电子部件传送到插座之前有一定的时 间，能够灵活运用该空闲时间，因此优选在该定时内进行判定。另外，电子部件试验装置的示教作业(在品种交换时或者插座交 换时等中，在插座上使接触臂上下移动，决定到插座的高度方向的移 动量的轨迹示教作业)通过操作人员的手动操作进行，由于在这种情 况下，如果在插座上残留被电子部件则将产生上述的各种问题，因此 优选在该定时内进行判定。另外，不限于特定的定时，最好操作人员等根据需要在适当的定 时内进行判定。进而，还能把上述各种定时组合起来，在多个定时内进行判定。 在本专利技术中，上述残留判定单元，优选为对于上述基准图像数据 以及上述检查图像数据进行差分处理，生产差图像数据，通过对于上 述差图像数据进行阈值处理，判定在上述插座中是否残留着被试验电子部件。在本专利技术中，由于仅判定被试验电子部件的有无就足够了，因此 通过差分处理和二值化处理能够有效地判定被试验电子部件的残留。这种情况下，上述残留判定单元，优选为在进行上述差分处理之 前，进行上述基准图像数据的像素值修正使之与上述检查图像数据相 匹配。通过这样做，能够以高精度判定在插座中是否残留着被试验电 子部件，可以谋求判定的稳定化。另外，这种情况下，上述残留判定单元，优选为在进行亮度修正 使得上述基准图像数据一侧的亮度与上述检查图像数据一侧的亮度 大致相同以后，求两者相对应的图像位置的亮度差，根据是否存在上 述求出的亮度差超过预定阈值的图像部分，判定在插座中是否残留着被试验电子部件。通过这样做，能够有效地判定在插座中是否残留着 被试验电子部件。在本专利技术中，上述残留判定单元，在判定在上述插座中残留着被 试验电子部件的情况下，能够中断被试验电子部件向该残留着被试验 电子部件的插座的传送，对于没有残留被试验电子部件的其它插座传 送被试验电子部件，继续进行试验。这样，即使存在一部分残留着被试验电子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电子部件试验装置，是为了试验被试验电子部件的电气特性，把被试验电子部件传送到接触部的插座上，使上述被试验电子部件与该插座电连接的电子部件试验装置，其特征在于包括：摄像单元，拍摄上述插座；存储单元，存储由上述摄像单元拍摄取得的、在没有安装上述被试验电子部件状态下的上述插座的基准图像数据；和残留判定单元，在由上述摄像单元取得上述插座的检查图像数据的同时，从上述存储单元读出上述基准图像数据，把这些检查图像数据与基准图像数据进行比较，判定在上述插座中是否残留着被试验电子部件。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：池田克彦，市川雅理，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]