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微机械的转速传感器制造技术
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文档序号:2627573
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本发明涉及一种微机械的转速传感器、它配有:一个基片(9);至少一个借助至少一个弹簧元件(11,11′)悬置在基片(9)上的基本元件(1),该基本元件包含至少一个震波性的主体(3);一个激励装置(6);和一个读出装置(15)。根据本发明,弹簧...
该专利属于康蒂特米克微电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过康蒂特米克微电子有限公司授权不得商用。
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