角速度测量传感器制造技术

一种用于测量角速度的传感器，其通过以所述角速度旋转的单个压电音叉（２１）形成。音叉包括从底座（２２）延伸的两个振动腿（２３，２４），用于激励音叉第一振动并被设置在激励腿（２３）上的装置（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ），以及用于检测响应第一振动和音叉旋转而产生的音叉第二振动、并被设置在检测腿（２４）上的装置（２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ）。检测腿具有包括两个上侧面（３３，３４）和两个下侧面（３７，３８）的十字形截面，其被相对于所述面伸出的突出部分（４１，４２）分开。检测装置包括相对于彼此设置的第一检测电极（２７ａ）和第二检测电极（２８ａ），每个被设置在上侧面（３３，３４）之一上，使得在第一和第二检测电极之间的电场基本直线地通过检测腿，还包括相对于彼此设置的第三检测电极（２７ｂ）和第四检测电极（２８ｂ），每个被设置在下侧面（３７，３８）之一上，使得在第三和第四检测电极之间的电场基本直线地通过检测腿。

【技术实现步骤摘要】
角速度测量传感器
本专利技术总体涉及一种用于测量角速度的传感器，它由以所述角速度旋转的压电音叉形成，该音叉包括底座，激励腿和检测腿从所述底座延伸，本专利技术尤其涉及对检测腿上的检测电极的设置。
技术介绍
从现有技术尤其是EP专利0 750 177已经知道，由单个音叉形成的陀螺测试仪具有底座，从所述底座延伸出在其上设置激励电极的第一腿和在其上设置检测电极的第二腿。图1示出可以用于陀螺测试仪的音叉1的例子。图1a中的纵向截面所示的音叉1主要包括被固定到两条腿3、4上的底座2，该组件由压电石英材料构成。如图1b中的横截面所示，每个腿3、4包括电极。激励腿3包括第一对彼此连接的激励电极5a、5b，在与图1a对应的主平面中，以该音叉的谐振频率将交流的电信号施加到所述电极；以及彼此连接的第二对激励电极6a、6b，并将与施加到电极5a和5b的电信号反相的交流电信号施加到此。这些交流的电信号的施加激励并且从而引起音叉1的腿3和4在第一平面机械振动，如箭头9所示。检测腿4包括第一对彼此连接的检测电极7a、7b和第二对彼此连接的检测电极8a、8b，它们将检测腿的机械振动转换成通过与所述的电极连接的检测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量角速度的传感器，其通过以下形成：单个压电音叉（２１），其以所述角速度旋转，所述音叉包括从底座（２２）延伸的第一振动腿（２３）和第二振动腿（２４），用于激励所述音叉的第一振动的装置（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、 ２６ｂ），其被设置在所述两个腿中被称为激励腿（２３）的一个腿上，用于检测所述音叉的第二振动的装置（２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ），所述第二振动响应所述第一振动和所述音叉的旋转而产生，所述检测装置被设置在所述两个腿中被称为检测腿（２ ４）的另一个腿上，其特征在于，所述检测腿（２４）具有包括两个上侧面（３３，３４）和两个下...

【技术特征摘要】
EP 2004-12-20 04106714.11.一种用于测量角速度的传感器，其通过以下形成：单个压电音叉(21)，其以所述角速度旋转，所述音叉包括从底座(22)延伸的第一振动腿(23)和第二振动腿(24)，用于激励所述音叉的第一振动的装置(25a、25b、26a、26b)，其被设置在所述两个腿中被称为激励腿(23)的一个腿上，用于检测所述音叉的第二振动的装置(27a、27b、28a、28b)，所述第二振动响应所述第一振动和所述音叉的旋转而产生，所述检测装置被设置在所述两个腿中被称为检测腿(24)的另一个腿上，其特征在于，所述检测腿(24)具有包括两个上侧面(33，34)和两个下侧面(37，38)的十字形截面，所述上侧面和下侧面被相对于所述上侧面和下侧面伸出的突出部分(41，42)分开，以及所述检测装置包括被相对于彼此设置的第一检测电极(27a)和第二检测电极(28a)，其中每个被设置在所述上侧面(33，34)中的一个上，使得在所述第一和第二检测电极之间的电场基本直线地通过所述检测腿；还包括被相对于彼此设置的第三检测电极(27b)和第四检测电极(28b)，其中每个被设置在所述下侧面(37，38)中的一个上，使得在所述第三和第四检测电极之间的电场基本直线地通过所述检测腿。2.根据权利要求1的用于测量角速度的传感器，其特征在于，所述激励腿(23)具有包括两个上侧面(31，32)和两个下侧面(35，36)的十字形截面，所述上侧面和下侧面被相对于所述上侧面和下侧面伸出的第一突出部分(39)和第二突出部分(40)分开，以及所述激励装置包括分别被设置在所述激励腿的上部和下部的、分别覆盖所述上侧面(31，32)和所述下侧面(35，36)的第一对激励电极(25a，25b)；还包括第二对激励电极(26a，26b)，所述第二对电极的每个电极被设置在所述激励腿的一个所述突出部分(39)或另一个所述突出部分(40)的厚度上。3.根据权利要求1的用于测量角速度的传感器，其特征在于，所述激励腿(23)具有包括两个上侧面(31，32)和两个下侧面(35，36)的十字形截面，所述上侧面和下侧面被相对于所述上侧面和下侧面伸出的第一突出部分(39)和第二突出部分(40)分开，以及所述激励装置包括分别被设置在所述激励腿的上部和下部的、不覆盖所述上侧面(31，32)和下侧面(35，36)的第一对激励电极(25a，25b)；还包括第二对激励电极(26a，26b)，所述第二对电极中的每个电极被设置在所述激励腿的一个所述突出部分(39)或另一个所述突出部分(40)的厚度上，并且至少分别部分覆盖被设置在所述第一突出部分(39)的任一侧上的所述上侧面(31)和下侧面(35)、被设置在所述第二突出部分(40)的任一侧上的所述上侧面(32)和下侧面(36)。4.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：S达拉皮亚扎，B施图德，
申请(专利权)人：ETA瑞士钟表制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]