转移测试托盘的装置和方法、具有该装置的处理机、及制造半导体器件的工艺制造方法及图纸

技术编号:2628339 阅读:214 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术提供了一种转移测试托盘的装置、一种装备有该装置的处理机、一种在处理机中转移测试托盘的方法、以及一种利用该处理机制造半导体器件的工艺,转移测试托盘的该装置包括:至少一个移动件,该至少一个移动件包括推动第一测试托盘的推动件以及牵引第二测试托盘上的突出部的牵引件;第二板,该至少一个移动件安装至该第二板;以及第一板,该第二板可移动地安装至该第一板。本发明专利技术提供了同时转移两个测试托盘的优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种处理机,且更具体地,涉及一种用于转移包含 有待测试封装芯片的测试托盘的装置。
技术介绍
在封装工艺结束时,处理枳/使封装芯片通过最后的电气测试以 净企测早期缺陷。在完成最后的电气测试后,将封装芯片作为已完成 的半导体器件运送出去。处理机将封装芯片从用户托盘转移至测试托盘,并将包含有封装芯片的测试4乇盘提供给测试4义。测试4义包4舌具有多个插座的测试 板。处理机使测试托盘中的封装芯片与测试板的插座单独地接触。 随后测试仪对封装芯片进行电气测试。在根据测试结果对封装芯片 分类之后,处理机将这些封装芯片从测试托盘转移至相应的用户托盘。处理机包括第一室、第二室和第三室。在第一室中,测试托盘 中的封装芯片被加热至极高的温度或冷却至极低的温度。在第二室 中,测试托盘中的封装芯片接受电气测试。在第三室中,测试托盘中的封装芯片被冷却或加热至室温。测试托盘中的封装芯片按照该 顺序通过第一室、第二室和第三室。将封装芯片容纳在测试托盘中以接受电气测试。测试托盘装备 有将封装芯片稳固地保持在位的承载器。这样做以防止封装芯片从 测试托盘中掉落。现在对传统处理一几及其,乘作进4于描述。图1是本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于转移测试托盘的装置,包括: 至少一个移动件,所述移动件包括: 推动件,推动第一测试托盘;以及 牵引件,牵引第二测试托盘上的突出部; 第二板,所述至少一个移动件安装至所述第二板;以及 第一板,所述第二板可移动地安装至所述第一板。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员:金容仙
申请(专利权)人:未来产业株式会社
类型:发明
国别省市:KR[韩国]

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