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转移测试托盘的装置和方法、具有该装置的处理机、及制造半导体器件的工艺制造方法及图纸
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下载转移测试托盘的装置和方法、具有该装置的处理机、及制造半导体器件的工艺的技术资料
文档序号:2628339
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本发明提供了一种转移测试托盘的装置、一种装备有该装置的处理机、一种在处理机中转移测试托盘的方法、以及一种利用该处理机制造半导体器件的工艺,转移测试托盘的该装置包括:至少一个移动件,该至少一个移动件包括推动第一测试托盘的推动件以及牵引第二测试...
该专利属于未来产业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过未来产业株式会社授权不得商用。
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