【技术实现步骤摘要】
耐冲击加速度传感器
本专利技术涉及一种检测加速度的加速度传感器，用于玩具、汽车、飞行器、便携式终端等，本专利技术特别涉及在耐冲击方面表现出众的加速度传感器。
技术介绍
用于加速度传感器的利用诸如压阻效应的物理量的改变以及静电电容的改变的加速度传感器元件已经被开发出来并进行商用。这些加速度传感器元件可被广泛用于多种领域，不过最近，需求可以高灵敏度地一次检测多轴方向上的加速度的小型加速度传感器。由于单晶硅因为其晶格缺陷极小而是理想的弹性体，同时由于半导体处理技术可以不经过大的修改而被应用，压阻效应类型的半导体加速度传感器元件受到许多关注，其中，在单晶硅衬底上提供细的弹性臂，以及作用到该细的弹性臂上的应力被例如压电电阻器的应变仪转换成电信号作为输出。作为三轴加速度传感器元件，使用了包含弹性臂的加速度传感器元件，每个弹性臂为由连接由位于中央的单晶硅衬底的厚部分构成的重体和其周围的支撑框的单晶硅衬底的薄部分形成的横梁结构。在每个轴向上在弹性臂上形成多个应变仪。为了以增强的灵敏度来感测很小的加速度，弹性臂被做得较长和/或细，或者被用作摆的重体被做得较重。能够检测很小加速度的...
【技术保护点】
一种加速度传感器，包含：加速度传感器元件，其具有：位于加速度传感器元件中央的重体，环绕所述重体并与所述重体相距预定距离的支撑框，桥接所述重体的上面部分和所述支撑框的上面部分并悬挂所述重体的多个弹性臂，以及 在所述弹性臂上形成的应变仪； 安装在所述加速度传感器元件之上的第一调节板，与所述重体的上表面具有第一预定间隙；以及保护外壳，其内底板被固定到所述加速度传感器元件的支撑框的底面上，以及在重体底面和面向重体底面的保护外壳内底 板部分之间具有一个间隙；其中，冲击缓冲材料被...
【技术特征摘要】
JP 2005-8-5 2005-228025;JP 2006-1-19 2006-000318U1.一种加速度传感器，包含：加速度传感器元件，其具有：位于加速度传感器元件中央的重体，环绕所述重体并与所述重体相距预定距离的支撑框，桥接所述重体的上面部分和所述支撑框的上面部分并悬挂所述重体的多个弹性臂，以及在所述弹性臂上形成的应变仪；安装在所述加速度传感器元件之上的第一调节板，与所述重体的上表面具有第一预定间隙；以及保护外壳，其内底板被固定到所述加速度传感器元件的支撑框的底面上，以及在重体底面和面向重体底面的保护外壳内底板部分之间具有一个间隙；其中，冲击缓冲材料被固定到所述重体底面和面向重体底面的保护外壳内底板部分中的至少一个上，所述重体底面和面向重体底面的保护外壳内底板部分中的另一个与所述冲击缓冲材料形成第二预定间隙。2.根据权利要求1所述的加速度传感器，其中，所述冲击缓冲材料被固定到所述重体底面和面向重体底面的保护外壳内底板部分中的仅一个上。3.根据权利要求2所述的加速度传感器，其中，所述冲击缓冲材料是铝、铜、银、金或包含其中一种作为主要成分的合金的金属层，或是碳氟化合物系列聚合物、聚烯烃系列树脂、橡胶系列材料、氟橡胶、含氟聚合物或环氧系列树脂的树脂层，并具有1.0μm或更大的厚度。4.根据权利要求3所述的...
【专利技术属性】
技术研发人员：秦野弘之，高田良晶，斋藤正胜，
申请(专利权)人：日立金属株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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