加速度传感器及其制造方法技术

本发明专利技术提供了易于实现的用于限制惯性锤位移的精密控制结构的加速度传感器。其配备具有硅层（１００）、氧化硅层（２０）和硅层（３００）的三层结构ＳＯＩ衬底，通过从上面选择性地仅除去硅的感应耦合等离子体蚀刻，形成狭缝（Ｓ１）和（Ｓ２），接下来，从下面进行同样的蚀刻，形成沟槽部分（Ｇ１）和（Ｇ２），将硅层（３００）隔离为惯性锤（３１０）和基座（３３０）（图（ａ））。接着，在选择性地仅除去氧化硅的蚀刻液中浸渍，除去氧化硅层（２０）的露出部分的附近部分，用连接层（２００）（图（ｂ））将玻璃基板（４００）连接在基座（３３０）的底面上。在硅层（１００）的上面，形成压敏电阻元件，检测挠曲。根据连接层（２００）的厚度正确设定惯性锤（３１０）向上的位移自由度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及，尤其涉及用在小型民用电子设备上的批量生产上的。
技术介绍
手机、数码相机、电子游戏机、PDA设备等内置有微处理机的小型民用电子设备普及得很快，最近，内置在这些电子设备或者其输入装置上的加速度传感器的需求也增长起来。在内置有加速度传感器的电子设备中，将作用在机体上的冲击或振动等的加速度作为数字数据能够在微处理机上摄取，所以能够把握电子设备周围的物理环境，做出适当地处理。例如，在数码相机中，通过对按下快门按钮瞬间作用的加速度进行检测，能够进行与手颤动相对的校正。此外，在电子游戏机用的输入装置等中，也能够将用户的操作指令以加速度的形式输入。例如，如果将加速度传感器用于检测重力加速度，因为可以作为倾斜仪使用，所以能够识别电子设备整体的方位(相对于水平状态的倾斜程度)，基于用户使电子设备倾斜的操作，能够输入特定的操作。内置在这种小型民用电子设备上的加速度传感器，最好是微型化且适于批量生产。例如，在日本专利公开第1989-263576号公报和日本专利公开第1991-202778号公报上，公开了适于批量生产的小型的加速度传感器的的结构，在日本专利公开第1992-249726号公本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，其特征在于包括：衬底层，其具有设置在中央部分的可动部分；设置在所述可动部分周围的固定部分；将所述可动部分相对于所述固定部分呈可移动状态的连接部分；　惯性锤，其配置在所述衬底层下面，具有与形成在所述固定部分内 侧部分下表面的控制面相对的上表面周围部分；基座，其围着所述惯性锤的周围配置，从下面支撑并固定所述固定部分；惯性锤连接层，其插入所述惯性锤和所述衬底层之间的空间里的所述上表面周围部分以外的区域，并由与所述惯性锤以及所述衬底层不 同的材料构成，将所述惯性锤连接在所述可动部分的下表面；以及位移检测装置，用于检测所述可动...

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：冈田和广，
申请(专利权)人：株式会社和广，
类型：发明
国别省市：JP[日本]