【技术实现步骤摘要】
角速度测量传感器
本专利技术总体涉及一种用于测量角速度的传感器，它由以所述角速度旋转的单个压电音叉形成，该音叉包括底座，激励腿和检测腿从所述底座延伸，本专利技术尤其涉及对检测腿上的检测电极的设置。
技术介绍
从现有技术尤其是EP专利0 750 177已经知道，由单个音叉形成的陀螺测试仪具有底座，从所述底座延伸出在其上设置激励电极的第一腿和在其上设置检测电极的第二腿。图1示出可以用于陀螺测试仪的音叉1的例子。图1a中的纵向截面所示的音叉1主要包括被固定到两条腿3、4上的底座2，该组件由压电石英材料构成。如图1b中的横截面所示，每个腿3、4包括电极。激励腿3包括第一对彼此连接的激励电极5a、5b，在与图1a对应的主平面中，以该音叉的谐振频率将交流的电信号施加到所述电极；以及彼此连接的第二对激励电极6a、6b，并将与施加到电极5a和5b的电信号反相的交流电信号施加到此。这些交流的电信号的施加激励并且从而引起音叉1的腿3和4在第一平面机械振动，如箭头9所示。检测腿4包括第一对彼此连接的检测电极7a、7b和第二对彼此连接的检测电极8a、8b，它们将检测腿的机械振动转换成通...
【技术保护点】
一种用于测量角速度的传感器，其通过以下形成：单个压电音叉（２１），其以所述角速度旋转，所述音叉包括从底座（２２）延伸的第一振动腿（２３）和第二振动腿（２４），每个所述腿具有两个顶面和底面以及两个侧面，用于激励所述音叉 的第一振动的装置（２５ａ、２５ｂ、２６ａ、２６ｂ），其被设置在所述两个腿中被称为激励腿（２３）的一个腿上，用于检测所述音叉的第二振动的装置（２７ａ、２７ｂ、２８ａ、２８ｂ；３９ａ、３９ｂ、４０ａ、４０ｂ），所述第二振动响应所述第一振 动和所述音叉的旋转而产生，所述检测装置被设置在所述两个腿中被称为检测...
【技术特征摘要】
EP 2004-12-20 04106712.51.一种用于测量角速度的传感器，其通过以下形成：单个压电音叉(21)，其以所述角速度旋转，所述音叉包括从底座(22)延伸的第一振动腿(23)和第二振动腿(24)，每个所述腿具有两个顶面和底面以及两个侧面，用于激励所述音叉的第一振动的装置(25a、25b、26a、26b)，其被设置在所述两个腿中被称为激励腿(23)的一个腿上，用于检测所述音叉的第二振动的装置(27a、27b、28a、28b；39a、39b、40a、40b)，所述第二振动响应所述第一振动和所述音叉的旋转而产生，所述检测装置被设置在所述两个腿中被称为检测腿(24)的另一个腿上，其特征在于，所述检测腿包括至少一个在所述顶面上的第一槽(33，34；37)和至少一个在所述底面上的第二槽(35，36；38)，每个所述第一和第二槽具有侧面，以及所述检测装置包括相对于彼此设置的第一和第二检测电极(27a，28a；39a，40a)，所述第一检测电极(27a；39a)被设置在所述第一槽(33；37)的一个所述侧面上，所述第二检测电极(28a；40a)被这样设置，使得所述第一和第二检测电极之间的电场基本上直线地穿过所述检测腿，还包括相对于彼此设置的第三和第四检测电极(27b，28b；39b，40b)，所述第三检测电极(27b，39b)被设置在所述第二槽(36；38)的一个所述侧面上，所述第四检测电极(28b；40b)被这样设置，使得所述第三和第四检测电极之间的电场基本上直线地穿过所述检测腿。2.根据权利要求1所述的用于测量角速度的传感器，其特征在于，所述检测腿包括在所述顶面上的第三槽(34)和在所述底面上的第四槽(36)，每个所述第三和第四槽具有两个侧面，所述第一检测电极(27a)和第二检...
【专利技术属性】
技术研发人员：S达拉皮亚扎，B施图德，
申请(专利权)人：ETA瑞士钟表制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。