一种阵列式微压阻式加速度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种阵列式微压阻式加速度传感器，它包含八个微压阻式加速度传感器敏感单元，微压阻式加速度传感器敏感单元按照正方形、圆形、椭圆形的方式分别组成正方形、圆形、椭圆形敏感单元阵列；每个微压阻式加速度传感器敏感单元通过引线２和外围电路连接就可以分别组成正方形、圆形、椭圆形排列的阵列式微压阻式加速度传感器。与现有的微压阻式加速度传感器相比，本发明专利技术具有一次可以高精度、高可靠性地测量高ｇ值的冲击加速度的特点。本发明专利技术可用于测试高ｇ值的冲击加速度，如控制侵彻导弹中引信在预定目标起爆或对硬目标进行侵彻的武器以及汽车安全气囊等领域中。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于电子元器件
，它特别涉及到微压阻式加速度传感器技术。
技术介绍
微压阻式加速度传感器是利用敏感材料的压阻效应，将机械信号转化为电信号。常用的敏感材料是硅，在硅上扩散电阻。目前，微压阻式加速度传感器的传感方式大多采用硅梁-质量块结构，其原理如图1所示。由硅梁4和硅质量块5组成敏感元件，在梁上扩散电阻3，在加速度作用下，质量块上下运动，从而使硅梁产生与加速度成比例的形变，导致梁上扩散电阻的阻值发生相应的变化，当扩散电阻作为测量电桥的桥臂时，通过电桥输出电压的变化，实现对加速度的测量。微压阻式加速度传感器的常用结构形式有单悬臂梁、双悬臂梁和四梁结构等，如图2所示。其中，只包含一个由硅梁4和硅质量块5组成的敏感元件。高g值微压阻式加速度传感器在许多场合都得到应用，特别是在军事上，例如控制侵彻弹药引信在预定层数起爆，硬目标侵彻武器等；在民用上，如汽车安全气囊。美国ENDEVCO公司生产的7270A-200K微压阻式加速度传感器可测试20万g的加速度值，是目前量程较高的传感器；国内生产的微压阻式加速度传感器量程未见有上万g值。并且这类加速度传感器只有一个由硅梁和硅质量块组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列式微压阻式加速度传感器，其特征是它包含八个微压阻式加速度传感器敏感单元，所述的微压阻式加速度传感器敏感单元可以按照正方形、圆形、椭圆形的方式分别组成正方形、圆形、椭圆形阵列式微压阻式加速度传感器；所述的正方形阵列式微压阻式加 速度传感器是在一个正方形的四个角上各放置一个微压阻式加速度传感器敏感单元，在正方形的每个边的中点上分别放置一个微压阻式加速度传感器敏感单元，每个微压阻式加速度传感器敏感单元通过引线（２）和外围电路连接组成一种正方形排列的阵列式微压阻式加速度传感器；所述的圆形阵列式微压阻式加速度传感器是在一个圆的圆周上均匀排列八个微压阻式加速度传感器敏感单元，每个微压...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘晓明，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：90[中国|成都]