压阻式高g值加速度计制造技术

本发明专利技术涉及微机械电子技术领域，具体是一种压阻式高ｇ值加速度计。解决了现有压阻式加速度计结构不能同时满足固有频率高、灵敏度高、能承受较高的横向加速度等特性要求的问题，该加速度计包括固定于玻璃底板上的硅基框架、弹性梁、以及通过弹性梁支悬于硅基框架中央的质量块，弹性梁端部设有构成惠斯通电桥的压敏电阻，弹性梁的梁宽与质量块的宽度相等，而弹性梁的梁厚小于质量块的厚度，且质量块背部开有凹槽。本发明专利技术结构合理、简单，同时具有良好的抗过载能力等特性要求，避免了在恶劣冲击环境下失效的问题；且制作工艺比较简单，适用于高量程的加速度计。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及微机械电子
，具体是一种压阻式高g值加速度计。
技术介绍
加速度计广泛应用于航空、电子、汽车和机械领域的振动和冲击测量。随着微机电MEMS产业的兴起，加速度计逐渐向微型化、集成化方向发展。由于微加速度计具有体积小、质量轻、成本低、功耗低、易批量生产等优点，因此具有广泛的军事和民用前景。其中压阻式加速度计由于具有线性度好、外围电路简单、抗过载能力强等优点而广泛应用于冲击环境的加速度测量。而基于不同冲击环境的测量需求，压阻式加速度计中的高g值加速度计更是受到广泛的关注。压阻式加速度计包括固定于玻璃底板上的硅基框架，以及通过弹性梁支悬于硅基框架中央的质量块，弹性梁端部设有构成惠斯通电桥的压敏电阻。目前，压阻式加速度计根据弹性梁的梁厚、梁宽分为梁岛式和平膜式两种：梁岛式结构，梁厚小于质量块厚度，梁宽也小于质量块的宽度，即存在相对质量块，其灵敏度较高，但固有频率较难提高，但由于质量块质心与梁的中性面(即与梁的上表面平行过梁中心的平面)位于不同平面，抗冲击能力较差，尤其当结构承受横向加速度时，结构会因受到较大的扭矩发生扭转，造成结构损坏；平膜式结构，梁厚与质量块厚度相同，梁本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种压阻式高ｇ值加速度计，包括固定于玻璃底板（６）上的硅基框架（１）、弹性梁（２）、以及通过弹性梁（２）支悬于硅基框架（１）中央的质量块（３），弹性梁（２）端部设有构成惠斯通电桥的压敏电阻（４），其特征是：弹性梁（２）的梁宽与质量块（３）的宽度相等，而弹性梁（２）的梁厚小于质量块（３）的厚度，且质量块（３）背部开有凹槽（５）。

【技术特征摘要】
1.一种压阻式高g值加速度计，包括固定于玻璃底板(6)上的硅基框架(1)、弹性梁(2)、以及通过弹性梁(2)支悬于硅基框架(1)中央的质量块(3)，弹性梁(2)端部设有构成惠斯通电桥的压敏电阻(4)，其特征是：弹性梁(2)的梁宽与质量块(3)的宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：石云波，刘俊，张文栋，崔永俊，杨玉华，孟美玉，张琼，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：14[中国|山西]