加速度传感器制造技术

一种加速度传感器包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂；以及上部调节板，该上部调节板覆盖加速度传感器元件，并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承臂连接；布线区域，在该布线区域上有引线；以及非布线区域。非布线区域为块部分的上表面的主要区域，并低于布线区域。上部调节板有与布线区域之间的第一间隙以及与非布线区域之间的第二间隙，该第二间隙的长度比第一间隙的长度、导线厚度以及０．１μｍ（优选是１．０μｍ）的总和更长。即使当污染物粘附在块部分上表面上时，也很可能在蚀刻非布线区域时使该污染物从上表面上除去，从而不会由于它们而减小块部分的振幅。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于检测加速度的加速度传感器，该加速度传感器用于玩具、汽车、飞机、航空器、便携式终端等，尤其是，本专利技术涉及一种能够利用半导体技术生产的加速度传感器。
技术介绍
已经开发了利用物理量变化例如压敏电阻效应和静电电容变化的加速度传感器，并进行了商品化。这些加速度传感器广泛用于各种领域，但是近来需要能够非常灵敏地同时检测沿多轴方向的加速度的小型加速度传感器。因为单晶硅由于晶格缺陷极少而成为理想的弹性体，且因为半导体处理技术可以在没有较大改变的情况下用于它，因此非常注重压敏电阻效应类型的加速度传感器，其中，薄的弹性支承部分布置在单晶硅基片中，且施加给薄弹性支承部分的应力通过应变仪例如压敏电阻效应元件而转变成待输出的电信号。作为三维加速度传感器，已经使用的加速度传感器包括弹性支承臂，各弹性支承臂为梁结构，由单晶硅基片的较薄部分形成，该较薄部分使得由单晶硅基片在中心处的较厚部分构成的块部分与在外周的框架连接。多个应变仪沿各轴方向形成于弹性支承臂上。为了以更高的灵敏度检测很小的加速度，弹性支承臂制成为较长和/或较薄，或者用作摆锤的块部分制成为较重。当受到较大冲击时，能够检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，包括：加速度传感器元件，该加速度传感器元件有：块部分，该块部分位于加速度传感器元件的中心；厚框架，该厚框架离块部分一定距离，并有在该厚框架的上表面上的多个端子；多个弹性支承臂，这些弹性支承臂 桥接着所述块部分的上表面和厚框架的上表面；应变仪，该应变仪形成于弹性支承臂的上表面上；以及引线，该引线在应变仪之间和／或在应变仪和端子之间进行连接；块部分的上表面包括：连接部分，该连接部分使块部分与各弹性支承 臂连接；布线区域，在该布线区域上有部分引线；以及非布线区...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：秦野弘之，古市真治，斋藤正胜，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]