下载加速度传感器的技术资料

文档序号:2625979

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一种加速度传感器包括:加速度传感器元件,该加速度传感器元件有位于中心的块部分、环绕该块部分的厚框架、以及桥接该块部分和厚框架的多个弹性支承臂;以及上部调节板,该上部调节板覆盖加速度传感器元件,并通过粘接剂固定在厚框架上。块部分的上表面有:连...
该专利属于日立金属株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日立金属株式会社授权不得商用。

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