微机械的转速传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种微机械的转速传感器、它配有：一个基片（９）；至少一个借助至少一个弹簧元件（１１，１１′）悬置在基片（９）上的基本元件（１），该基本元件包含至少一个震波性的主体（３）；一个激励装置（６）；和一个读出装置（１５）。根据本发明专利技术，弹簧元件（１１，１１′）是可以垂直于基本元件（１）的运动方向（Ｘ，Ｙ）移动的。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及根据权利要求1的前序所述的一种微机械的转速传感器。
技术介绍
通常使用转速传感器的目的，是为了求得一个物体围绕一个轴的 角速度或者转速。如果转速传感器是以硅基片为基础按微机械制造的，则它例如对比于精密仪器技术的回转仪的情况下具有如下优点可以 按很小的尺寸以相当低的成本加以制造。此外还有些优点，就是测量 不可靠性相对的小，在其工作运行中能源消耗相对低。转速传感器的 一个重要用途就是在汽车技术方面，例如用于行驶动力调节系统如电 子稳定性程序(ESP)。 一个防阻塞系统、 一个自动制动力分配系统、 驱动轮转差率调节系统和一个偏移力矩调节系统，它们于是如此地配 合，使得通过各个车轮的有针对性的制动便可达到汽车的横向和纵向 稳定化。从而可以防止汽车围绕它的垂直轴线旋转。转速传感器的另 一个用途在于结合用于乘客的气嚢控制单元和保持系统而对汽车的所 谓的翻车探测。此外，转速传感器还可用于导航目的以及用于各类车 辆的位置和运动状态的测定。其它用途例如用作图像稳定器以用于摄 像机，用于卫星发射到绕地球轨道中时的动态调节，或者用于民航的 备用的位置调节系统。按微机械制造的转速传感器一般都本文档来自技高网...

【技术保护点】
微机械的转速传感器，具有：一基片（９）；至少一个利用至少一个弹簧元件（１１，１１′）悬置在基片（９）上的基本元件（１），所述基本元件包含至少一个震波性的主体（３）；一激励装置（６）；和一读出装置（１５），其特征在于：所述弹簧元件（１１，１１′）能够垂直于基本元件（１）的运动方向（Ｘ，Ｙ）运动。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B哈特曼，S京特纳，
申请(专利权)人：康蒂特米克微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]